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レコード件数：994
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2025-04-24 14:29 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 41 1.183 19.569 88362200 2.196 10.457 -3.668 0.974 0 2.167 1.715 112.655 1.605 1.176 73.79 1.027 0.733 80.304 0.85
2025-04-23 13:54 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 41 2.247 205.742 94492900 2.191 9.574 -2.646 2.172 1.12 2.771 1.173 100.901 1.126 0.482 90.17 0.917 0.789 75.238 0.699
2025-04-22 10:57 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 41 0.099 -3.939 68941800 1.111 2.941 -2.242 0.14 -0.477 0.796 -0.4 32.384 0.934 0.078 58.737 1.041 -0.05 41.577 0.764
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2025-04-18 08:09 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 41 1.035 111.443 84132300 2.779 10.269 -4.589 0.917 -0.172 2.034 1.248 52.839 1.37 0.183 47.706 1.157 0.491 24.454 0.71
2025-04-17 06:58 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 41 1.462 -5.765 139995200 1.423 6.507 -1.578 1.473 0.43 2.155 -0.242 15.837 0.986 -0.015 9.363 0.885 0.047 0.686 0.79
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2025-04-11 16:57 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 41 -1.182 -7.397 120510900 2.871 5.119 -14.227 -1.189 -2.173 0 3.551 -9.305 2.035 1.096 3.441 1.431 0.272 -2.171 1.118
2025-04-10 17:11 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 41 8.283 -11.213 117478700 3.271 15.045 1.939 8.25 5.901 10.909 2.235 8.86 1.499 4.446 -4.676 1.98 -0.608 9.513 0.982
2025-04-09 17:25 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 41 -3.813 28.934 158735700 2.699 3.92 -8.4 -3.828 -5.434 -2.628 2.527 -1.408 2.434 -1.914 2.585 1.401 -3.073 29.169 1.134
2025-04-08 17:39 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 41 8.868 -31.749 121492400 4.337 18.107 0.852 8.377 4.983 11.806 -0.964 -10.589 1.365 -2.504 9.948 1.28 -2.257 26.627 0.829
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2025-04-02 18:38 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 41 0.263 16.224 98895000 1.394 4.569 -2.801 0 -0.612 0.786 -0.256 -0.544 1.178 -1.481 17.754 1.038 -1.52 14.978 0.97
2025-04-01 18:54 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 41 -0.774 -17.312 81909500 1.918 3.468 -4.42 -0.755 -1.825 0.659 -2.354 18.519 1.397 -2.445 15.055 1.121 -1.446 93.422 0.872
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2025-03-21 19:59 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 41 0.419 509.37 162876200 2.401 8.046 -2.988 -0.213 -0.76 1.056 0.391 262.759 1.455 0.351 185.6 0.85 0.75 118.482 0.872
2025-03-19 20:16 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 41 0.362 16.147 129013500 1.914 6.305 -4.009 0.227 -0.582 1.24 0.317 23.714 0.894 0.652 18.323 1.197 0.669 22.27 0.908
2025-03-18 20:32 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 41 0.272 31.281 142315500 1.609 3.799 -3.85 0.509 -0.681 1.269 0.796 19.411 1.249 0.973 26.221 0.981 0.777 15.976 0.87
2025-03-17 17:17 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 41 1.321 7.542 182290800 2.693 12.167 -3.101 0.805 0.126 2.174 1.308 23.584 1.628 0.887 21.542 1.384 0.578 19.571 1.091
2025-03-14 17:14 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 1.318 42.274 103801300 1.7 6.582 -1.546 0.888 0.338 1.827 0.663 30.735 1.284 0.776 14.756 1.157 0.31 18.579 1.086
2025-03-13 18:43 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 0.008 19.196 97515400 1.817 6.155 -4.511 -0.138 -1.075 0.806 0.504 0.997 1.313 0.092 17.946 1.139 -0.267 14.24 1.16
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2025-03-11 23:46 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -0.733 51.844 103139500 2.109 3.595 -8.451 -0.532 -1.763 0.174 -0.388 24.313 1.975 -0.781 23.068 1.697 0.116 24.219 1.091
2025-03-10 17:14 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -0.042 -3.218 118676100 2.36 3.704 -8.974 0.232 -0.694 1.31 -0.805 8.681 1.702 0.139 12.94 1.869 0.072 18.584 1.227
2025-03-07 20:18 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -1.568 20.579 186290100 1.921 2.174 -6.587 -1.334 -2.652 -0.243 0.229 21.02 3.429 0.452 24.156 2.483 0.229 16.197 1.658
2025-03-06 17:14 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 2.027 21.46 200860100 7.467 42.735 -4.583 0.522 -0.549 1.775 1.462 25.945 4.013 0.656 25.186 2.704 0.081 26.346 1.873
2025-03-05 17:18 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 0.897 30.43 172294400 2.171 11.352 -2.041 0.646 -0.402 1.736 -0.029 27.048 1.619 0.228 12.982 1.652 -0.166 20.849 1.157
2025-03-04 17:13 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -0.955 23.667 138587200 2.37 7.756 -5.769 -1.087 -1.971 0 -0.106 4.258 2.069 -0.839 26.613 1.577 -0.376 14.149 1.11
2025-03-03 19:26 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 0.744 -15.15 85440100 2.239 6.744 -4.032 0.416 -0.358 1.545 -0.781 28.086 1.565 -0.257 16.716 1.106 -0.419 17.584 0.985
2025-02-28 21:44 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -2.306 71.322 76902500 2.016 0.546 -7.376 -1.652 -4.034 -0.828 -0.757 32.649 1.154 -0.556 20.743 1.004 -0.669 19.034 0.965
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2025-02-26 17:07 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -0.155 -3.069 67305900 1.8 4.173 -6.522 -0.136 -0.729 0.554 -0.662 18.885 1.586 -0.611 9.957 1.256 -0.525 6.209 1.118
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2025-02-21 17:15 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -0.509 -7.901 65731900 1.852 5.197 -6.452 -0.327 -1.43 0.3 -0.96 -6.804 1.376 -0.435 -2.242 1.384 0.131 9.867 1.237
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2025-02-18 17:12 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 1.387 19.443 113852400 3.817 20.144 -3.272 0.634 -0.679 2.435 0.979 28.03 2.849 0.075 34.557 2.072 0.492 37.044 1.446
2025-02-17 20:50 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 41 0.625 36.247 70289200 4.733 15.848 -10.507 -0.263 -1.393 2.3 -0.539 41.692 2.715 -0.245 31.745 1.927 0.231 36.488 1.578
2025-02-14 17:27 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -1.735 47.612 86294900 2.693 1.613 -10.409 -1.13 -2.673 0.027 -0.707 30.622 1.587 0.168 43.053 1.905 0.081 37.841 1.495
2025-02-13 22:55 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 0.322 13.633 82087000 1.736 8.061 -3.01 0.313 -0.521 0.771 1.119 40.774 2.449 0.762 33.3 1.908 0.478 30.726 1.68
2025-02-12 19:21 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 1.916 67.915 87589500 4.996 22.994 -2.703 0.497 -0.348 2.276 0.982 43.134 2.972 0.607 42.653 2.225 0.457 27.583 1.736
2025-02-10 19:33 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 0.048 18.353 72311700 2.569 5.294 -12.766 0.259 -0.53 1.037 -0.048 30.022 2.161 0.05 24.027 2.058 0.172 10.111 1.766
2025-02-07 17:14 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -0.145 41.691 83251700 3.469 14.751 -7.118 -0.236 -1.378 0.503 0.051 26.864 2.797 0.106 17.216 2.045 -0.338 24.976 1.116
2025-02-06 17:15 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 0.247 12.037 89897100 4.663 4.096 -25.253 1.297 0.191 2.418 0.232 4.978 2.61 0.318 -3.163 2.568 -0.071 19.104 1.063
2025-02-05 11:12 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 0.181 -74.175 34015400 1.714 8.939 -3.5 0.103 -0.25 0.504 0.336 -46.81 2.099 -0.61 -0.314 1.266 0.073 9.545 2.185
2025-02-04 19:55 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 0.49 -19.445 143951000 3.216 5.874 -15.966 0.691 -0.151 1.552 -1.006 36.616 1.749 -0.273 28.521 2.777 0.304 24.191 3.332
2025-02-03 22:39 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -2.502 92.678 101072900 5.033 26.596 -8.531 -3.291 -4.582 -1.73 -0.654 52.504 5.319 -0.102 47.115 4.573 -0.163 31.434 3.61
2025-01-31 21:18 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 1.193 12.33 105125900 5.887 36.232 -4.552 0.188 -0.695 1.032 1.098 24.334 4.487 1.178 15.907 4.79 0.07 18.678 3.102
2025-01-30 17:13 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 1.002 36.338 127378700 3.587 18.966 -1.725 0.149 -0.379 1.106 1.17 17.696 4.326 0.164 17.388 2.611 -0.171 19.081 2.045
2025-01-29 17:08 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 1.338 -0.947 111359100 5.781 34.884 -5.718 0.462 -0.37 1.406 -0.255 7.913 2.42 -0.614 14.908 2.538 -0.335 14.299 1.601
2025-01-28 17:10 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -1.849 16.773 124174700 2.849 3.621 -9.874 -1.05 -3.526 -0.199 -1.591 22.835 2.386 -1.065 20.004 1.86 -0.238 25.319 0.952
2025-01-27 17:07 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -1.333 28.898 96778300 3.363 10.588 -8.606 -0.914 -3.382 0.514 -0.672 21.62 2.038 -0.388 18.556 1.607 0.111 20.725 0.776
2025-01-24 20:52 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -0.012 14.341 113826600 2.087 6.63 -6.231 -0.015 -0.775 0.464 0.084 13.385 1.596 0.664 26.975 1.114 0.628 12.543 0.739
2025-01-23 17:12 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 0.181 12.428 116417200 2.328 8.553 -5.275 0.016 -1.19 0.916 1.002 33.292 1.596 0.633 20.129 1.103 0.599 10.927 0.764
2025-01-22 17:12 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 1.824 54.156 90494000 2.429 8.943 -3.27 1.454 0.449 2.86 0.859 23.98 1.438 0.99 11.981 1.148 0.683 6.825 1.13
2025-01-21 17:12 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -0.107 -6.197 68264600 1.265 2.919 -4.598 -0.237 -0.725 0.736 0.573 -9.106 1.217 0.33 -3.983 1.233 0.156 -6.517 0.987
2025-01-20 17:19 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 1.253 -12.016 57267900 1.871 5.594 -4.203 1.118 0.301 2.377 0.548 -2.876 1.656 0.566 -4.612 1.498 -0.201 4.534 1.038
2025-01-17 17:14 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -0.157 6.264 68360400 1.954 5.481 -6.569 -0.048 -0.804 0.526 0.223 -0.909 1.654 -0.122 -4.791 1.114 -0.47 9.873 0.934
2025-01-16 17:12 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 0.603 -8.083 75337500 2.544 9.883 -4.712 0.078 -0.703 1.155 -0.105 -10.318 1.295 -0.7 9.473 1.225 -0.641 9.59 0.874
2025-01-15 17:17 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -0.813 -12.553 73996300 1.516 3.978 -4.468 -0.625 -1.525 -0.031 -1.352 18.251 2.308 -0.932 17.062 1.504 -0.674 13.627 1.038
2025-01-14 10:33 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -1.892 49.056 87381400 4.095 18.16 -8.882 -1.871 -3.253 -0.474 -0.992 31.87 2.083 -0.998 22.862 1.462 -0.256 19.644 1.078
2025-01-10 17:12 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -0.093 14.684 77622600 2.162 8.244 -3.191 -0.509 -1.296 0.101 -0.552 9.765 1.551 -0.223 10.543 1.424 0.155 14.329 1.55
2025-01-09 21:04 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -1.01 4.845 79311500 1.662 3.61 -3.853 -1.376 -2.248 -0.115 -0.287 8.473 1.661 0.234 11.494 1.596 0.276 12.92 1.594
2025-01-08 20:10 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 0.436 12.101 89245800 2.925 8.075 -9.434 0.124 -0.853 1.517 0.857 14.818 2.31 0.626 17.372 1.995 0.771 13.363 1.847
2025-01-07 19:10 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 1.278 17.534 131720000 2.628 11.248 -4.505 0.875 0 2.314 0.721 20.008 2.621 0.651 15.885 2.361 0.829 15.477 1.75
2025-01-06 17:15 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 0.164 22.481 114987700 4.113 21.636 -6.352 -0.33 -1.607 0.8 0.338 15.061 3.028 0.714 12.394 2.581 0.689 15.94 1.848
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2024-12-27 18:39 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 1.465 7.06 93935500 2.972 10.786 -6.838 1.054 -0.137 2.44 1.096 14.864 1.651 0.922 16.526 1.453 0.675 10.911 1.12
2024-12-26 21:47 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 41 0.706 21.934 81658000 1.697 7.339 -2.866 0.549 -0.104 1.09 0.64 20.792 1.437 0.346 15.327 0.959 0.482 13.885 1.01
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2024-12-24 17:11 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -0.249 5.101 66457800 2.523 5.446 -11.765 -0.142 -0.853 0.789 0.303 2.489 1.814 0.388 9.978 1.048 0.054 14.373 0.64
2024-12-23 17:15 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 0.855 -0.123 121523900 1.87 4.799 -6.299 0.768 -0.078 1.651 0.707 12.417 2.217 0.266 21.458 1.29 0.024 16.085 0.735
2024-12-20 17:08 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 0.558 24.956 153647600 5.267 30.928 -2.96 -0.362 -1.507 0.499 -0.029 32.249 2.276 -0.113 22.296 1.121 -0.011 16.543 1.935
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2024-12-18 17:07 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -0.281 2.391 93394900 1.994 2.57 -10.435 0.036 -1.038 0.635 -0.34 8.025 0.866 0.001 6.073 1.809 -0.112 59.187 1.954
2024-12-17 17:16 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -0.398 13.66 114355700 1.616 4.545 -3.491 -0.534 -1.423 0.463 0.141 7.914 3.483 -0.147 93.63 3.752 -0.061 59.478 2.273
2024-12-16 17:12 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 0.681 2.168 93967300 6.157 37.5 -5.845 -0.152 -0.863 0.552 -0.022 133.615 5.236 0.04 93.295 3.468 0.186 60.987 2.009
2024-12-13 20:12 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -0.724 265.063 119561200 4.452 25 -5.809 -0.879 -2.262 -0.228 -0.28 138.859 2.282 -0.196 93.854 1.593 0.07 62.245 1.096
2024-12-12 17:09 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 0.164 12.655 116814900 1.701 3.632 -3.933 0.094 -0.661 1.086 0.068 8.25 1.208 0.324 12.569 0.92 0.115 12.63 0.829
2024-12-11 17:11 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -0.028 3.845 102443400 1.643 4.055 -2.912 0 -1.112 0.689 0.405 12.525 1.152 0.303 11.169 1.06 -0.011 10.789 0.837
2024-12-10 17:16 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 0.838 21.206 100160500 1.721 5.724 -1.656 0.434 -0.042 1.658 0.469 14.831 1.29 0.147 15.55 1.042 -0.141 8.903 0.822
2024-12-09 17:09 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 0.1 8.456 102511800 1.884 6.405 -4.182 0.14 -0.923 1.032 -0.199 12.722 1.356 -0.288 9.631 1.24 0.046 12.453 0.831
2024-12-06 12:18 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -0.497 16.987 110762700 2.192 5.719 -4.3 -0.84 -1.547 0.243 -0.482 10.219 1.58 -0.547 4.951 1.345 0.22 15.048 1.104
2024-12-05 16:53 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -0.466 3.45 140804700 1.676 3.686 -5.418 -0.416 -1.037 0.514 -0.572 -1.067 1.491 0.209 12.274 1.201 0.154 12.017 1.171
2024-12-04 19:28 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -0.677 -5.584 126129200 2.356 8.146 -5.993 -1.112 -1.792 -0.175 0.547 16.685 1.689 0.688 18.268 1.573 0.379 13.015 1.251
2024-12-03 17:16 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 1.772 38.955 101314400 2.012 9.884 -1.978 1.461 0.658 2.501 1.37 30.194 1.696 0.639 20.74 1.34 0.283 14.985 1.052
2024-12-02 20:37 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 0.969 21.433 87422600 1.775 5.842 -1.834 0.892 -0.222 2 0.072 11.632 1.425 0.267 10.569 1.244 -0.241 11.173 0.907
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2024-11-28 20:48 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 0.658 8.441 97198100 2.22 6.745 -8.063 0.669 -0.232 1.646 -0.251 6.353 1.351 -0.449 10.867 1.175 -0.119 19.281 0.94
2024-11-27 16:33 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -1.161 4.264 105710500 1.736 3.612 -6.751 -1.23 -1.813 -0.344 -1.003 12.08 1.403 -0.594 24.743 1.08 -0.279 19.047 0.836
2024-11-26 14:58 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -0.845 19.896 176658100 2.736 10.896 -5.634 -1.478 -2.087 0.338 -0.311 34.982 1.497 -0.031 27.901 1.269 -0.011 20.758 1.049
2024-11-25 10:38 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 0.223 50.068 126464600 1.761 3.978 -3.851 0.31 -0.536 0.932 0.375 31.903 1.143 0.203 23.691 0.96 0.413 17.448 0.818
2024-11-22 22:24 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 0.527 13.738 79903400 1.5 4.871 -2.807 0.32 -0.39 1.261 0.193 10.503 0.998 0.189 11.275 1.04 0.184 6.568 0.817
2024-11-21 17:17 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -0.141 7.267 86241200 2.138 7.878 -4.026 -0.135 -1.169 0.796 0.02 10.043 1.494 0.438 7.811 1.242 0.122 10.261 0.93
2024-11-20 17:07 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 0.18 12.82 100224800 2.342 8.194 -7.227 -0.218 -0.874 1.494 0.727 8.084 1.745 0.178 3.945 1.208 0.008 9.834 1.332
2024-11-19 17:15 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 1.274 3.348 96107500 2.147 11.552 -1.889 0.803 0.303 1.687 0.177 -0.493 1.168 0.191 10.406 1.43 -0.227 6.277 1.412
2024-11-18 17:16 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -0.92 -4.333 89540400 1.756 4.834 -3.962 -1.121 -1.904 -0.183 -0.351 13.934 1.686 -0.471 11 1.672 -0.84 17.065 1.884
2024-11-15 19:19 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 0.218 32.202 131445800 3.036 10.084 -7.914 -0.252 -1.232 0.914 -0.246 18.667 2.287 -0.496 10.79 1.96 -0.575 23.53 2.008
2024-11-14 17:25 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -0.71 5.132 134505200 3.366 13.614 -7.05 -0.698 -2.819 0.238 -0.854 0.084 2.554 -1.166 19.151 2.743 -0.734 27.351 2.099
2024-11-13 17:12 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -0.997 -4.964 94776900 2.832 13.836 -7.784 -1.062 -1.688 -0.416 -1.393 26.161 3.032 -0.795 26.772 2.656 -0.508 29.374 1.834
2024-11-12 17:16 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -1.79 57.285 134114800 4.18 7.59 -14.326 -0.854 -2.816 0.129 -0.694 42.641 3.238 -0.653 45.528 2.424 0.095 38.179 1.653
2024-11-11 17:19 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 0.403 27.996 105566700 3.446 12.39 -4.464 -0.253 -1.074 1.055 -0.085 39.65 2.412 0.082 31.516 1.783 0.655 62.466 1.194
2024-11-08 17:18 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -0.573 51.303 124483400 2.97 8.945 -10.291 -0.44 -1.347 0.322 -0.078 33.276 1.81 0.62 35.205 1.626 0.112 59.294 0.916
2024-11-07 17:20 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 0.416 15.248 136654300 2.301 8.67 -5.422 0.351 -0.71 1.686 1.217 27.155 1.886 1.149 77.676 1.117 0.28 43.658 0.873
2024-11-06 17:17 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 2.017 39.063 153238300 2.824 9.854 -7.555 1.732 0.384 3.055 1.515 108.891 1.318 0.239 76.64 0.964 0.406 74.448 0.773
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2024-11-01 17:15 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -2.314 12.138 74909700 2.3 4.104 -6.991 -2.093 -3.934 -1.212 -1.023 -7.369 1.596 -0.334 51.487 1.034 0.512 31.197 1.057
2024-10-31 17:11 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 0.269 -26.876 84497700 2.369 10.379 -5.846 0.288 -0.825 1.156 0.656 71.162 1.399 0.737 41.843 1.014 0.771 35.429 0.731
2024-10-30 17:13 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 1.043 169.2 109264700 2.139 5.668 -6.246 1.064 0.047 1.915 0.971 76.202 1.31 1.534 56.907 1.481 0.718 44.751 0.878
2024-10-29 17:10 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 0.9 -16.795 94356000 2.719 14.902 -2.063 0.426 -0.224 0.958 1.78 0.761 2.396 0.848 11.608 1.434 0.293 9.152 0.885
2024-10-28 17:13 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 2.66 18.317 118768100 2.82 15.385 -3.492 2.149 1.376 3.799 0.822 25.81 1.312 0.549 23.783 1.122 -0.193 20.322 0.98
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2024-10-23 22:08 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -1.081 -8.795 93600200 1.449 2.243 -4.975 -0.979 -1.642 -0.229 -1.306 15.131 1.224 -0.708 33.615 1.227 -0.366 21.611 1.399
2024-10-22 21:25 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -1.531 39.057 108033000 2.661 13.186 -4.478 -1.568 -2.7 -0.996 -0.521 54.82 2.048 -0.224 34.958 1.862 -0.534 23.538 1.635
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2024-10-15 17:04 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 2.151 70.8 101784200 2.797 13.508 -1.772 1.389 0.346 3.278 0.721 42.091 1.42 0.275 28.27 0.9 -0.011 14.941 0.563
2024-10-11 16:13 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -0.709 13.381 89502500 0.754 0.48 -2.381 -0.738 -1.205 -0.063 -0.663 7.004 0.763 -0.317 2.901 0.579 -0.223 6.185 0.716
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2024-10-01 17:09 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 2.074 -27.362 169838700 2.569 10.787 -3.71 1.833 0.918 2.674 -1.194 -4.954 2.056 -0.154 7.87 1.096 0.532 10.575 0.83
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2024-09-26 17:08 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 2.427 36.622 97383200 1.907 8.008 -2.41 2.634 1.284 3.573 1.561 14.632 1.062 1.27 21.885 1.554 1.486 26.872 1.276
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2024-09-24 17:09 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 0.689 36.39 110894000 3.718 14.149 -3.755 -0.114 -1.214 1.116 1.07 39.982 2.151 1.437 35.033 1.697 0.795 29.529 1.06
2024-09-20 17:13 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 1.451 43.573 103574200 2.275 9.843 -3.714 1.003 0.166 2.541 1.81 34.354 1.571 1.348 22.043 1.175 0.468 24.417 0.715
2024-09-19 17:12 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 2.17 25.134 91285000 1.674 8.047 -2.294 2.084 1.312 3.132 1.297 11.278 1.03 0.612 22.56 0.669 0.818 59.455 0.629
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2024-09-05 17:10 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -0.378 -24.798 88284800 1.34 2.969 -4.098 -0.028 -1.324 0.365 -2.637 40.244 1.443 -1.735 30.422 1.268 -0.805 22.443 0.836
2024-09-04 17:11 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -4.896 105.286 101681600 2.469 -0.579 -9.481 -5.02 -6.228 -3.046 -2.413 58.033 1.687 -1.75 34.184 1.331 -0.845 31.28 1.013
2024-09-03 17:09 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 0.071 10.779 67195600 1.833 5.371 -4.017 0.054 -0.974 1.335 -0.177 -1.367 1.209 0.417 10.576 0.875 0.139 16.511 0.861
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2024-08-29 17:31 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -0.577 19.385 87977100 2.656 4.437 -14.159 -0.314 -1.28 0.555 -0.279 25.413 1.78 0.429 30.808 0.907 0.111 24.012 0.927
2024-08-28 17:13 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 0.019 31.44 79870800 1.816 6.572 -5.042 -0.019 -0.759 0.435 0.932 36.519 2.076 0.344 26.891 1.564 0.348 19.721 1.358
2024-08-27 17:09 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 1.846 41.598 118391300 4.826 29.348 -2.311 0.968 0.142 1.701 0.506 24.617 2.762 0.371 23.078 1.788 0.304 35.768 2.374
2024-08-26 17:09 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -0.833 7.635 71419800 2.178 7.564 -3.534 -1.487 -2.167 -0.007 -0.366 13.818 1.992 -0.042 8.522 1.269 0.276 26.638 1.518
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2024-08-22 17:12 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 0.605 -2.07 78606000 4.194 23.256 -5.853 -0.322 -0.974 0.879 0.202 54.803 4.313 0.704 35.185 2.994 0.819 22.617 1.84
2024-08-21 17:12 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -0.201 111.676 85275300 4.899 28.358 -3.899 -0.992 -1.793 -0.178 0.753 53.812 2.605 -0.087 32.604 1.962 0.921 22.335 1.121
2024-08-20 17:15 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 1.708 -4.051 84079400 1.529 6.16 -0.586 1.33 0.847 2.491 -0.03 -6.932 1.305 1.23 1.16 1.05 1.17 -0.937 1.055
2024-08-19 19:00 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -1.768 -9.813 108252200 1.866 1.969 -6.71 -1.582 -3.264 -0.56 0.991 3.765 1.169 1.032 1.35 1.171 1.468 0.02 1.051
2024-08-16 17:09 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 3.75 17.343 127776700 2.175 10.57 0 3.58 1.97 4.947 2.433 6.932 1.771 1.97 3.06 1.636 1.968 14.123 1.306
2024-08-15 17:12 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 1.116 -3.48 136268300 3.008 12.456 -2.896 0.459 -0.461 1.806 1.081 -4.081 2.327 1.786 -2.476 1.716 1.001 6.541 1.332
2024-08-14 17:07 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 1.046 -4.683 134498300 3.328 6.032 -15.109 1.625 -0.142 2.811 2.121 -1.974 1.931 1.659 18.918 1.754 1.47 10.021 1.405
2024-08-13 17:17 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 3.195 0.734 126787500 2.712 9.36 -3.289 2.787 1.612 4.736 1.965 30.718 2.188 0.947 13.622 1.413 3.546 5.423 1.774
2024-08-09 17:15 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 0.734 60.703 161903100 3.452 9.567 -10.355 1.012 -0.53 2.498 -0.177 20.066 1.813 1.037 18.018 1.854 -0.286 47.462 1.357
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2024-08-02 17:12 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -7.001 123.16 134783600 3.084 0.037 -13.483 -7.34 -9.183 -4.754 -5.437 80.384 2.06 -3.128 62.646 1.307 -1.64 38.625 0.839
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2024-07-26 17:11 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -0.173 38.839 111046900 1.921 6.67 -4.774 -0.17 -1.166 0.522 -1.791 46.472 1.334 -1.744 38.059 1.108 -1.375 23.861 0.796
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2024-06-13 20:41 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 39 -0.969 54.709 83977400 2.159 5.715 -5.207 -1.13 -2.05 -0.244 -0.426 38.363 1.43 -0.229 32.048 1.059 0.157 22.235 0.844
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2024-01-05 20:58 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 39 -0.56 -4.705 41801700 2.002 3.574 -6.472 -0.263 -1.598 0.618 -0.164 14.807 1.839 -0.109 21.093 1.118 0.542 20.815 0.917
2024-01-04 18:59 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 39 0.232 34.32 44977700 2.849 7.365 -6.577 0.455 -0.71 1.731 0.117 33.993 1.344 0.343 17.119 1.367 0.692 23.903 0.989
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2023-12-26 16:57 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 39 0.192 10.735 30782500 2.025 7.558 -4.798 0.195 -0.838 1.044 -0.011 7.35 1.534 0.174 8.745 1.268 -0.04 8.289 0.923
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2023-11-16 16:54 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 39 -0.765 -23.586 29670100 2.608 7.266 -9.285 -0.644 -1.864 0.072 -0.045 18.081 3.259 0.838 26.305 3.092 0.649 24.973 2.17
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2023-11-14 23:30 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 39 2.604 42.753 33547400 4.961 17.343 -4.811 0.972 0 3.046 1.335 38.571 3.123 1.112 29.568 2.27 0.683 26.902 1.717
2023-11-13 17:03 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 39 0.065 34.389 35269600 2.917 11.414 -7.485 0 -0.906 0.449 0.366 22.975 2.05 0.708 22.251 1.77 0.022 15.288 1.256
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2023-10-30 16:41 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 39 -1.191 47.58 42173500 1.427 2.176 -4.187 -1.564 -1.99 -0.185 0.102 24.028 1.189 -0.709 25.355 1.206 -0.236 20.166 1.319
2023-10-27 16:52 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 39 1.395 0.476 41020100 2.182 5.931 -4.703 1.612 0.914 2.451 -0.468 14.242 1.806 -0.039 5.072 1.731 -0.326 12.565 1.238
2023-10-26 16:51 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 39 -2.331 28.008 37643800 2.204 4.769 -7.59 -1.909 -3.322 -1.134 -0.756 7.37 2.171 -0.461 17.591 1.935 -0.75 14.364 1.209
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2023-10-24 16:51 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 39 0.129 38.033 49086100 2.612 5.526 -10.522 0.373 -0.72 1.08 -0.757 23.805 1.216 -0.746 19.027 1.118 -0.68 26.948 0.836
2023-10-23 16:55 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 39 -1.643 9.578 28125700 2.409 7.5 -8.098 -1.438 -2.738 -0.248 -1.184 9.524 1.953 -1.491 29.863 1.785 -0.447 17.862 0.986
2023-10-20 16:54 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 39 -0.725 9.47 33498100 1.922 7.692 -5.647 -0.609 -1.648 -0.123 -1.415 40.006 1.69 -0.629 29.043 1.054 -0.531 16.544 0.897
2023-10-19 16:50 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 39 -2.105 70.542 36144400 2.029 2.362 -6.641 -1.607 -3.67 -0.846 -0.581 38.83 1.132 0.044 23.42 1.208 -0.665 35.393 0.896
2023-10-18 18:29 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 39 0.942 7.119 30269600 2.073 8.31 -3.553 0.517 -0.281 1.319 1.119 -0.141 1.976 0.059 0.903 1.372 0.311 30.634 1.143
2023-10-17 16:52 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 39 1.296 -7.4 29101900 2.643 14.383 -4.705 0.945 0.189 1.798 -0.383 -2.205 1.65 -0.72 33.102 1.127 0.158 29.583 1.045
2023-10-16 16:53 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 39 -2.062 2.991 31211900 1.947 2.273 -8.366 -1.83 -2.844 -1.076 -1.728 53.353 1.387 -0.228 51.15 1.609 0.252 37.603 1.08
2023-10-13 16:53 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 39 -1.393 103.715 39052400 2.039 6.796 -4.621 -1.732 -2.674 -0.307 0.689 75.229 2.278 0.52 50.776 1.498 0.612 35.293 1.078
2023-10-12 16:53 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 39 2.772 46.743 31209000 3.493 16.103 -4.182 2.234 0.791 4.273 1.476 24.306 1.791 1.572 27.103 1.534 1.248 9.969 1.034
2023-10-11 16:55 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 39 0.18 1.868 26924000 2.365 6.693 -6.121 0 -0.753 0.615 0.972 17.283 1.658 0.561 8.669 1.146 0.205 4.109 0.971
2023-10-10 16:52 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 39 1.763 32.697 28171000 3.033 9.107 -10.84 2.03 0.94 2.71 0.751 12.07 1.828 1.095 0.411 1.246 -0.25 6.968 1.055
2023-10-06 16:59 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 39 -0.262 -8.557 27301800 1.469 3.71 -3.558 -0.38 -1.146 0.604 0.761 -15.733 0.959 -0.307 -4.674 1.214 -0.658 14.652 1.168
2023-10-05 16:52 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 39 1.784 -22.908 28629400 1.767 6.897 -2.97 1.733 0.973 2.157 -0.33 -2.733 1.799 -0.875 3.6 1.747 -0.538 22.921 1.717
2023-10-04 16:57 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 39 -2.443 17.442 37095400 2.423 7.368 -7.169 -2.703 -3.498 -1.914 -2.201 16.597 2.028 -1.556 34.741 1.794 -1.077 30.058 1.737
2023-10-03 16:57 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 38 -2.204 17.484 29663500 1.888 4.99 -5.47 -2.34 -3.386 -1.382 -1.335 45.851 1.222 -0.882 41.867 1.382 -0.648 31.632 0.975
2023-10-02 16:55 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 38 -0.466 74.218 27212500 2.009 4.516 -4.406 -0.475 -1.352 0.493 -0.22 54.059 1.793 -0.53 41.377 1.39 -0.51 30.807 0.897
2023-09-29 16:54 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 38 0.025 33.9 33033500 2.546 11.017 -2.328 -0.538 -1.651 0.393 -0.562 24.956 1.487 -0.189 22.153 1.113 -0.079 15.79 0.848
2023-09-28 16:50 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 38 -1.148 16.013 27611400 1.612 1.87 -6.217 -1.2 -2.029 0.073 -0.296 16.28 1.092 -0.702 15.306 0.783 0 10.585 0.781
2023-09-27 16:54 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 38 0.556 16.548 24515800 1.253 4.247 -2.499 0.396 -0.099 0.863 -0.479 14.952 0.714 0.242 9.679 0.736 -0.008 6.744 0.559
2023-09-26 16:53 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 38 -1.514 13.357 21815500 1.465 1.323 -5.031 -1.235 -2.548 -0.49 0.085 6.245 0.857 0.198 6.787 0.959 -0.295 3.902 0.486
2023-09-25 16:52 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 38 1.684 -0.867 19348500 2.083 6.005 -1.099 0.797 0.029 3.099 1.054 3.503 1.477 0.307 1.273 0.811 -0.121 1.69 0.628
2023-09-22 17:00 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 38 0.423 7.872 26939500 1.553 4.858 -1.704 -0.054 -0.609 1.129 -0.382 2.342 0.65 -0.549 2.34 0.687 -0.301 11.226 0.65
2023-09-21 16:53 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 38 -1.188 -3.187 25192000 1.219 1.076 -4.296 -1.074 -1.757 -0.245 -1.035 -0.426 1.153 -0.904 0.482 1.054 -0.1 11.093 0.73
2023-09-20 16:56 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 38 -0.881 2.336 28862100 1.648 4.128 -4.993 -0.636 -1.752 -0.126 -0.761 2.316 1.201 -0.247 17.148 0.961 -0.055 13.905 0.732
2023-09-19 08:42 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 38 -0.641 2.297 28946600 2.198 4.371 -5.23 -0.446 -2.159 0.955 0.069 24.554 1.335 0.524 18.772 0.814 0.137 17.179 0.844
2023-09-15 16:49 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 38 0.78 46.812 35602800 1.335 3.444 -2.605 0.686 -0.159 1.671 1.106 27.009 1.008 0.416 21.631 0.794 0.136 16.534 0.861
2023-09-14 16:52 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 38 1.433 7.207 28731700 1.651 5.96 -2.526 1.205 0.668 1.915 0.234 9.04 1.1 0.182 12.262 1.067 -0.125 9.922 0.689
2023-09-13 16:53 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 38 -0.965 10.874 27635800 1.882 3.571 -5.109 -0.588 -1.942 -0.019 -0.443 14.79 1.533 -0.512 9.551 1.304 -0.59 10.515 0.867
2023-09-12 16:53 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 38 0.079 18.706 32875500 2.016 5.981 -4.841 0.203 -1.296 1.188 -0.285 8.889 1.71 -0.364 10.51 1.138 -0.235 12.67 1.005
2023-09-11 16:58 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 38 -0.649 -0.928 26267500 2.576 6.133 -6.999 -0.688 -1.651 0.178 -0.585 6.411 1.717 -0.689 7.664 1.493 -0.073 10.627 1.124
2023-09-08 16:55 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 38 -0.521 13.751 36246200 2.185 5.916 -4.241 -0.663 -1.765 -0.02 -0.708 11.961 1.485 -0.201 15.191 1.138 0.183 19.061 0.892
2023-09-07 16:58 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 38 -0.895 10.17 41468400 2.017 4.252 -4.552 -0.728 -2.33 0.346 -0.042 15.911 1.584 0.268 13.437 1.284 0.411 18.84 0.967
2023-09-06 16:57 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 38 0.812 21.653 32197700 2.228 8.889 -3.691 0.626 -0.483 1.59 0.849 15.07 1.533 0.777 23.794 1.056 0.755 26.174 0.828
2023-09-05 16:51 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 38 0.886 8.488 24423700 1.542 4.814 -2.295 0.595 0.088 1.155 0.76 24.864 1.348 0.714 20.793 1.09 0.789 26.712 0.576
2023-09-04 16:50 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 38 0.633 41.241 27500800 2.437 6.272 -10.47 0.964 0.164 1.51 0.627 26.945 1.568 0.692 33.577 1.142 0.618 26.463 0.606
2023-09-01 16:57 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 38 0.621 12.649 26084700 1.97 6.777 -3.073 0.29 -0.508 1.435 0.722 29.744 2.047 0.809 27.943 1.312 0.809 20.457 0.948
2023-08-31 16:56 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 38 0.822 46.84 30341600 2.965 16.502 -3.996 0.434 -0.156 1.284 0.903 35.591 1.753 0.611 26.141 1.253 0.472 16.313 0.815
2023-08-30 16:53 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 38 0.984 24.342 26120300 2.487 12.379 -2.558 0.43 0.004 1.105 0.506 15.792 1.507 0.867 14.265 1.26 0.514 29.697 0.779
2023-08-29 16:51 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 38 0.028 7.243 21943600 1.291 4.536 -4.11 0.047 -0.506 0.629 0.809 9.227 1.242 0.185 3.461 0.866 0.555 31.046 0.69
2023-08-28 16:56 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 38 1.59 11.21 20469800 1.709 5.849 -4.886 1.524 0.839 2.684 0.264 1.57 0.953 0.519 38.967 1.102 0.809 30.933 0.84
2023-08-25 16:52 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 38 -1.063 -8.069 20484600 1.591 2.489 -5.931 -0.906 -1.661 -0.396 -0.016 52.846 1.923 0.385 45.593 1.594 0.68 36.494 1.196
2023-08-24 16:58 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 38 1.03 113.762 27224800 3.544 19.455 -5.367 0.441 0 1.084 1.108 72.424 2.259 1.172 50.508 1.65 0.842 33.396 1.215
2023-08-23 16:56 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 38 1.187 31.086 18280000 3.854 19.617 -9.837 0.559 -0.15 1.482 1.243 18.881 2.207 1.143 25.592 1.869 0.656 24.192 1.342
2023-08-22 16:50 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 38 1.298 6.677 19289200 1.93 7.722 -2.439 0.977 0.022 1.91 1.122 22.846 1.596 0.665 7.378 1.135 0.178 20.427 1.364
2023-08-21 16:56 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 38 0.945 39.014 20201700 2.336 12.462 -1.545 0.264 -0.184 1.31 0.348 7.729 1.278 0.265 27.732 1.319 0.082 14.358 2.146
2023-08-18 16:58 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 38 -0.249 -23.556 22795500 1.338 3.78 -2.917 -0.262 -1.124 0.623 -0.075 22.091 1.743 -0.451 18.815 2.177 -0.381 14.611 2.337
2023-08-17 16:57 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 38 0.1 67.738 29902200 2.805 13.457 -4.074 -0.372 -0.985 0.59 -0.551 40.001 3.127 -0.095 18.778 3.457 -0.281 25.275 2.196
2023-08-16 16:51 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 38 -1.203 12.264 23597300 3.932 20.222 -6.099 -1.676 -2.931 -0.447 -0.192 -5.702 4.036 -0.585 9.625 3.039 -0.233 27.032 1.823
2023-08-15 16:56 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 38 0.818 -23.669 23202900 4.538 25.349 -5.775 0.309 -0.456 1.264 -0.276 8.305 2.862 -0.1 15.457 1.825 -0.157 26.533 1.262
2023-08-14 16:54 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 38 -1.371 40.279 36142500 2.956 9.964 -8.318 -1.548 -3.049 -0.065 -0.559 35.02 1.791 -0.261 48.855 1.344 -0.347 34.667 1.071
2023-08-10 16:54 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 38 0.252 29.76 33118900 2.979 7.252 -11.419 0.034 -0.982 1.908 0.295 53.143 1.626 -0.078 38.684 1.35 0.033 28.991 1.089
2023-08-09 20:47 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 38 0.337 76.526 31167300 4.657 24.201 -11.315 -0.04 -0.947 0.889 -0.243 43.146 2.305 -0.205 34.432 1.74 -0.437 30.594 1.185
2023-08-08 16:49 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 38 -0.822 9.766 27457900 2.184 3.69 -6.766 -1.035 -2.493 0.686 -0.477 13.385 1.679 -0.141 12.889 1.286 -0.836 20.136 0.946
2023-08-07 16:57 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 38 -0.131 17.003 29338900 1.844 3.342 -6.265 0.017 -0.916 0.89 0.2 14.45 1.382 -0.567 22.226 1.052 -0.459 18.304 0.823
2023-08-04 16:51 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 38 0.531 11.898 30212400 2.552 8.944 -5.997 0.307 -0.632 0.97 -0.785 24.838 1.48 -1.076 24.637 1.102 -0.275 11.247 0.905
2023-08-03 16:50 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 38 -2.101 37.778 29174700 1.61 0.996 -9.813 -1.986 -2.64 -1.37 -1.88 31.007 1.244 -0.898 20.874 0.953 -0.426 25.255 0.734
2023-08-02 16:51 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 38 -1.659 24.235 29793300 1.46 0.418 -5.656 -1.384 -2.482 -0.594 -0.297 12.421 1.034 0.066 2.186 0.913 0.121 20.982 0.753
2023-08-01 16:58 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 38 1.065 0.608 24442900 1.698 4.219 -4.605 1.001 0.205 1.791 0.928 -8.838 1.339 0.543 21.421 1.124 0.502 19.463 0.754
2023-07-31 16:56 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 38 0.79 -18.284 30417600 1.553 5.322 -3.034 0.976 -0.223 1.728 0.281 31.827 1.005 0.4 26.69 0.881 0.246 19.883 0.625
2023-07-28 16:54 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 38 -0.227 81.938 51207000 1.488 3.564 -3.804 -0.19 -0.991 0.145 0.205 49.177 1.347 0.218 38.331 1.077 0.292 26.541 0.737
2023-07-27 16:48 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 38 0.636 16.415 25783200 1.862 7.218 -3.096 0.112 -0.4 1.312 0.441 16.527 1.308 0.223 11.92 0.955 0.16 14.629 0.624
2023-07-26 16:52 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 38 0.246 16.639 20991700 1.82 7.667 -4.002 -0.02 -0.594 0.581 0.016 9.672 0.971 0.35 11.45 0.66 -0.167 13.51 0.626
2023-07-25 16:52 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 38 -0.214 2.706 23215200 1.542 2.867 -5.363 0.124 -1.11 0.784 0.401 8.855 0.998 -0.028 13.363 1.006 -0.031 13.049 0.845
2023-07-24 21:00 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 38 1.016 15.005 24636800 1.08 4.228 -1.246 0.847 0.398 1.488 0.065 18.691 1.296 -0.289 16.068 1.07 0.218 12.132 0.892
2023-07-21 16:51 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 38 -0.886 22.378 36714100 2.462 10.38 -5.623 -0.578 -2.267 -0.071 -0.941 16.599 1.558 -0.319 15.845 1.091 0.116 12.383 0.918
2023-07-20 16:50 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 38 -0.997 10.82 19900500 1.333 1.379 -6.319 -0.811 -1.513 -0.255 -0.036 12.578 0.957 0.319 7.759 0.97 0.558 5.204 0.867
2023-07-19 16:54 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 38 0.925 14.336 21768100 1.84 6.806 -4.843 0.808 0.083 1.735 0.977 6.228 1.363 0.82 9.572 1.359 0.375 7.294 0.728
2023-07-18 16:52 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 38 1.03 -1.879 23417500 1.946 6.082 -5.135 1.018 0.15 1.802 0.768 7.189 1.549 0.954 0.287 1.278 0.074 3.234 0.75
2023-07-14 16:54 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 38 0.507 16.258 26749000 2.265 8.814 -4.639 0.078 -0.481 1.295 0.916 1.37 1.431 -0.026 8.004 0.635 -0.223 4.455 0.464
2023-07-13 16:52 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 38 1.326 -13.517 22535000 1.408 6.564 -0.496 0.857 0.291 2.271 -0.292 3.877 1.06 -0.389 0.597 0.735 -0.386 0.588 0.852
2023-07-12 16:52 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 38 -1.911 21.272 23837000 1.838 1.604 -8.438 -1.589 -2.944 -0.784 -1.246 7.653 1.036 -0.982 6.512 1.141 -1.007 8.747 1.235
2023-07-11 16:53 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 38 -0.581 -5.965 24878800 1.635 2.665 -8.108 -0.385 -1.149 0.111 -0.518 -0.868 1.035 -0.449 -1.605 1.071 -0.766 10.384 1.06
2023-07-10 16:55 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 38 -0.455 4.229 28769900 2.808 14.326 -3.594 -0.311 -1.651 0.059 -0.383 0.575 2.108 -0.847 9.476 2.068 -0.72 8.526 1.18
2023-07-07 16:52 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 38 -0.311 -3.079 28294300 2.049 6.587 -3.2 -0.659 -1.327 0.393 -1.043 12.099 1.808 -0.931 17.885 1.284 -0.29 26.356 0.876
2023-07-06 16:53 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 38 -1.776 27.278 29329700 2.36 9.868 -5.25 -1.899 -2.838 -1.101 -1.24 28.367 1.509 -0.944 13.827 0.983 -0.104 38.708 0.943
2023-07-05 16:54 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 38 -0.705 29.456 22375400 1.777 3.243 -5.907 -0.376 -1.534 0.319 -0.528 7.102 1.11 0.213 35.86 1.151 0.323 33.08 0.756
2023-07-04 16:55 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 38 -0.351 -15.251 24154300 1.661 4.918 -3.503 -0.764 -1.362 0.137 0.672 39.062 1.616 0.654 45.602 1.182 0.862 30.767 0.919
2023-07-03 16:52 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 38 1.694 93.374 30108000 2.819 9.853 -8.556 1.382 0.525 2.513 1.156 76.028 1.69 0.891 50.398 1.245 0.783 36.113 0.952
2023-06-30 16:54 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 38 0.618 58.682 31928400 2.138 10.949 -1.268 0.214 -0.538 0.746 0.489 28.909 1.17 0.989 25.238 0.881 0.248 10.322 0.807
2023-06-29 16:51 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 38 0.361 -0.864 28294500 2.037 7.532 -6.803 0.409 -0.451 1.136 1.174 8.515 1.202 0.534 9.502 0.931 0.126 5.29 0.757
2023-06-28 16:49 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 38 1.987 17.894 27634500 1.418 6.14 -1.627 1.81 1.344 2.542 0.622 14.685 1.06 0.087 -2.069 1.229 -0.175 19.302 0.737
2023-06-27 16:54 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 38 -0.744 11.475 27422700 1.277 1.72 -4.085 -0.452 -1.411 -0.066 -0.864 -12.051 1.8 -0.572 3.14 1.182 -0.457 22.042 0.767
2023-06-26 16:53 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 38 -0.983 -35.578 24978900 3.54 1.873 -20.455 -0.228 -1.098 0.524 -0.486 -1.027 1.477 -0.705 22.38 1.068 -0.06 23.827 1.352
2023-06-23 16:50 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 38 0.011 33.524 41621900 5.215 29.412 -3.353 -1.002 -1.878 -0.399 -0.567 51.359 2.466 -0.187 44.771 1.388 0.135 36.657 2.004
2023-06-22 16:50 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 38 -1.144 69.194 32751000 2.518 8.444 -6.064 -1.056 -2.521 0.241 -0.285 50.394 1.519 0.224 40.396 1.604 0.315 39.758 1.09
2023-06-21 16:54 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 38 0.573 31.593 35581700 2.333 7.76 -6.209 0.376 -0.575 1.665 0.908 25.997 2.759 0.602 26.856 2.091 0.677 24.915 1.289
2023-06-20 16:55 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 38 1.243 20.402 37728000 5.889 35.398 -2.697 0.372 -0.716 1.141 0.616 24.488 3.35 0.716 32.667 2.238 0.526 18.801 1.37
2023-06-19 16:51 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 38 -0.01 28.574 32861400 1.952 6.522 -4.25 0.146 -1.233 0.895 0.452 38.8 1.469 0.524 24.194 1.365 0.574 21.726 1.221
2023-06-16 16:53 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 38 0.915 49.027 50264200 2.103 8.148 -2.232 0.132 -0.312 1.704 0.791 22.003 1.798 0.465 15.01 1.273 1.012 23.136 1.201
2023-06-15 16:50 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 38 0.666 -5.02 31248900 2.7 13.672 -3.03 -0.077 -0.527 1.011 0.241 -1.998 1.519 0.655 10.343 1.813 1.066 92.946 1.288
2023-06-14 16:57 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 38 -0.185 1.024 34751500 1.684 2.868 -4.45 -0.31 -1.42 1.158 0.649 18.025 1.619 1.16 23.891 1.246 0.763 51.744 0.947
2023-06-13 16:50 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 38 1.484 35.025 35069500 3.04 13.829 -5.35 0.69 -0.247 2.399 1.832 35.324 1.93 1.621 103.558 1.665 0.604 48.781 0.94
2023-06-12 16:49 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 38 2.181 35.623 27250400 3.381 11.982 -5.299 1.283 0.344 2.729 1.709 98.786 2.05 0.851 48.914 1.323 0.534 37.066 1.118
2023-06-09 16:50 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 39 1.292 83.889 35713200 2.154 6.783 -2.703 1.033 -0.138 2.264 0.214 36.803 1.041 -0.184 41.413 0.725 0.431 35.347 0.92
2023-06-08 16:48 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 39 -0.864 -10.283 34972500 1.977 6.887 -5.908 -0.722 -1.652 -0.034 -0.922 20.176 1.289 -0.25 15.987 1.197 0.255 19.581 0.94
2023-06-07 16:48 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 39 -0.98 50.634 39652900 1.812 2.336 -4.925 -0.795 -1.527 0.105 0.058 29.122 1.347 0.575 34.376 1.128 0.416 16.741 0.784
2023-06-06 16:53 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 39 1.095 7.611 29046500 2.645 10.067 -2.091 0.331 -0.214 1.29 1.353 26.248 1.672 1.039 19.184 1.312 0.159 102.139 0.762
2023-06-05 16:50 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 39 1.61 44.885 31583900 1.583 6.362 -2.083 1.682 0.537 2.348 1.011 24.971 1.232 0.655 8.487 0.958 0.001 96.408 0.855
2023-06-02 16:53 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 39 0.413 5.057 27519900 1.91 5.693 -3.161 0 -0.58 1.772 0.178 -9.711 1.353 -0.636 152.733 1.072 -0.07 92.285 0.75
2023-06-01 16:50 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 39 -0.056 -24.479 28880100 1.821 8.081 -3.044 -0.332 -0.885 0.488 -1.161 226.571 1.373 -0.673 144.033 1.39 0.051 101.791 0.835
2023-05-31 16:54 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 39 -2.266 477.621 45870800 2.085 5.825 -6.098 -2.522 -3.266 -1.2 -0.981 228.289 1.47 -0.236 160.282 0.876 0.404 122.701 1.119
2023-05-30 16:51 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 39 0.303 -21.043 25357900 2.125 10.515 -3.279 0 -0.534 0.52 0.779 1.613 1.209 0.859 18.604 1.397 0.892 21.594 1.299
2023-05-29 16:46 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 39 1.254 24.269 38616500 2.668 9.813 -5.092 0.717 0.036 1.686 1.136 38.428 2.319 1.327 52.309 2.214 0.73 33.847 1.274
2023-05-26 16:50 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 39 1.019 52.587 41137900 3.444 11.825 -8.566 0.8 -1.008 2.337 1.363 66.33 2.92 0.968 34.915 2.034 0.75 28.128 1.297
2023-05-25 16:46 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 39 1.708 80.072 34097000 3.287 15.638 -2.778 1.182 -0.12 3.181 0.942 26.08 1.889 0.46 30.794 1.363 0.775 19.559 1.288
2023-05-24 16:53 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 39 0.177 -27.913 27769000 1.376 4.255 -3.571 0.079 -0.508 1.14 -0.164 6.155 1.336 0.341 2.66 1.8 0.877 12.222 1.154
2023-05-23 16:51 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 39 -0.505 40.222 40226700 2.272 9.036 -3.611 -0.736 -1.844 0.077 0.422 17.946 2.553 0.664 15.213 1.75 0.83 16.655 1.016
2023-05-22 16:54 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 39 1.35 -4.329 29109000 3.114 16.568 -1.408 0.702 -0.373 1.651 1.249 2.708 1.763 1.57 16.267 1.438 1.037 11.648 1.245
2023-05-19 16:51 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 39 1.147 9.745 37841400 2.612 9.907 -2.185 0.639 -0.446 1.474 1.68 26.566 1.979 1.101 15.795 1.461 0.628 23.609 1.234
2023-05-18 16:52 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 39 2.214 43.386 40638700 2.744 9.915 -2.154 1.347 0.599 3.628 1.078 18.819 1.715 0.897 17.608 1.921 0.24 64.6 1.351
2023-05-17 16:53 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 39 -0.057 -5.747 29514200 1.841 3.624 -5.592 0 -0.831 0.466 0.238 4.718 2.023 -0.073 21.638 1.89 -0.258 62.031 1.419
2023-05-16 16:50 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 39 0.533 15.184 32736300 3.198 13.921 -6.583 0.202 -0.772 1.191 -0.081 35.33 2.848 -0.271 96.527 1.994 -0.296 65.997 1.315
2023-05-15 17:00 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 39 -0.696 55.477 30793400 5.125 17.834 -19.225 -0.169 -1.639 1.006 -0.608 136.687 2.822 -0.511 99.666 2.075 -0.178 65.052 1.248
2023-05-12 19:18 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 39 -0.576 232.882 33979000 3.05 9.937 -12.887 -0.722 -1.797 0.673 -0.466 129.994 2.084 -0.406 90.296 1.412 0.027 61.552 0.877
2023-05-11 19:33 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 39 -0.356 27.105 25803500 2.665 5.429 -14.258 -0.232 -0.796 0.618 -0.322 19.003 1.382 0.069 18.367 1.042 0.245 13.33 0.688
2023-05-10 22:46 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 39 -0.287 10.9 28629600 1.412 6.066 -2.318 -0.463 -0.804 0.156 0.281 13.997 0.876 0.355 15.925 0.554 0.434 11.864 0.412
2023-05-09 16:23 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 39 0.849 17.094 22154700 1.171 3.744 -1.681 0.77 0.017 1.514 0.676 18.437 0.713 0.623 9.548 0.647 0.767 23.707 0.777
2023-05-08 16:26 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 39 0.503 19.78 23496300 1.087 3.059 -1.119 0.164 -0.254 1.283 0.509 5.775 0.848 0.536 10.443 0.54 0.668 24.885 0.878
2023-05-02 16:25 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 39 0.516 -8.23 20528700 1.327 4.096 -1.36 0.218 -0.338 1.056 0.552 5.774 0.772 0.828 27.221 1.183 0.313 38.109 0.816
2023-05-01 16:23 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 39 0.589 19.778 25023400 1.532 3.99 -5.26 0.917 -0.034 1.278 0.984 44.946 1.597 0.774 37.625 1.34 0.147 39.219 0.908
2023-04-28 16:23 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 39 1.379 70.115 38216700 2.768 15.848 -4.548 1.206 0.156 1.874 0.867 46.548 1.833 0.164 51.058 1.182 -0.021 32.014 0.865
2023-04-27 16:18 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 39 0.354 22.981 33996600 2.202 8 -5.212 0.284 -0.309 0.926 -0.426 35.878 1.038 -0.395 32.498 0.858 -0.218 25.655 0.587
2023-04-26 16:21 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -1.195 36.294 25877900 1.134 1.32 -4.26 -1.13 -1.742 -0.43 -0.765 34.804 0.863 -0.597 20.424 0.685 -0.235 20.013 0.539
2023-04-25 16:20 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -0.336 33.314 22922800 1.089 1.942 -3.67 -0.279 -0.789 0.136 -0.298 12.489 0.817 -0.08 21.751 0.722 -0.065 12.197 0.596
2023-04-24 16:25 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -0.261 -8.337 17878800 0.918 1.714 -2.275 -0.224 -0.844 0.35 0.049 15.969 0.917 0.119 10.153 0.855 0.054 10.482 0.38
2023-04-21 16:22 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 0.358 40.275 24922800 1.762 5.346 -3.698 0 -0.482 1.102 0.309 19.397 1.292 0.091 12.003 0.86 0.083 9.19 0.566
2023-04-20 16:20 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 0.261 -1.48 20048200 1.345 3.863 -5.394 0.244 -0.248 0.925 -0.043 -2.132 0.77 0.058 6.824 0.52 0.085 20.234 0.642
2023-04-19 16:18 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -0.347 -2.784 21948900 0.935 1.598 -2.908 -0.062 -0.768 0.132 -0.044 10.976 1.067 -0.068 2.385 1.121 0.031 26.571 1.274
2023-04-18 16:18 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 0.259 24.736 21590500 2.006 10.306 -2.33 0.187 -0.51 0.529 0.072 4.969 1.68 0.17 35.145 1.25 0.057 29.884 1.35
2023-04-17 16:19 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -0.116 -14.797 16731300 2.053 5.612 -10.35 0 -0.353 0.448 0.125 40.35 1.082 0.08 36.968 1.546 0.285 38.571 0.962
2023-04-14 15:23 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 0.366 95.497 25112400 2.874 16.735 -3.101 0 -0.526 0.613 0.178 62.851 2.182 0.048 46.495 1.598 0.343 43.569 0.823
2023-04-13 16:23 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -0.009 30.204 19284400 2.956 16.427 -4.552 -0.482 -1.09 0.261 -0.111 21.993 1.746 0.391 37.385 1.087 0.401 19.739 0.596
2023-04-12 16:20 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -0.214 13.782 19188900 1.205 1.883 -4.175 0 -0.714 0.618 0.591 40.975 0.675 0.453 30.715 0.493 0.033 15.892 0.446
2023-04-11 16:24 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 1.397 68.167 20218700 1.68 6.535 -1.074 0.958 0.142 1.94 0.786 39.181 0.973 0.743 18.236 0.935 -0.271 13.588 0.593
2023-04-10 16:28 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 0.176 10.194 14449800 1.361 5.419 -3.681 0.137 -0.381 0.372 0.416 -6.729 0.825 -0.339 -0.829 0.638 -0.683 4.101 0.665
2023-04-07 16:18 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 0.656 -23.653 16396300 1.426 6.188 -1.703 0.558 -0.018 0.978 -0.597 -6.341 0.953 -0.976 -3.474 0.756 -0.716 4.784 0.796
2023-04-06 16:22 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -1.85 10.972 25679100 1.533 0.825 -5.277 -1.882 -2.822 -0.548 -1.792 6.616 0.974 -1.415 11.321 0.966 -0.702 20.607 0.833
2023-04-05 16:26 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -1.733 2.261 23352400 1.118 0.844 -4.126 -1.573 -2.578 -1.054 -1.197 11.495 1.008 -0.796 12.201 0.936 -0.203 21.853 0.634
2023-04-04 16:19 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -0.661 20.73 23250900 1.531 4.313 -5.479 -0.484 -1.326 0.04 -0.327 17.171 1.286 0.024 29.934 1.007 0.386 32.983 0.785
2023-04-03 20:43 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 0.007 13.613 24332300 1.764 3.175 -3.637 0.018 -0.906 1.287 0.367 34.536 1.309 0.46 28.759 0.902 0.436 30.067 0.732
2023-03-31 11:03 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 0.726 55.458 30553600 2.2 7.683 -8.599 0.526 0.011 1.303 0.686 36.332 1.4 0.861 43.525 1.121 0.386 27.504 0.812
2023-03-30 17:38 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 0.646 17.205 21294600 2.17 6.761 -3.643 0.12 -0.492 1.46 0.928 37.558 1.533 0.482 27.087 1.004 0.296 25.047 0.724
2023-03-29 17:00 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 1.211 57.91 20891500 1.946 10.419 -0.909 1.155 0.066 1.699 0.4 32.028 1.208 0.186 21.619 1.1 0.286 18.248 0.66
2023-03-28 18:08 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -0.411 6.146 16068400 1.23 2.041 -3.473 -0.197 -1.152 0.236 -0.326 3.473 1.112 -0.125 16.707 0.629 0.455 5.419 0.531
2023-03-27 17:57 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -0.242 0.8 16299800 1.297 2.407 -4.436 -0.074 -0.81 0.583 0.017 21.988 0.635 0.21 9.062 0.585 0.237 20.912 0.533
2023-03-24 16:18 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 0.277 43.176 20800700 1.628 5.817 -4.152 -0.03 -0.452 0.982 0.436 13.193 1.051 0.977 6.716 0.949 0.575 23.278 0.765
2023-03-23 16:23 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 0.595 -16.79 16876700 1.004 2.54 -1.969 0.576 0 1.244 1.327 -11.514 1.055 0.384 20.194 0.738 0.21 17.803 0.628
2023-03-22 16:23 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 2.058 -6.238 20515100 1.597 7.471 -0.758 1.874 1.135 2.635 0.279 38.686 0.868 0.667 30.001 0.939 0.367 17.156 0.585
2023-03-20 16:18 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -1.501 83.61 21408200 1.535 2.351 -4.757 -1.574 -2.392 -0.96 -0.029 48.121 1.122 -0.534 37.348 0.867 -0.642 20.697 0.624
2023-03-17 16:24 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 1.443 12.632 25127100 1.952 7.401 -1.413 1.114 0 2.415 -0.05 14.217 1.083 0.427 2.803 0.79 -0.623 3.455 0.621
2023-03-16 16:16 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -1.544 15.803 24553600 1.316 0.926 -4.385 -1.431 -2.634 -0.737 -0.082 -2.112 0.901 -1.051 2.415 0.832 -1.15 12.673 0.739
2023-03-15 16:17 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 1.38 -20.027 21562900 1.568 6.337 -2.654 1.362 0.176 2.327 -0.804 -4.279 0.901 -1.005 -3.721 0.717 -0.718 14.411 0.735
2023-03-14 16:19 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -2.989 11.47 27842000 1.499 -0.034 -6.667 -2.722 -3.761 -2.075 -2.198 4.433 1.059 -1.862 22.53 1.044 -0.819 21.052 0.867
2023-03-13 16:23 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -1.407 -2.605 25046600 1.194 0.682 -3.947 -1.28 -2.22 -0.533 -1.299 28.06 1.312 -0.661 26.87 1.068 -0.299 30.706 0.855
2023-03-10 16:21 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -1.191 58.724 34657000 2.021 7.878 -3.294 -1.564 -2.466 -0.842 -0.288 41.608 1.405 0.099 32.132 1.312 0.205 31.659 1.003
2023-03-09 16:17 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 0.615 24.491 19034000 1.522 4.89 -3.511 0.404 -0.214 1.399 0.744 18.835 1.341 0.368 32.471 0.916 0.632 24.579 0.728
2023-03-08 16:21 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 0.873 13.179 20115100 1.786 7.379 -1.648 0.424 -0.231 1.982 0.244 36.46 1.069 0.534 25.026 1.147 0.288 21.236 0.743
2023-03-07 16:20 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -0.386 59.741 28857900 1.671 2.948 -5.455 -0.302 -0.851 0.369 0.365 30.95 1.404 0.557 28.408 0.906 0.348 21.145 0.858
2023-03-06 16:23 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 1.115 2.158 19326300 2.452 13.459 -3.215 0.863 0.107 1.634 1.029 12.741 1.192 0.317 11.087 0.997 0.429 14.441 1.099
2023-03-03 16:20 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 0.943 23.324 23534600 2.017 11.09 -1.894 0.645 0.088 1.375 -0.082 15.551 1.597 0.337 14.608 1.244 0.293 14.734 1.144
2023-03-02 16:17 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -1.108 7.779 18604500 1.776 4.314 -7.718 -0.97 -1.586 -0.182 0.033 10.25 1.238 0.028 15.574 1.242 0.346 14.314 1.079
2023-03-01 16:17 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 1.174 12.722 18283000 1.881 8.64 -2.206 0.885 0 1.848 0.596 19.472 1.637 0.543 14.19 1.308 0.406 15.334 1.072
2023-02-28 16:25 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 0.018 26.223 21058100 1.852 5.753 -3.662 -0.138 -1.113 0.819 0.228 14.924 1.384 0.555 17.023 1.212 0.298 61.153 0.872
2023-02-27 18:55 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 0.438 3.626 19373200 2.291 4.439 -8.904 0.417 -0.334 1.432 0.823 12.423 1.409 0.278 12.575 1.263 0.427 55.569 0.807
2023-02-24 16:18 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 1.208 21.221 21623000 1.975 7.132 -2.232 0.786 0.128 1.964 0.199 17.05 1.277 0.344 91.972 1.29 0.184 54.58 0.963
2023-02-22 16:23 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -0.81 12.879 22781400 1.764 5.065 -6 -0.986 -1.724 -0.21 -0.088 127.347 1.605 0.163 84.333 1.298 0.119 51.281 0.957
2023-02-21 16:25 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 0.634 241.815 33558400 3.415 20 -2.514 0.063 -0.806 1.028 0.65 120.06 1.909 0.173 79.599 1.598 0.263 73.223 1.047
2023-02-20 16:24 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 0.667 -1.695 15929100 1.723 7.049 -2.016 0.386 -0.384 1.214 -0.057 -1.509 1.091 0.256 0.571 0.824 0.138 35.504 1.31
2023-02-17 16:23 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -0.78 -1.324 19816000 1.867 4.959 -6.154 -0.652 -1.711 0.281 0.051 1.704 1.186 0.004 41.999 0.781 -0.205 36.63 1.417
2023-02-16 16:16 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 0.883 4.731 19647000 1.462 3.716 -2.985 0.93 -0.128 2.022 0.397 63.66 0.901 0.267 60.18 1.826 0.177 109.048 1.37
2023-02-15 16:16 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -0.09 122.588 23274600 1.956 7.2 -4.493 -0.12 -1.068 0.615 -0.041 87.904 2.564 -0.376 59.914 1.992 0.258 115.19 1.671
2023-02-14 16:23 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 0.008 53.22 23653000 5.381 22.645 -19.355 0.27 -0.54 1.495 -0.519 28.577 3.121 0.03 139.308 2.27 0.223 98.388 1.71
2023-02-13 16:19 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -1.045 3.935 23351500 2.246 2.066 -9.934 -0.726 -2.254 0.56 0.041 182.352 1.697 0.458 133.381 2.102 0.36 1312.855 1.487
2023-02-10 17:36 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 1.128 360.768 27318100 2.992 13.815 -2.041 0.156 -0.419 1.695 1.209 198.104 2.957 0.717 144.929 2.295 0.466 1325.824 1.419
2023-02-09 20:09 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 1.291 35.44 19098600 4.756 21.701 -2.137 0.354 -0.407 1.218 0.512 37.009 2.757 0.572 2066.524 1.96 0.276 1263.237 1.379
2023-02-08 16:20 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -0.268 38.577 25324300 2.229 4.264 -9.234 -0.148 -1.149 1.182 0.212 3082.066 1.562 -0.03 2077.638 1.057 0.042 1255.785 1.037
2023-02-07 16:25 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 0.692 6125.555 30447700 2.393 11.111 -5.339 0.409 -0.339 1.556 0.088 3097.168 1.412 0.119 2080.723 1.544 0.152 1249.963 1.081
2023-02-06 16:18 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -0.515 68.781 24100800 2.168 2.432 -9.579 0 -1.628 0.79 -0.168 58.307 2.157 -0.072 38.264 1.47 0.053 37.987 1.077
2023-02-03 16:19 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 0.179 47.832 19431000 3.654 21.645 -3.404 -0.107 -1.182 0.362 0.149 23.006 2.001 0.194 18.493 1.62 0.15 28.708 1.072
2023-02-02 16:23 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 0.12 -1.821 18614600 1.625 4.626 -2.478 0.068 -0.887 0.955 0.201 3.823 1.339 0.2 24.441 1.013 0.097 19.37 0.702
2023-02-01 16:22 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 0.283 9.467 21577700 1.793 6.089 -3.58 -0.091 -0.698 1.09 0.241 37.572 1.27 0.151 32.51 1.026 0.027 19.843 0.649
2023-01-31 21:12 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 0.198 65.678 27815400 1.87 7.238 -6.313 0.152 -0.612 1.087 0.085 44.032 1.158 0.027 29.735 0.825 0.139 20.618 0.832
2023-01-30 16:19 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -0.029 22.386 20950600 1.199 3.387 -2.222 -0.195 -0.77 0.439 -0.059 11.764 0.879 -0.115 8.024 0.656 0.367 18.506 0.682
2023-01-27 16:26 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -0.09 1.142 19669700 1.235 3.054 -2.986 -0.174 -0.675 0.516 -0.158 0.842 0.766 0.175 5.009 1.124 0.644 20.009 0.763
2023-01-26 16:22 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -0.226 0.543 23443300 1.316 4.333 -2.163 -0.277 -1.193 0.294 0.308 6.943 1.791 0.652 23 1.188 0.734 24.102 0.79
2023-01-25 16:20 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 0.841 13.343 32378500 2.759 14.811 -5.377 0.494 -0.142 1.444 1.091 34.229 1.439 1.178 32.787 1.135 0.671 22.295 0.7
2023-01-24 16:19 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 1.34 55.115 21892000 1.861 5.473 -2.376 1.328 0.346 2.248 1.346 42.51 1.296 1.018 35.542 0.833 0.757 28.295 0.546
2023-01-23 16:20 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 1.352 29.904 15454600 1.466 4.545 -3.132 1.457 0.424 2.193 0.857 25.755 0.808 0.391 14.34 0.658 0.79 15.611 0.481
2023-01-20 16:19 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 0.362 21.606 15717000 1.065 3.276 -2.126 0.329 -0.25 0.993 -0.09 6.557 0.839 0.364 18.819 0.532 0.211 10.419 0.42
2023-01-19 16:19 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -0.542 -8.492 16790300 1.252 2.436 -2.55 -0.5 -1.51 0.102 0.365 17.426 0.583 0.745 8.849 0.626 0.05 5.942 0.441
2023-01-18 18:11 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 1.271 43.344 21029600 1.084 3.412 -1.146 1.283 0.691 2.07 1.389 17.519 0.815 0.412 12.994 0.5 0.19 11.704 0.679
2023-01-17 16:25 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 1.507 -8.306 18472600 1.16 4.701 0 1.23 0.774 1.957 -0.018 -2.181 0.64 -0.16 -1.714 0.628 0.276 6.529 0.78
2023-01-16 17:13 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -1.542 3.944 20826000 1.14 1.005 -3.354 -1.754 -2.251 -0.828 -0.994 1.582 0.996 -0.61 7.828 1.216 0.364 18.444 0.837
2023-01-13 16:20 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -0.445 -0.781 25049300 1.675 6.237 -3.075 -0.503 -1.653 0.136 -0.144 9.77 1.687 0.471 12.336 1.204 0.976 20.444 1.177
2023-01-12 16:27 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 0.157 20.32 23594700 2.284 7.606 -8.108 0.23 -0.77 1.072 0.93 18.895 1.369 1.27 29.686 1.368 1.113 23.108 1.136
2023-01-11 16:24 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 1.702 17.47 21059300 1.963 8.614 -0.99 1.328 0.514 2.309 1.826 34.369 2.378 1.723 27.56 2.068 0.742 20.846 1.051
2023-01-10 16:26 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 1.95 51.268 21752700 3.957 22.59 -0.98 1.148 0.086 2.559 1.733 32.606 2.62 1.235 25.918 1.616 0.439 18.16 1.007
2023-01-06 16:21 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 1.516 13.944 18963200 2.332 14.017 -0.618 1.282 0.119 1.775 0.878 13.242 1.411 0.019 11.832 0.966 0.072 13.591 0.936
2023-01-05 16:26 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 0.239 12.541 20588700 2.027 5.133 -5.256 0 -0.73 1.192 -0.729 10.775 1.303 -0.423 8.53 1.08 -0.318 16.365 0.744
2023-01-04 16:25 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -1.698 9.01 20166200 1.574 1.636 -5.725 -1.524 -2.426 -0.8 -0.754 6.524 1.182 -0.465 13.823 1.02 -0.32 17.864 0.531
2022-12-30 16:18 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 0.189 4.039 19240100 2.005 6.456 -6.767 -0.172 -0.55 0.956 0.151 16.23 1.514 -0.044 20.091 0.713 0.045 13.14 0.511
2022-12-29 16:17 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 0.113 28.42 17983100 2.003 8.181 -3.247 -0.158 -0.706 0.941 -0.161 28.117 1.088 -0.031 25.424 0.769 -0.245 18.067 0.682
2022-12-28 16:56 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -0.435 27.814 19342300 1.801 4.651 -6.14 -0.458 -1.3 0.223 -0.103 23.926 1.038 -0.025 11.08 1.083 -0.233 11.02 0.75
2022-12-27 16:24 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 0.23 20.038 15357600 1.189 5.174 -2.086 0.064 -0.694 0.797 0.18 2.713 1.005 -0.301 11.367 0.89 -0.362 -0.06 0.745
2022-12-26 16:26 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 0.13 -14.612 15230000 2.241 3.364 -8.791 0.422 -0.883 1.328 -0.566 7.032 1.088 -0.32 2.417 0.888 -1.043 27.306 0.885
2022-12-23 16:22 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -1.263 28.676 23691500 2.363 9.716 -5.428 -1.164 -2.248 -0.445 -0.545 10.931 1.786 -0.724 -1.908 1.452 -1.121 31.941 1.06
2022-12-22 16:19 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 0.174 -6.813 20714700 1.951 7.353 -4.545 0.22 -0.768 0.913 -0.455 -17.2 1.253 -1.361 40.822 1.204 -1.232 38.098 0.915
2022-12-21 16:19 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -1.083 -27.587 26833300 1.516 5.287 -3.042 -1.28 -2.185 -0.369 -2.128 64.639 1.213 -1.506 45.947 0.852 -1.246 45.61 0.816
2022-12-20 16:23 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -3.172 156.866 32594100 1.972 -0.333 -10.811 -2.691 -4.277 -1.842 -1.717 82.714 1.149 -1.75 74.963 1.112 -0.873 57.111 0.688
2022-12-19 16:19 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -0.263 8.563 18764900 2.124 5.714 -4.724 -0.75 -1.434 0.486 -1.04 34.012 1.398 -0.658 32.925 0.914 -0.162 30.712 0.673
2022-12-16 16:20 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -1.817 59.461 30961300 2.031 3.613 -9.274 -1.324 -2.595 -0.613 -0.856 45.105 1.139 -0.311 40.043 0.778 -0.159 25.484 0.83
2022-12-15 16:16 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 0.104 30.749 20733100 1.758 6.093 -3.947 0.07 -0.708 0.708 0.442 30.333 0.92 0.423 28.512 0.906 0.534 16.389 0.699
2022-12-14 16:17 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 0.781 29.917 19139900 1.659 6.498 -3.88 0.534 -0.015 1.359 0.582 27.394 1.121 0.306 12.403 1.08 0.424 16.897 0.765
2022-12-13 16:26 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 0.384 24.871 19305900 1.615 6.469 -3.403 0.303 -0.65 1.099 0.068 3.646 1.351 0.594 7.093 0.942 0.122 11.665 0.637
2022-12-12 16:15 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -0.248 -17.58 15054500 1.714 6.132 -5 -0.238 -1.152 0.121 0.7 -1.795 0.896 0.318 9.9 0.799 0.022 8.745 0.545
2022-12-09 16:18 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 1.647 13.989 23461100 1.433 4.575 -1.057 1.464 0.43 3.034 0.601 23.64 1.06 0.158 17.012 0.875 -0.049 10.009 0.598
2022-12-08 16:19 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -0.446 33.29 18963100 1.624 6.145 -4.079 -0.564 -0.952 -0.16 -0.587 18.523 1.122 -0.43 15.773 0.797 -0.714 8.908 0.718
2022-12-07 16:21 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -0.728 3.756 19423800 1.707 5.479 -3.778 -0.726 -1.763 -0.028 -0.422 7.014 1.144 -0.481 0.922 0.82 -0.344 4.825 0.635
2022-12-06 16:19 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -0.116 10.272 20089100 1.585 3.157 -4.421 0.172 -1.099 0.63 -0.358 -0.495 0.876 -0.798 2.498 0.939 -0.399 11.115 0.617
2022-12-05 16:16 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -0.6 -11.262 21015800 1.164 2.342 -3.228 -0.586 -1.368 0.053 -1.139 -1.389 1.053 -0.292 3.367 0.909 -0.591 9.972 0.682
2022-12-02 16:25 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -1.679 8.483 27616900 2.236 1.991 -11.785 -1.377 -2.584 -0.351 -0.138 10.681 1.232 -0.427 18.855 0.762 -0.597 14.789 0.675
2022-12-01 16:19 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 1.402 12.879 28408400 2.986 16.097 -2.346 1.11 -0.304 2.645 0.199 24.041 1.523 -0.225 17.546 1.276 -0.025 16.784 0.905
2022-11-30 16:22 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -1.005 35.202 31064100 1.832 2.73 -5.947 -0.629 -1.838 0 -1.039 19.88 1.601 -0.903 17.528 1.143 0.074 22.051 1.084
2022-11-29 16:16 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -1.073 4.557 22285700 2.816 10.908 -7.831 -0.928 -1.737 -0.426 -0.852 8.691 1.601 -0.175 11.946 1.559 0.324 14.977 1.289
2022-11-28 16:15 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -0.631 12.826 26624000 1.941 8.497 -3.42 -0.861 -1.64 -0.042 0.274 15.641 2.386 0.817 22.624 2.264 0.596 10.94 1.399
2022-11-25 16:46 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 1.179 18.456 36009200 3.941 20.604 -2.89 0.279 -0.374 1.166 1.54 26.832 3.057 1.108 18.814 2.078 0.908 13.852 1.419
2022-11-24 16:50 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 1.901 37.546 25750800 2.785 15.924 -1.402 1.499 0.553 2.305 1.072 18.718 1.739 0.81 7.463 1.619 0.707 8.833 0.999
2022-11-22 16:47 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 0.244 3.329 24664500 2.516 3.256 -14.11 0.335 0 1.145 0.264 -6.074 2.158 0.487 5.085 1.019 0.593 4.649 0.934
2022-11-21 16:50 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 0.284 -15.476 22307500 2.245 5.551 -9.444 0.612 -0.287 1.014 0.608 5.964 2.501 0.464 1.58 2.221 0.865 6.657 1.593
2022-11-18 16:50 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 0.932 27.403 29531400 6.283 38.462 -4.204 -0.083 -0.934 1.088 0.554 10.109 3.987 0.813 11.797 2.569 0.554 13.821 1.76
2022-11-17 16:54 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 0.176 -7.186 24946200 2.303 9.244 -3.349 0.178 -1.106 1.159 0.753 3.994 1.35 1.035 7.119 1.934 0.917 34.771 1.815
2022-11-16 16:54 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 1.331 15.174 31077200 2.673 12.116 -2.222 0.512 -0.11 1.91 1.465 14.271 2.977 0.554 16.297 2.263 0.742 38.329 1.787
2022-11-15 16:48 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 1.6 13.367 33704900 4.188 14.177 -8.879 1.21 -0.058 2.855 0.166 16.858 2.715 1.026 55.289 2.636 0.466 41.166 1.809
2022-11-14 17:00 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -1.267 20.348 42544600 3.848 15.419 -8.543 -1.124 -3.145 0 0.739 76.25 3.357 0.259 54.367 2.161 0.457 48.676 1.559
2022-11-11 22:26 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 2.746 132.152 48198600 5.807 30.612 -7.484 2.32 -0.148 3.88 1.022 71.376 2.82 0.666 57.372 2.249 1.022 57.319 1.499
2022-11-10 16:50 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -0.701 10.601 22288200 1.303 3.452 -4.626 -0.636 -1.324 0.014 -0.374 19.982 2.054 0.268 30.293 1.653 0.385 32.918 1.113
2022-11-09 16:51 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -0.046 29.362 22870500 3.788 10.938 -15.688 0.304 -0.588 1.696 0.753 40.138 2.377 1.021 47.947 1.595 0.431 36.287 0.944
2022-11-08 16:49 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 1.552 50.915 23591000 2.119 9.07 -2.866 1.144 0.354 2.192 1.555 57.24 1.369 0.891 41.543 1.147 0.6 27.747 0.778
2022-11-07 16:48 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 1.557 63.565 18435300 1.611 5.251 -1.825 1.468 0.242 2.396 0.56 36.857 1.13 0.217 33.719 0.848 0.633 16.624 1.074
2022-11-04 16:52 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -0.436 10.149 26241600 1.848 5.061 -3.514 -0.777 -1.458 0.22 -0.453 18.795 1.135 -0.037 8.086 1.02 0.145 30.207 1.397
2022-11-02 16:44 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -0.471 27.442 23920900 2.013 3.221 -8.182 -0.08 -1.455 0.418 0.162 7.054 1.021 0.681 3.136 1.457 0.292 34.6 1.372
2022-11-01 16:55 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 0.795 -13.334 24181900 2.417 13.143 -2.044 0.524 -0.228 1.248 1.256 -9.017 2.722 0.544 37.815 2.295 0.337 27.636 1.579
2022-10-31 16:51 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 1.717 -4.7 29805000 3.56 19.048 -6.713 1.495 0.053 2.89 0.419 63.389 2.457 0.379 52.964 2.06 0.602 49.248 1.361
2022-10-28 16:46 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -0.879 131.479 43133300 2.006 8.567 -3.83 -1.015 -1.915 -0.06 -0.29 81.796 1.741 -0.276 52.071 1.174 0.511 59.238 1.026
2022-10-27 16:51 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 0.299 32.112 30263400 2.188 6.614 -6.22 0.269 -0.647 0.86 0.026 12.367 1.226 0.723 39.82 1.074 0.658 33.538 0.961
2022-10-26 16:53 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -0.246 -7.377 23820400 1.315 4.521 -2.582 -0.17 -1.226 0.374 0.936 43.674 1.22 1.045 44.2 1.126 0.579 64.905 0.769
2022-10-25 16:58 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 2.117 94.726 29529800 1.978 8.47 -0.901 1.606 1.048 2.994 1.691 69.989 1.568 1.079 47.651 1.284 0.611 63.224 0.653
2022-10-24 16:53 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 1.264 45.252 22881800 2.126 5.818 -6.542 1.327 0.339 2.264 0.56 24.113 1.722 0.342 79.059 0.875 0.434 51.191 0.485
2022-10-21 16:37 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -0.144 2.974 20814700 2.031 5.466 -6.957 -0.319 -1.099 0.513 -0.12 95.963 1.355 -0.109 58.714 1.007 0.136 36.505 0.542
2022-10-20 16:36 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -0.096 188.951 24105100 3.244 18.557 -2.659 -0.66 -1.334 0.092 -0.091 86.583 1.823 0.35 69.243 1.114 0.476 64.99 0.954
2022-10-19 16:37 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -0.087 -15.784 16599500 0.977 2.105 -2.776 0.063 -0.71 0.487 0.572 9.39 0.659 0.306 -3.133 0.591 0.183 35.549 1.271
2022-10-18 16:39 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 1.232 34.564 19630500 1.199 3.614 -1.683 1.251 0.374 2.068 0.503 3.192 0.932 0.855 50.594 1.326 -0.07 37.945 1.265
2022-10-17 16:39 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -0.227 -28.179 17464700 1.629 6.323 -2.639 -0.441 -1.173 0.349 0.666 58.609 1.728 -0.076 52.989 1.959 -0.988 41.866 1.285
2022-10-14 16:34 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 1.559 145.397 28947200 3.001 4.078 -15.873 2.039 1.397 2.517 -0.001 93.573 2.748 -0.451 61.114 1.886 -1.162 46.419 1.348
2022-10-13 16:38 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -1.561 41.75 19404800 2.873 1.909 -16.556 -1.061 -2.289 -0.188 -1.456 18.972 1.576 -2.09 30.704 1.463 -1.234 19.626 0.936
2022-10-12 16:42 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -1.352 -3.806 26083000 1.585 0.995 -5.04 -0.788 -1.982 -0.244 -2.354 25.181 1.801 -1.936 14.983 1.253 -0.925 13.305 0.729
2022-10-11 16:37 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -3.357 54.168 32014900 2.567 0.141 -12.641 -2.888 -4.468 -1.478 -2.228 24.378 1.412 -1.086 20.062 0.872 -0.21 15.046 0.572
2022-10-07 16:36 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -1.099 -5.413 19860700 1.242 2.747 -3.519 -1.406 -1.861 -0.105 0.049 3.009 0.948 0.028 5.388 0.831 0.761 3.603 0.629
2022-10-06 16:36 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 1.197 11.43 19319500 1.276 4.059 -1.743 1.074 0.616 2.015 0.592 10.788 0.988 1.135 8.825 0.75 0.582 18.082 0.546
2022-10-05 16:34 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -0.013 10.146 21181200 1.489 3.73 -3.517 0 -0.768 0.736 1.104 7.522 0.933 1.235 3.999 0.82 0.333 14.089 0.516
2022-10-04 16:44 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 2.221 4.898 23829000 1.165 4.167 -1.29 2.38 1.399 3.137 1.859 0.925 1.027 0.576 22.945 0.709 0.155 26.117 0.674
2022-10-03 16:32 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 1.496 -3.047 23550300 1.752 4.594 -1.883 1.441 0.166 2.88 -0.247 31.969 0.983 -0.181 18.467 0.696 -0.05 21.072 0.94
2022-09-30 16:34 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -1.99 66.985 31344700 1.797 2.715 -5.553 -1.949 -3.208 -1.132 -1.02 29.223 1.246 -0.982 42.912 1.222 -1.108 34.085 1.053
2022-09-29 16:42 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -0.05 -8.538 26823100 1.587 4.08 -2.84 0.165 -1.162 0.943 -0.477 30.876 1.565 0.082 13.807 1.494 -0.744 21.476 0.953
2022-09-28 16:35 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -0.905 70.289 44787000 3.033 13.415 -7.539 -1.03 -1.984 -0.323 0.148 24.98 2.141 -1.167 37.326 1.386 -0.987 24.903 0.86
2022-09-27 16:39 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 1.201 -20.329 22464900 4.139 25.884 -1.083 0.486 -0.103 1.08 -1.298 20.844 2.138 -0.922 15.209 1.521 -0.634 7.677 0.876
2022-09-26 16:35 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -3.797 62.017 29782100 2.049 2.063 -8.088 -3.69 -5.152 -2.806 -1.984 32.979 1.077 -1.744 24.852 0.77 -1.335 35.199 0.753
2022-09-22 16:38 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -0.17 3.94 20348800 1.251 3.645 -1.859 -0.162 -1 0.119 -0.717 6.269 0.731 -0.191 -1.101 0.718 -0.68 19.039 0.759
2022-09-21 16:37 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -1.264 8.598 20481600 1.478 4.105 -4.623 -1.225 -2.251 -0.498 -0.202 -3.622 1.2 -0.902 36.68 1.142 -0.944 29.334 0.77
2022-09-20 16:35 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 0.86 -15.842 23136900 1.492 4.195 -2.087 0.719 0.009 1.756 -0.721 50.721 1.221 -0.656 27.552 1.079 -0.696 27.273 0.675
2022-09-16 16:38 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -2.303 117.284 31095500 2.29 1.169 -10.097 -1.551 -3.62 -0.814 -1.414 49.25 1.505 -1.438 51.304 0.973 -0.728 27.7 0.73
2022-09-15 16:39 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -0.526 -18.785 17140500 1.319 2.471 -3.772 -0.43 -1.251 0.337 -1.006 18.314 0.881 -0.678 11.641 0.673 -0.073 10.363 0.827
2022-09-14 16:35 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -1.487 55.412 23302300 1.586 5.381 -4.141 -1.675 -2.153 -1.023 -0.755 26.854 0.704 -0.27 13.333 1.088 0.298 16.813 1.031
2022-09-13 16:35 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -0.022 -1.704 15928500 1.192 3.351 -2.478 0 -0.722 0.77 0.338 -7.707 1.466 0.55 5.062 1.287 0.411 7.394 0.985
2022-09-12 16:41 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 0.699 -13.71 18003700 2.958 14.591 -4.249 0.632 -1.027 1.717 0.836 8.445 1.902 1 8.791 1.572 0.638 16.183 0.979
2022-09-09 16:39 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 0.973 30.599 26181100 1.964 7.333 -4.691 0.579 0.014 1.68 1.15 19.617 1.448 0.46 17.278 1.151 0.6 15.169 0.84
2022-09-08 16:39 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 1.327 9.955 21977800 1.562 4.785 -3.419 1.614 0.742 2.119 0.204 10.26 1.194 0.506 21.425 1.003 0.136 8.498 0.737
2022-09-07 16:41 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -0.919 13.314 21217900 1.561 3.097 -5.645 -0.805 -1.784 0 0.096 27.146 1.352 0.233 12.027 1.326 -0.478 12.199 0.652
2022-09-06 16:40 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 1.111 40.978 22089400 1.966 9.277 -2.294 0.522 0.248 1.562 0.809 11.383 1.69 0.091 6.66 1.05 -0.286 21.936 0.684
2022-09-05 18:16 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 0.508 -18.213 16453200 1.737 8.466 -2.534 0.36 -0.651 1.129 -0.419 -10.499 0.942 -0.86 2.235 0.63 -0.293 11.988 0.599
2022-09-02 16:51 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -1.347 -2.785 22420800 1.129 0.698 -3.478 -1.032 -2.228 -0.578 -1.544 12.459 1.041 -1.017 28.971 0.787 -0.753 23.449 0.72
2022-09-01 16:46 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -1.741 27.703 25528000 1.607 3.09 -4.733 -1.928 -2.771 -0.948 -0.852 44.849 1.129 -0.209 26.979 0.977 -0.383 28.595 0.909
2022-08-31 16:51 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 0.037 61.996 32654800 1.869 6.387 -2.982 -0.18 -1.187 0.378 0.557 26.618 1.361 -0.226 30.776 1.166 0.113 26.788 1.1
2022-08-30 16:32 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 1.076 -8.761 22910800 1.57 5.239 -2.144 0.953 0.108 1.739 -0.358 15.166 1.136 -0.07 17.758 1.142 0.332 27.569 1.199
2022-08-29 16:50 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -1.791 39.093 23297400 2.219 9.149 -5.101 -1.838 -3.032 -1.223 -0.643 31.017 1.713 -0.182 26.902 1.617 0.039 34.094 1.242
2022-08-26 16:40 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 0.505 22.942 21382800 1.749 8.129 -2.034 0.188 -0.342 0.827 0.622 20.806 1.576 0.791 35.837 1.457 0.228 28.116 0.96
2022-08-25 16:37 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 0.739 18.671 27773100 2.072 8.667 -2.446 0.389 -0.446 1.248 0.934 42.285 1.766 0.494 36.144 1.291 0.246 29.799 0.914
2022-08-24 16:35 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 1.13 65.9 25393100 2.193 7.817 -2.184 0.81 -0.494 1.758 0.371 44.881 1.308 -0.035 32.989 1.153 0.136 26.966 0.784
2022-08-23 16:36 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -0.388 23.863 17757200 1.346 4.272 -2.506 -0.658 -1.051 0.069 -0.618 16.534 1.269 -0.213 21.476 1.047 0.072 18.136 0.642
2022-08-22 18:47 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -0.847 9.205 18476900 1.803 4.357 -5.536 -0.591 -1.364 -0.18 -0.126 20.282 1.166 -0.021 15.023 0.774 0.019 11.563 0.535
2022-08-19 16:55 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 0.596 31.359 22892600 1.377 5.612 -1.917 0.495 -0.06 1.092 0.392 17.931 0.875 0.532 19.204 0.636 0.354 8.323 0.856
2022-08-18 19:17 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 0.188 4.503 19154000 1.526 5.006 -1.686 -0.28 -0.774 0.785 0.5 13.126 0.933 0.115 5.751 0.729 0.628 10.564 1.038
2022-08-17 17:51 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 0.813 21.749 22481900 1.071 3.612 -1.434 1 0.292 1.387 0.078 6.375 0.743 0.329 1.918 1.162 0.474 21.36 1.146
2022-08-16 16:38 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -0.657 -9 18810800 1.324 2.619 -5.147 -0.554 -1.07 -0.073 0.088 -7.998 1.689 0.714 8.855 1.589 0.123 23.024 1.447
2022-08-15 16:33 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 0.832 -6.996 24721300 3.192 11.041 -5.104 0.361 -0.716 1.307 1.399 17.783 2.355 0.737 31.35 1.882 0.473 36.95 1.39
2022-08-12 16:33 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 1.966 42.562 30398500 2.519 8.953 -3.678 1.924 0.8 2.918 0.69 50.523 1.779 0.147 43.705 1.822 0.555 39.799 1.102
2022-08-10 19:03 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -0.587 58.484 24700300 3.363 12.204 -9.558 -0.638 -2.626 0.748 -0.763 44.277 3.142 -0.145 49.728 2.271 0.272 59.639 1.331
2022-08-09 16:37 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -0.939 30.069 26111900 3.947 15.167 -9.175 -1.028 -2.155 -0.242 0.076 45.35 2.649 0.465 32.65 1.653 0.412 49.822 1.191
2022-08-08 16:33 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 1.091 60.631 27962000 2.715 8.515 -9.716 1.011 0.394 1.873 1.167 33.94 1.333 0.962 69.881 1.16 0.382 47.141 0.916
2022-08-05 16:34 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 1.243 7.249 22750200 1.68 4.924 -2.684 0.851 0.346 2.58 0.898 74.506 1.512 0.636 52.803 1.202 0.385 39.104 0.728
2022-08-04 16:32 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 0.552 141.764 22213500 2.154 6.144 -4.861 0.298 -0.409 1.458 0.332 75.58 1.547 -0.141 55.941 1.055 0.04 40.281 0.652
2022-08-03 16:25 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 0.112 9.397 18568500 1.934 4.727 -8.051 -0.1 -0.644 1.178 -0.488 13.03 1.089 0.042 15.502 0.808 -0.094 17.465 0.592
2022-08-02 16:36 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -1.088 16.664 21304800 1.165 1.224 -4.447 -1.053 -1.656 -0.267 0.008 18.555 0.705 -0.154 11.807 0.629 0.056 17.485 0.454
2022-08-01 16:35 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 1.104 20.446 20264000 1.274 3.1 -2.37 1.302 0.254 1.996 0.313 12.92 0.813 0.169 21.342 0.617 0.442 17.026 0.486
2022-07-29 16:36 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -0.478 -7.287 21205000 1.438 6.03 -2.568 -0.574 -1.319 0.056 -0.298 18.04 0.886 0.088 15.59 0.512 0.03 14.105 0.691
2022-07-28 16:33 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -0.119 45.684 32337500 0.812 1.854 -1.917 -0.026 -0.592 0.316 0.371 27.772 0.717 0.528 23.281 0.645 0.206 31.04 0.504
2022-07-27 16:27 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 0.861 9.859 23346600 1.38 3.854 -3.125 0.777 0.129 1.816 0.851 12.079 0.868 0.249 11.101 0.761 0.421 19.275 0.583
2022-07-26 16:34 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 0.841 14.299 19892800 1.737 7.231 -1.569 0.609 0.03 1.068 -0.057 11.721 1.437 0.096 33.219 0.923 0.62 24.906 0.686
2022-07-25 19:17 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -0.954 9.144 16725000 1.798 5.981 -4.542 -1.03 -2.058 -0.046 -0.276 42.678 0.969 0.135 24.072 0.778 0.679 25.301 0.593
2022-07-22 16:30 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 0.403 76.213 21130300 1.17 2.791 -3.108 0.584 -0.162 1.203 0.68 31.537 0.993 1.072 33.696 0.837 0.836 32.68 0.501
2022-07-21 16:30 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 0.956 -13.139 21911200 1.527 6.002 -1.993 0.832 0.138 1.781 1.407 12.437 0.923 1.316 13.716 0.77 1.005 25.535 0.621
2022-07-20 18:42 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 1.857 38.013 24229400 1.325 4.884 -1.154 2.002 1.1 2.55 1.496 27.143 1.144 0.941 33.442 0.766 0.873 24.196 0.559
2022-07-19 22:26 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 1.136 16.274 20505800 1.61 4.332 -4.398 1.214 0.619 2.074 0.483 31.157 1.091 0.737 34.266 0.867 0.023 18.212 0.475
2022-07-15 15:00 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -0.171 46.04 20491100 2.495 13.485 -3.144 -0.455 -1.325 0.034 0.537 43.263 1.519 0.457 22.232 0.895 -0.102 11.29 0.616
2022-07-14 15:00 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 1.244 40.486 19709200 2.458 12.474 -1.623 0.607 -0.071 1.952 0.771 10.328 1.22 -0.284 9.581 0.843 0.174 18.199 0.586
2022-07-13 22:35 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 0.298 -19.83 16430100 1.145 2.362 -3.305 0.565 -0.364 0.961 -1.048 -5.871 1.085 -0.528 -10.026 0.775 0.12 7.419 0.519
2022-07-12 21:57 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -2.394 8.089 22064000 1.728 0 -8.873 -2.217 -2.898 -1.482 -0.941 -5.123 1.025 -0.224 23.447 0.727 -0.245 21.105 0.527
2022-07-11 20:48 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 0.512 -18.335 22738400 1.245 3.671 -2.396 0.481 -0.201 1.196 0.861 31.126 1.255 0.899 16.279 0.981 0.317 19.109 0.565
2022-07-08 16:35 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 1.211 80.588 31770900 1.846 8.269 -1.829 1.064 0.254 1.763 1.092 33.587 1.187 0.218 38.591 0.742 0.293 21.553 0.746
2022-07-07 16:35 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 0.973 -13.415 24543800 1.349 4.21 -1.768 0.943 0.252 1.908 -0.278 17.592 1.035 -0.045 11.097 0.883 -0.294 14.243 0.916
2022-07-06 16:30 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -1.529 48.599 26107200 1.671 3.101 -5.622 -1.601 -2.309 -0.568 -0.555 23.353 1.218 -0.24 13.868 1.263 -0.966 22.578 1.052
2022-07-05 16:38 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 0.42 -1.892 19066200 1.259 3.481 -2.23 0.358 -0.364 1.328 0.404 -5.518 1.604 -0.305 10.935 1.337 -0.873 22.155 1.145
2022-07-04 16:33 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 0.388 -7.498 20819500 2.816 13.173 -5.25 0 -0.721 1.05 -0.667 17.182 1.888 -1.24 21.322 1.462 -0.791 24.876 1.234
2022-07-01 16:37 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -1.722 44.174 30830800 3.322 12.15 -8.788 -1.98 -3.082 -0.48 -2.053 36.75 2.062 -1.724 40.615 1.693 -0.536 27.229 1.138
2022-06-30 16:28 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -2.385 29.326 30546500 2.108 0.508 -11.438 -2.019 -3.196 -1.124 -1.726 38.835 1.616 -0.874 29.259 1.174 0.076 25.918 0.687
2022-06-29 16:34 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -1.067 48.343 32476500 1.941 3.025 -6.927 -0.546 -2.012 0.17 -0.118 29.225 1.529 0.476 20.881 1.318 0.505 29.292 0.662
2022-06-28 16:35 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 0.831 10.106 23525200 2.014 7.078 -5.631 0.522 0 1.459 1.248 7.151 1.576 1.278 17.307 1.067 0.51 41.957 0.623
2022-06-27 16:35 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 1.664 4.195 24145000 1.74 5.675 -2.83 1.551 0.713 2.818 1.501 20.908 1.298 0.92 29.337 1.222 0.988 37.041 1.022
2022-06-24 16:34 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 1.338 37.621 28556800 2.152 7.071 -2.192 0.853 0.1 2.258 0.548 41.908 1.928 0.019 65.162 1.292 0.089 33.494 1.097
2022-06-23 16:35 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -0.243 46.195 25157600 2.366 11.403 -5.228 -0.348 -1.016 0.142 -0.641 78.932 1.414 0.646 47.796 1.487 -0.616 49.959 1.03
2022-06-22 16:35 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -1.039 111.668 22034000 1.458 1.55 -4.567 -0.818 -2.094 0.113 1.091 48.596 1.412 -0.216 27.884 1.107 -0.494 38.592 0.807
2022-06-21 16:37 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 3.22 -14.476 25945700 2.563 13.988 -1.123 2.673 1.673 3.913 0.195 -14.009 1.321 -0.6 30.644 1.018 -0.57 16.711 0.691
2022-06-20 16:33 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -2.83 -13.541 31658600 2.414 2.482 -9.18 -2.45 -4.076 -1.43 -2.51 53.204 1.62 -1.55 31.923 1.189 -1.292 21.684 0.841
2022-06-17 16:30 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -2.19 119.95 36680100 2.005 1.65 -7.952 -2.229 -3.041 -0.923 -0.91 54.655 1.168 -1.08 37.19 0.888 -1.225 22.661 0.803
2022-06-16 16:37 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 0.369 -10.64 20445600 1.422 2.909 -4.861 0.172 -0.285 1.092 -0.526 -4.189 0.885 -0.479 0.671 0.717 -1.146 2.818 0.772
2022-06-15 16:30 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -1.42 2.261 23485600 1.293 1.538 -3.763 -1.47 -1.914 -0.571 -0.903 6.326 1.049 -1.435 1.331 1.005 -1.249 9.451 1.056
2022-06-14 16:35 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -0.386 10.392 27345400 1.566 3.833 -4.801 -0.54 -1.267 0.348 -1.443 0.867 1.337 -1.56 7.49 1.062 -0.765 10.41 0.853
2022-06-13 16:37 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -2.5 -8.659 23988300 1.889 0.78 -7.175 -2.215 -3.882 -1.185 -2.147 6.038 1.292 -1.48 11.534 1.397 -0.564 42.625 0.994
2022-06-10 16:34 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -1.794 20.735 25431900 1.352 0.939 -4.762 -1.728 -2.655 -0.879 -0.969 21.631 1.541 -0.313 16.773 1.014 0.155 44.611 1.005
2022-06-09 16:36 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -0.145 22.526 25503000 2.66 8.257 -6.595 -0.362 -1.852 1.002 0.428 14.792 1.367 0.491 67.016 1.295 0.651 46.111 0.987
2022-06-08 16:32 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 1.001 7.058 30118700 1.761 3.839 -3.306 1.014 -0.314 2.614 0.809 89.261 1.142 0.905 59.931 1.11 0.75 92.322 1.215
2022-06-07 19:57 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 0.616 171.464 26789300 2.426 8.999 -3.519 0.49 -0.627 1.412 0.857 86.368 1.761 0.8 66.991 1.302 0.897 89.965 1.832
2022-06-06 21:01 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 1.098 1.272 21666300 1.816 7.416 -1.348 0.698 -0.146 1.707 0.891 14.754 1.447 0.711 94.363 1.79 0.72 61.681 1.698
2022-06-03 21:16 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 0.685 28.236 21517200 2.034 11.043 -2.389 0.361 -0.254 1.164 0.518 140.908 2.161 0.924 92.364 2.268 0.865 88.901 1.588
2022-06-02 17:14 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 0.351 253.58 21197500 3.02 16.176 -2.907 -0.076 -0.764 0.532 1.043 124.427 3.009 0.606 92.965 2.197 1.087 87.125 1.526
2022-06-01 17:03 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 1.735 -4.726 24826100 3.413 20.013 -2.142 1.351 0.305 2.44 0.733 12.657 1.984 1.097 54.23 1.63 1.018 39.339 1.109
2022-05-31 22:22 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -0.269 30.04 33858100 1.373 2.883 -3.317 -0.294 -1.126 0.262 0.778 83.708 1.72 1.117 62.258 1.382 0.546 42.602 0.858
2022-05-30 16:36 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 1.826 137.375 33522600 2.829 7.551 -9.297 1.74 0.9 3.317 1.81 78.366 1.701 1.207 57.127 1.234 0.299 36.972 0.685
2022-05-27 22:07 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 1.794 19.358 22633000 1.847 8.429 -1.157 1.614 0.783 2.428 0.898 17.002 1.262 0.392 15.199 1.051 -0.013 9.692 0.741
2022-05-26 16:31 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 0.002 14.647 18452700 1.527 4.087 -3.257 -0.13 -0.781 0.519 -0.31 13.12 1.212 -0.709 9.375 0.892 -0.173 8.043 0.679
2022-05-25 16:25 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -0.621 11.592 19584800 1.562 4.096 -3.472 -0.666 -1.85 0.424 -1.064 6.74 1.195 -0.62 4.819 0.921 -0.239 5.373 0.793
2022-05-24 16:24 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -1.507 1.887 21974100 1.907 2.286 -5.616 -1.649 -2.498 -0.145 -0.62 1.432 1.013 -0.081 4.659 0.966 0.188 5.157 0.818
2022-05-23 16:25 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 0.267 0.978 22930500 1.888 7.925 -3.432 -0.069 -0.683 0.569 0.631 6.046 1.247 0.311 4.462 1.117 0.863 6.319 0.901
2022-05-20 18:02 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 0.996 11.113 25897500 2.175 7.504 -5.471 1.034 0.343 2.043 0.334 6.204 1.473 0.727 7.64 1.223 0.94 23.312 1.584
2022-05-19 16:29 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -0.328 1.295 25423800 1.813 4.489 -4.65 -0.399 -1.475 0.542 0.593 5.904 1.236 1.018 6.501 1.48 1.373 25.488 1.988
2022-05-18 16:24 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 1.514 10.512 28753200 1.662 6.143 -2.008 1.501 0.335 2.44 1.691 9.104 2.181 1.343 34.717 2.692 1.332 36.899 1.927
2022-05-17 16:22 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 1.868 7.696 32048300 4.172 20.433 -3.246 0.924 0.197 2.193 1.258 46.819 4.106 1.894 38.486 3.282 1.118 32.26 2.009
2022-05-16 16:29 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 0.649 85.942 29454100 6.102 20.202 -12.913 0.106 -1.371 1.364 1.907 53.456 3.821 1.093 55.183 2.665 0.58 62.305 1.508
2022-05-13 19:44 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 3.165 22.607 27566100 2.97 14.409 -2.938 2.447 1.631 5.102 1.315 39.447 2.225 1.024 22.279 1.572 0.045 49.152 0.881
2022-05-12 16:25 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -0.535 59.352 32898700 3.909 14.641 -3.896 -1.676 -2.382 0.562 -0.046 23.335 2.013 -0.304 68.226 1.253 -0.444 48.342 1.043
2022-05-11 16:24 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 0.442 -12.682 24681200 1.482 2.819 -3.81 0.707 -0.546 1.432 -0.189 72.663 1.507 -0.802 54.912 1.8 -0.408 36.755 1.187
2022-05-10 16:32 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -0.819 158.008 31889600 3.032 6.816 -15.57 -0.573 -1.812 0.564 -1.424 88.708 2.796 -0.708 65.014 1.921 -0.106 35.181 1.346
2022-05-09 21:21 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -2.03 19.409 17605300 3.049 1.753 -18.792 -1.85 -2.65 -0.56 -0.653 18.517 1.67 -0.555 12.817 1.262 -0.058 16.454 0.958
2022-05-06 18:58 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 0.723 17.625 23048000 1.843 4.44 -2.465 0.844 -0.637 1.855 0.182 9.521 1.07 0.772 -0.505 1.113 0.349 11.709 0.834
2022-05-02 19:36 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -0.358 1.418 17853200 1.156 2.523 -3.41 -0.359 -1.011 0.384 0.797 -9.569 1.107 0.339 15.078 0.92 -0.201 34.634 0.63
2022-04-28 19:50 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 1.953 -20.556 21304300 1.661 5.234 -1.616 2.116 0.714 3.236 0.688 21.908 1.222 0.459 13.168 0.918 -0.354 35.622 0.569
2022-04-27 20:07 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -0.578 64.373 31284500 1.578 3.313 -3.333 -0.573 -1.728 0.137 -0.287 30.03 0.947 -0.866 64.103 0.747 -0.466 39.437 0.506
2022-04-26 21:17 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 0.003 -4.314 20852000 1.097 3.494 -2.878 0.048 -0.788 0.537 -1.011 63.969 1.145 -1.048 44.765 0.954 -0.488 33.939 0.657
2022-04-25 21:51 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -2.024 132.251 23323900 2.286 9.02 -6.663 -2.094 -3.102 -1.384 -1.573 69.304 1.484 -0.586 45.709 0.955 -0.097 37.244 0.568
2022-04-22 22:05 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -1.123 6.357 24641300 1.502 2.015 -4.319 -1.111 -2.2 0.09 0.134 2.438 0.871 -0.139 13.919 0.907 0.244 17.541 0.561
2022-04-21 22:17 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 1.39 -1.481 23243600 1.701 4.92 -2.479 1.37 0.168 2.706 0.353 17.7 1.183 0.887 15.87 0.793 0.177 18.781 0.54
2022-04-20 22:28 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -0.685 36.881 20282500 1.899 2.089 -6.81 -0.314 -1.482 0.669 0.636 24.546 0.759 0.318 27.609 0.762 0.042 18.273 0.619
2022-04-19 22:39 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 1.956 12.211 17169600 1.848 6.775 -0.877 1.78 0.646 2.639 0.819 22.973 1.675 0.06 19.501 1.029 0.596 14.289 0.884
2022-04-18 17:52 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -0.318 33.736 2.006 7.06 -4.962 -0.72 -1.332 0.161 -0.888 23.146 1.1 -0.354 14.091 0.892 -0.121 13.677 0.831
2022-04-15 16:26 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -1.458 12.557 1.719 3.069 -5.75 -1.498 -2.206 -0.65 -0.372 4.269 1.304 0.447 8.499 1.051 -0.183 9.454 0.855
2022-04-14 16:30 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 0.715 -4.019 1.413 3.989 -1.901 0.646 -0.199 1.704 1.4 6.471 1.579 0.39 7.365 1.162 0.174 5.914 0.785
2022-04-13 16:21 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 2.085 16.961 3.222 9.139 -14.091 2.187 1.102 3.357 0.228 13.057 1.871 -0.057 12.911 1.355 -0.513 11.496 0.959
2022-04-12 16:23 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -1.629 9.152 1.788 3.998 -6.207 -1.604 -2.596 -0.523 -1.129 10.887 1.189 -0.644 5.543 0.851 -1.401 13.771 0.95
2022-04-11 16:26 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -0.628 12.621 2.222 4.247 -4.929 -0.889 -1.741 0.208 -0.151 3.738 1.214 -1.006 10.455 1.211 -1.072 14.915 0.839
2022-04-08 16:29 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 0.325 -5.145 1.232 4.314 -2.09 0.289 -0.622 0.872 -1.195 9.372 1.247 -1.582 15.693 1.164 -0.959 27.313 0.967
2022-04-07 16:29 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -2.716 23.889 2.031 0.591 -7.912 -2.348 -3.912 -1.5 -2.535 26.112 1.546 -1.686 22.366 1.015 -1.339 30.286 1.044
2022-04-06 16:31 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -2.355 28.336 1.555 1.86 -5.906 -2.398 -3.362 -1.299 -1.171 21.605 0.889 -0.802 39.274 1.271 -0.928 27.476 1.059
2022-04-05 16:28 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 0.012 14.874 1.199 2.613 -2.3 -0.138 -0.821 0.826 -0.025 44.743 1.77 -0.542 33.069 1.369 -0.356 28.83 1.096
2022-04-04 16:30 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -0.062 74.612 3.452 16.556 -8.692 -0.322 -0.928 0.409 -0.819 42.166 2.067 -0.767 31.389 1.686 -0.138 33.718 1.224
2022-04-01 16:23 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -1.575 9.72 1.748 2.362 -7.427 -1.34 -2.305 -0.388 -1.119 9.778 1.535 -0.577 18.222 1.379 -0.349 17.368 0.922
2022-03-31 16:26 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -0.662 9.837 2.441 5.516 -12.183 -0.652 -1.14 0.03 -0.077 22.472 1.977 0.316 28.086 1.645 0.037 15.998 1.034
2022-03-30 16:29 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 0.508 35.108 3.011 9.656 -3.237 -0.03 -0.94 0.786 0.805 37.211 2.123 0.164 22.428 1.287 0.313 14.968 0.981
2022-03-29 16:25 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 1.103 39.313 1.706 5.205 -1.65 0.72 0.116 2.19 -0.008 16.088 0.976 0.113 11.682 0.827 0.622 9.295 0.771
2022-03-28 16:25 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -1.119 -7.138 1.447 2.37 -4.703 -1.067 -1.731 -0.087 -0.383 -2.133 1 -0.015 0.14 0.787 0.489 5.717 0.841
2022-03-25 16:22 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 0.354 2.872 1.371 3.336 -3.797 0.35 -0.44 1.247 0.537 3.779 1.117 1.042 4.767 1.151 0.98 8.1 1.018
2022-03-24 16:28 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 0.721 4.685 1.565 3.724 -1.986 0.881 -0.321 1.781 1.386 5.715 1.382 1.07 10.95 1.073 1.5 11.748 1.045
2022-03-23 16:31 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 2.051 6.744 1.892 7.985 -2.664 2.015 1.082 3.188 1.245 14.082 1.352 1.276 10.981 1.282 1.726 19.679 1.086
2022-03-22 16:32 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 0.438 21.42 1.761 5.537 -3.441 0.403 -0.657 1.533 0.888 13.1 1.405 1.577 15.771 1.057 1.471 18.874 0.956
2022-03-18 16:27 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 1.338 4.78 2.005 10.151 -2.818 1.136 0.541 1.931 2.146 12.946 1.403 2.047 23.411 1.456 1.62 24.488 1.078
2022-03-17 16:29 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 2.953 21.113 2.367 7.681 -1.282 2.383 1.354 4.868 2.401 32.727 1.822 1.859 22.724 1.4 1.06 21.684 0.801
2022-03-16 16:28 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 1.85 44.341 2.551 9.859 -2.315 1.41 0.153 3.328 1.312 23.529 1.498 1.27 32.183 1.329 1.389 17.008 0.847
2022-03-15 16:28 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 0.774 2.717 1.499 5.131 -2.883 0.774 -0.035 1.418 0.98 26.104 1.981 0.166 14.321 1.408 1.151 11.907 0.925
2022-03-14 16:33 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 1.186 49.492 3.371 17.636 -5.263 1.05 -0.404 1.776 -0.138 20.124 1.931 1.44 12.661 1.338 0.57 11.623 0.808
2022-03-11 16:22 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -1.463 -9.245 1.991 3.509 -5.254 -1.948 -2.754 0.137 1.567 -5.755 0.843 1.264 2.443 0.764 -0.525 8.53 0.653
2022-03-10 16:24 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 4.597 -2.266 1.518 7.385 0.649 4.663 3.758 5.605 2.628 8.286 1.341 1.042 5.956 1.164 -0.748 21.221 0.674
2022-03-09 16:23 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 0.658 18.838 1.925 6.313 -4.09 0.917 -0.116 1.726 -0.736 10.067 1.581 -1.92 18.053 1.06 -1.512 21.587 0.722
2022-03-08 16:26 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -2.13 1.295 2.047 2.041 -7.819 -1.612 -3.365 -0.937 -3.209 17.661 1.223 -2.999 29.845 1.145 -1.923 20.632 0.745
2022-03-07 16:24 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -4.288 34.027 2.065 -0.835 -10.368 -4.152 -5.646 -2.768 -3.434 44.12 1.706 -2.03 29.267 1.322 -1.249 19.15 0.97
2022-03-04 16:26 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -2.58 54.212 2.159 4.587 -7.541 -2.557 -4.15 -1.497 -0.901 26.887 1.35 -1.066 22.613 1.022 -0.044 20.996 0.817
2022-03-03 16:28 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 0.778 -0.439 1.578 5.539 -1.581 0.498 -0.358 1.614 -0.309 6.813 1.258 0.207 2.504 1.052 1.064 5.716 1.072
2022-03-02 16:29 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -1.395 14.065 1.986 6.385 -4.599 -1.734 -2.381 -0.593 -0.078 3.975 1.403 0.527 17.069 1.236 0.509 14.728 0.979
2022-03-01 16:23 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 1.239 -6.115 1.702 6.363 -2.025 0.882 0.334 2.106 1.488 18.571 1.308 1.978 4.984 1.459 0.296 30.804 0.661
2022-02-28 16:26 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 1.737 43.256 1.994 10.976 -1.466 1.605 0.904 2.362 2.348 10.533 1.684 0.9 21.897 0.999 -0.201 37.651 0.635
2022-02-25 16:26 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 2.959 -22.19 2.709 8.643 -0.587 2.04 0.606 5.233 0.481 11.217 1.281 -0.499 38.959 0.811 -0.642 34.209 0.63
2022-02-24 16:30 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -1.996 44.625 1.803 2.103 -5.408 -1.833 -3.406 -0.758 -2.228 69.534 1.443 -1.901 55.729 1.089 -1.411 38.139 0.844
2022-02-22 16:25 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -2.461 94.444 1.869 0.982 -9.387 -2.256 -3.264 -1.354 -1.853 61.282 1.261 -1.39 49.536 0.984 -0.565 28.297 0.715
2022-02-21 16:25 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -1.245 28.12 1.985 4.354 -6.048 -1.272 -2.104 -0.279 -0.855 27.083 1.256 -0.865 17.21 1.138 -0.199 10.639 0.991
2022-02-18 16:26 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -0.465 26.046 1.42 4.659 -3.135 -0.452 -1.366 0.203 -0.676 11.755 1.12 0.294 6.308 0.846 -0.532 20.151 0.969
2022-02-17 16:24 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -0.886 -2.537 1.709 2.6 -5.548 -0.826 -1.51 0.115 0.674 -3.562 1.151 0.238 -0.324 1.188 -0.212 18.342 1.371
2022-02-16 16:24 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 2.233 -4.587 1.955 6.447 -0.695 1.888 0.679 3.944 0.799 0.782 1.435 -0.437 25.749 1.289 0.374 25.66 1.224
2022-02-15 16:29 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -0.635 6.151 2.818 6.286 -11.639 -0.378 -1.326 0.601 -1.772 40.917 2.028 -0.803 32.945 2.073 -0.151 27.79 1.309
2022-02-14 16:28 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -2.909 75.684 2.601 4.876 -10.38 -2.758 -4.279 -1.364 -0.887 46.342 2.501 0.091 42.246 1.697 -0.15 30.394 1.201
2022-02-10 16:30 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 1.135 17 4.569 27.027 -5.497 0.822 -0.264 1.629 1.591 25.526 2.636 0.93 19.038 1.71 0.642 33.08 1.062
2022-02-09 16:22 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 2.047 34.053 1.873 6.061 -1.586 2.196 0.539 3.592 0.828 20.057 1.221 0.341 19.762 1.142 0.102 29.603 0.703
2022-02-08 16:21 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -0.391 6.061 2.692 5.787 -10.714 -0.054 -1.274 1.097 -0.512 12.616 1.979 0.01 38.116 1.113 0.146 19.208 0.788
2022-02-07 16:27 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -0.634 19.172 2.652 10.636 -5.114 -0.634 -2.244 0.413 0.21 54.143 1.577 -0.382 35.967 1.233 0.209 22.078 0.642
2022-02-04 16:29 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 1.054 89.115 2.43 13.945 -1.448 0.891 -0.204 1.558 -0.256 44.365 1.394 0.585 23.603 0.954 0.853 20.855 0.831
2022-02-03 16:20 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -1.565 -0.385 2.025 3.081 -5.753 -1.789 -2.752 -0.25 0.35 -9.152 1.142 0.208 0.702 0.702 0.888 -2.162 0.604
2022-02-02 16:29 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 2.265 -17.92 1.592 6.627 -1.918 2.315 1.431 2.992 1.094 1.245 1.137 1.593 5.183 1.242 0.313 19.387 0.601
2022-02-01 16:24 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -0.076 20.411 1.995 4.286 -5.498 0.239 -0.921 1.069 1.257 16.734 1.633 1.247 2.498 1.149 -0.107 20.756 0.761
2022-01-31 16:21 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 2.589 13.057 2.193 6.188 -2.564 2.928 0.924 4.471 1.909 -6.458 1.388 -0.208 31.481 0.86 -0.659 23.279 0.616
2022-01-28 16:30 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 1.229 -25.972 1.74 4.678 -2.918 1.249 0.274 2.546 -1.607 40.693 1.456 -1.016 23.438 1.175 -1.036 21.957 0.932
2022-01-27 16:28 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -4.443 107.358 2.259 -0.266 -9.189 -4.492 -5.922 -3.22 -2.139 48.143 1.535 -2.372 43.104 1.383 -1.583 29.551 1.057
2022-01-26 16:30 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 0.165 -11.071 2.122 6.207 -3.843 -0.12 -1.028 0.971 -1.337 10.977 1.394 -0.655 9.466 1.231 -0.564 4.871 1.045
2022-01-25 16:25 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -2.838 33.026 2.414 1.941 -8.798 -2.706 -4.384 -1.315 -1.065 19.734 1.628 -1.213 17.156 1.325 -1.387 18.808 1.156
2022-01-24 16:25 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 0.709 6.443 2.672 7.801 -9.924 0.646 -0.112 1.536 -0.4 9.222 1.455 -0.049 0.799 1.333 -1.011 22.304 0.942
2022-01-21 16:26 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -1.509 12 1.958 3.711 -6.198 -1.122 -2.688 -0.326 -0.428 -2.022 1.435 -1.602 18.19 1.337 -1.247 15.216 0.808
2022-01-20 16:23 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 0.652 -16.045 1.748 7.157 -3.79 0.856 -0.383 1.406 -1.648 21.285 1.332 -1.417 31.025 0.91 -1.17 17.664 0.564
2022-01-19 16:28 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -3.948 58.614 2.149 -0.618 -8.529 -3.859 -5.465 -2.371 -2.452 54.56 1.165 -1.792 26.709 0.87 -1.327 23.443 0.671
2022-01-18 16:22 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -0.957 50.506 1.434 2.079 -4.824 -0.943 -2.172 0.103 -0.714 10.756 0.96 -0.851 15.25 0.73 -0.164 19.264 0.766
2022-01-17 16:26 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -0.471 -28.993 1.584 3.231 -4.03 -0.423 -1.447 0.616 -0.798 -2.377 0.961 -0.577 2.698 0.914 -0.118 8.36 0.821
2022-01-14 16:32 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -1.125 24.238 1.12 0.78 -3.911 -1.046 -1.747 -0.153 -0.63 18.543 1.11 0.203 24.936 1.068 -0.067 30.313 1.123
2022-01-13 16:28 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -0.136 12.848 1.711 3.956 -4.634 -0.08 -1.207 0.684 0.868 25.285 1.367 0.335 15.518 1.094 -0.343 28.959 1.267
2022-01-12 16:23 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 1.871 37.722 2.261 7.353 -4.54 1.835 0.891 2.682 0.57 16.854 1.228 0.308 38.159 1.478 -0.29 31.883 1.242
2022-01-11 16:28 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -0.731 -4.015 3.091 12.727 -6.717 -0.662 -2.742 0.556 -0.474 38.378 2.679 -1.149 31.408 2.217 -0.352 33.235 1.465
2022-01-07 16:25 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -0.216 80.771 2.623 10 -7.365 -0.2 -1.758 0.708 -1.359 49.119 1.972 -0.863 41.902 1.496 -0.101 35.932 0.935
2022-01-06 16:30 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -2.501 17.467 1.746 1.626 -7.216 -2.53 -3.422 -1.541 -1.186 22.468 1.677 -0.271 29.806 1.17 0.05 17.692 0.817
2022-01-05 16:30 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 0.128 27.469 2.921 10.227 -4.991 -0.537 -1.255 1.717 0.844 35.976 1.487 0.737 27.141 1.08 0.825 25.977 0.667
2022-01-04 16:31 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 1.56 44.482 1.596 5.415 -1.597 1.494 0.522 2.402 1.042 26.977 1.219 0.874 14.508 1.066 0.742 22.458 0.713
2021-12-30 17:17 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 0.524 9.471 2.226 10.039 -2.4 -0.01 -0.672 0.846 0.531 -0.478 1.613 0.812 19.311 1.167 0.654 18.413 0.925
2021-12-29 22:07 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 0.539 -10.428 2.317 7.143 -4.193 0.576 -0.881 1.939 0.956 24.23 1.271 0.542 19.445 0.92 0.852 16.973 0.741
2021-12-28 22:58 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 1.373 58.889 1.872 5.56 -4.199 1.488 0.161 2.262 0.543 34.382 1.352 0.735 31.007 1.142 0.917 16.647 0.948
2021-12-27 22:32 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -0.287 9.876 1.444 3.102 -3.646 -0.485 -1.034 0.261 0.416 17.067 1.193 0.783 12.135 0.966 0.945 4.031 0.854
2021-12-24 15:55 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 1.119 24.258 1.868 6.704 -1.984 0.652 0.047 1.961 1.318 13.265 1.271 1.165 4.824 1.178 0.362 5.596 0.858
2021-12-23 16:02 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 1.517 2.272 1.476 6.633 -0.873 1.334 0.567 2.097 1.189 -4.893 1.18 1.298 -4.66 0.984 -0.204 3.76 0.693
2021-12-22 20:12 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 0.86 -12.057 1.614 6.109 -1.897 0.677 -0.107 1.193 1.189 -8.125 1.094 -0.275 0.484 0.869 -0.127 23.805 0.988
2021-12-21 22:05 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 1.517 -4.194 1.325 4.396 -0.787 1.648 0.513 2.239 -0.843 6.754 0.873 -1.133 9.529 0.807 -0.107 27.28 0.617
2021-12-20 17:42 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -3.203 17.702 1.213 0.109 -5.811 -3.203 -4.21 -2.5 -2.458 16.39 1.147 -1.005 45.091 1.393 -0.742 31.073 0.643
2021-12-17 16:22 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -1.713 15.079 1.547 0.528 -5.368 -1.474 -2.929 -0.394 0.094 58.786 1.87 0.383 40.963 0.84 -0.076 27.526 0.695
2021-12-16 17:21 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 1.902 102.493 3.274 11.248 -12.876 1.568 0.712 2.617 1.431 53.906 1.212 0.402 40.862 0.862 0.032 59.371 0.621
2021-12-15 22:11 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 0.96 5.318 2.007 11.182 -1.401 0.394 0 1.564 -0.348 10.046 1.294 -0.189 6.686 0.959 -0.561 37.974 0.735
2021-12-14 16:52 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -1.657 14.774 1.467 0.464 -5.392 -1.542 -2.628 -0.484 -0.764 7.369 1.05 -0.9 63.014 0.881 -0.524 38.792 0.767
2021-12-13 16:01 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 0.129 -0.035 1.531 4.727 -2.804 0.136 -0.796 0.957 -0.522 87.134 1.184 -0.702 56.593 1.038 0.281 39.852 0.758
2021-12-10 19:15 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -1.173 174.303 1.806 5.128 -4.915 -1.314 -2.107 -0.26 -1.117 84.907 1.264 -0.363 59.741 1.012 0.157 37.617 0.725
2021-12-09 16:17 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -1.062 -4.489 1.748 1.9 -7.889 -0.795 -1.522 -0.13 0.041 2.46 1.26 0.817 8.331 0.926 0.652 0.588 0.646
2021-12-08 16:26 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 1.145 9.409 1.632 5.779 -2.154 0.825 0.437 1.86 1.756 14.741 0.856 1.006 6.09 0.656 0.557 0.764 0.568
2021-12-07 16:31 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 2.368 20.073 1.27 4.564 -1.289 2.569 1.943 3.201 0.937 4.43 0.978 1.059 -0.661 0.877 0.43 -3.944 0.819
2021-12-06 20:08 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -0.494 -11.212 1.493 3.199 -4.408 -0.708 -1.36 0.44 0.404 -11.028 1.2 -0.242 -8.554 0.954 -0.161 -2.917 0.753
2021-12-03 16:04 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 1.303 -10.843 1.616 4.9 -2.513 1.578 0.282 2.577 -0.116 -7.224 0.975 0.092 -9.527 0.943 -0.584 4.143 0.842
2021-12-02 16:22 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -1.535 -3.606 1.828 1.761 -7.473 -1.324 -2.856 -0.543 -0.514 -8.869 1.426 -0.538 2.49 1.166 -1.237 28.033 0.738
2021-12-01 20:08 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 0.507 -14.133 1.708 4.444 -5.716 0.767 -0.124 1.403 -0.039 5.538 1.294 -0.895 11.722 1.335 -1.059 23.798 0.561
2021-11-30 16:26 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -0.585 25.208 1.681 2.54 -4.261 -0.393 -1.548 0.646 -1.596 24.649 1.864 -1.719 52.634 0.995 -1.476 35.258 0.657
2021-11-29 16:30 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -2.608 24.089 2.68 4.701 -10.261 -2.664 -3.673 -1.332 -2.286 66.347 1.281 -1.739 35.972 0.836 -1.304 27.882 0.839
2021-11-26 16:28 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -1.963 108.604 2.923 13.367 -4.959 -2.428 -3.307 -1.514 -1.304 41.913 1.44 -1.396 42.331 1.449 -0.611 28.543 1.016
2021-11-25 18:57 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -0.645 -24.777 1.436 1.712 -6.115 -0.355 -0.824 0.229 -1.113 9.195 1.727 -0.649 2.239 1.499 -0.201 8.417 1.009
2021-11-24 16:27 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -1.58 43.167 2.466 5.865 -11.4 -1.722 -2.585 -0.518 -0.652 15.748 1.776 -0.149 19.63 1.245 0.023 13.722 0.934
2021-11-22 16:20 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 0.277 -11.672 1.851 7.064 -3.226 0.025 -0.579 0.88 0.566 7.861 1.147 0.406 7.898 1.074 0.447 7.118 1.227
2021-11-19 16:21 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 0.855 27.394 1.935 8.073 -3.756 0.536 -0.135 1.681 0.471 17.683 1.466 0.472 12.372 1.564 0.49 19.379 1.695
2021-11-18 16:23 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 0.087 7.972 1.921 5.159 -4.556 -0.154 -0.89 1.111 0.281 4.86 2.076 0.368 6.622 2.09 0.792 21.076 1.87
2021-11-17 16:21 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 0.474 1.749 3.236 14.856 -3.095 -0.34 -1.305 1.186 0.508 5.947 2.78 0.503 20.51 2.721 0.79 24.642 1.882
2021-11-16 16:27 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 0.543 10.145 3.34 10.725 -6.579 0.018 -1.265 1.448 0.517 29.891 2.86 1.133 31.886 2.336 0.664 20.647 1.524
2021-11-15 16:27 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 0.491 49.636 3.739 13.99 -7.633 -0.168 -0.95 1.234 1.429 42.757 2.56 0.978 37.105 1.863 0.279 26.83 1.324
2021-11-12 16:27 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 2.366 35.877 3.482 20.604 -0.509 1.782 0.77 2.478 1.221 30.84 2.136 0.762 14.484 1.418 0.06 20.377 1.128
2021-11-11 16:22 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 0.076 25.802 2.786 7.863 -13.6 0.292 -0.519 1.146 -0.04 3.787 1.437 -0.488 16.212 1.29 -0.699 12.847 1.126
2021-11-10 20:44 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -0.157 -18.228 1.672 3.866 -3.226 -0.252 -1.364 0.782 -0.77 11.416 1.445 -0.715 13.401 1.256 -0.311 21.02 1.244
2021-11-09 16:19 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -1.383 41.061 2.002 2.782 -10.698 -1.328 -2.109 -0.394 -0.994 29.216 1.595 -1.134 19.346 1.426 -0.465 32.51 1.324
2021-11-08 16:21 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -0.604 17.37 2.407 5.493 -7.713 -0.544 -1.566 0.615 -1.024 10.204 1.749 -0.035 29.785 1.829 0.15 32.942 1.262
2021-11-05 16:24 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -1.432 0.021 2.013 2.237 -10.198 -1.381 -2.406 -0.102 0.297 33.129 2.176 -0.088 34.394 1.744 0.252 25.435 1.035
2021-11-04 16:22 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 2.025 66.237 3.805 11.94 -14.587 1.868 0.595 3.564 0.584 51.58 2.348 1 45.19 1.542 0.616 38.867 1.063
2021-11-02 16:22 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -0.858 36.922 2.007 5.3 -6.63 -0.961 -1.895 0.054 0.488 34.667 1.193 0.223 20.305 0.819 0.105 25.548 0.785
2021-11-01 16:23 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 1.834 32.411 1.952 6.066 -4.068 2.01 1.039 2.863 0.763 11.997 1.039 0.638 30.392 1.128 0.56 27.946 0.877
2021-10-29 23:59 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -0.308 -8.417 1.245 1.635 -3.326 -0.128 -0.989 0.601 0.04 29.382 1.139 -0.15 19.469 0.879 0.301 21.812 0.756
2021-10-28 16:27 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 0.388 67.182 1.891 8.221 -3.947 0.134 -0.466 1.328 -0.071 33.412 1.219 0.425 38.578 1.088 0.517 23.16 1.021
2021-10-27 16:23 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -0.53 -0.358 1.5 1.884 -5.886 -0.134 -1.208 0.383 0.443 24.277 1.278 0.474 16.764 1.205 0.001 9.811 0.783
2021-10-26 16:30 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 1.416 48.912 1.652 5.634 -3.911 1.446 0.559 2.403 0.977 25.326 1.444 0.909 16.325 1.228 -0.087 15.948 0.67
2021-10-25 16:23 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 0.537 1.74 2.351 10.511 -2.299 -0.024 -0.599 1.036 0.655 0.032 1.54 -0.293 0.168 0.827 -0.158 4.974 0.75
2021-10-22 16:25 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 0.773 -1.675 1.729 4.983 -2.337 0.208 -0.448 2.085 -0.708 -0.618 0.778 -0.796 9.697 0.808 -0.059 5.071 0.719
2021-10-21 16:23 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -2.19 0.439 1.593 1.063 -6.48 -2.186 -2.929 -1.137 -1.58 15.383 1.234 -0.7 8.268 0.797 0.628 18.758 0.726
2021-10-20 16:24 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -0.971 30.327 1.759 4.061 -4.357 -0.573 -2.396 0.01 0.045 12.183 1.05 0.373 8.864 1.088 1.266 17.027 0.943
2021-10-19 16:25 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 1.06 -5.961 1.626 6.129 -1.984 0.712 0 1.752 1.045 -1.868 1.618 2.101 21.008 1.579 1.185 19.607 0.988
2021-10-18 16:27 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 1.031 2.226 2.393 8.362 -5.522 0.893 -0.466 1.933 2.621 34.493 1.824 2.08 20.257 1.461 0.919 21.31 0.855
2021-10-15 16:08 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 4.212 66.76 2.904 11.63 0 3.09 2.454 4.892 2.604 29.273 2.042 1.278 33.923 1.353 0.909 20.839 0.858
2021-10-14 16:07 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 0.996 -8.215 2.008 6.415 -2.379 0.543 -0.438 2.423 -0.189 17.504 1.251 -0.216 12.522 0.913 0.361 8.586 0.687
2021-10-13 16:04 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -1.374 43.223 1.681 3.26 -5.105 -1.476 -2.107 -0.438 -0.822 22.89 0.984 -0.221 15.217 0.84 0.222 5.167 0.597
2021-10-12 16:07 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -0.271 2.558 1.345 2.996 -2.532 -0.492 -1.335 0.644 0.356 1.214 0.975 0.728 2.641 0.658 0.518 -3.844 0.649
2021-10-11 15:59 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 0.982 -0.13 1.3 4.492 -1.902 0.886 0.186 1.844 1.227 2.682 0.758 0.918 -6.648 0.697 0.272 2.182 0.553
2021-10-08 15:54 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 1.472 5.494 1.002 3.669 -0.231 1.406 0.751 1.913 0.886 -9.907 0.843 0.627 -7.216 0.861 -0.413 2.962 0.608
2021-10-07 15:59 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 0.3 -25.309 1.134 2.472 -2.1 0.282 -0.396 1.278 0.204 -13.572 1.046 -0.365 1.849 0.662 -1.094 4.092 0.597
2021-10-06 23:25 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 0.108 -1.835 2.138 10.036 -3.741 0 -1.234 1.05 -0.697 15.427 1.023 -1.28 11.542 1.032 -1.41 10.587 0.704
2021-10-05 15:53 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -1.502 32.689 1.266 1.108 -4.152 -1.305 -2.26 -0.838 -1.974 18.23 1.149 -1.96 15.868 0.875 -1.799 18.625 0.681
2021-10-04 15:59 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -2.445 3.77 1.864 1.263 -6.013 -2.103 -4.055 -1.262 -2.189 7.457 1.103 -1.886 7.359 0.937 -1.544 14.941 0.807
2021-10-01 15:56 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -1.933 11.144 1.484 1.542 -7.004 -1.942 -2.434 -1.186 -1.606 9.154 0.853 -1.682 18.889 0.646 -1.17 11.561 0.634
2021-09-30 15:58 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -1.279 7.164 1.98 6.349 -6.715 -1.177 -2.41 -0.622 -1.557 22.762 1.12 -1.114 19.931 0.979 -0.239 14.717 0.714
2021-09-29 16:02 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -1.836 38.36 1.447 2.28 -5.275 -2 -2.582 -1.319 -1.031 26.314 1.051 -0.879 13.166 0.834 -0.315 10.687 0.638
2021-09-28 15:53 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -0.227 14.269 1.603 2.801 -3.403 -0.578 -1.196 0.93 -0.4 0.569 1.034 0.64 9.354 0.778 -0.459 2.639 0.575
2021-09-27 15:53 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -0.574 -13.13 1.502 5.323 -3.48 -0.536 -1.564 -0 1.073 6.897 1.018 0.163 0.269 0.745 -0.335 2.734 0.545
2021-09-24 21:14 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 2.72 26.924 1.89 8.674 0 2.405 1.285 3.37 0.532 6.969 1.042 -0.497 4.018 0.78 -0.509 11.123 0.708
2021-09-22 15:37 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -1.657 -12.986 1.191 0.796 -4.158 -1.712 -2.192 -0.818 -2.106 -7.435 0.922 -1.274 -0.041 0.7 -1.213 4.987 0.611
2021-09-21 15:57 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -2.556 -1.883 1.068 -0.417 -4.739 -2.564 -3.268 -1.762 -1.082 6.431 0.752 -1.203 13.892 0.798 -0.666 12.787 0.681
2021-09-17 15:55 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 0.391 14.746 1.859 6.139 -2.503 -0.139 -0.815 1.291 -0.526 21.78 1.268 -0.618 13.269 0.902 0.086 13.72 0.902
2021-09-16 21:11 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -1.443 28.814 1.964 2.629 -5.838 -0.772 -2.957 -0.168 -1.123 12.53 1.301 -0.389 17.024 1.2 0.418 16.829 0.769
2021-09-15 23:27 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -0.802 -3.753 1.778 5.585 -4.513 -1.111 -2.069 -0.142 0.139 11.13 1.557 0.495 8.347 1.332 0.71 44.488 0.907
2021-09-14 16:01 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 1.08 26.012 2.199 8.745 -2.829 1.038 -0.032 1.581 1.143 14.398 1.667 1.446 19.695 1.17 1.245 48.885 0.899
2021-09-13 16:36 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 1.207 2.783 2.257 8.317 -3.936 0.699 0 1.673 1.629 16.536 1.364 1.09 66.727 1.154 1.095 46.638 0.902
2021-09-10 15:58 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 2.05 30.289 2.299 7.939 -3.048 1.442 0.769 2.675 1.032 98.699 1.698 1.313 71.877 1.384 1.292 59.683 1.03
2021-09-09 16:00 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 0.013 167.109 1.968 6.992 -2.931 -0.669 -1.064 0.391 0.944 92.671 1.505 0.739 66.705 1.111 1.205 65.611 0.854
2021-09-08 15:55 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 1.876 18.232 2.07 8.939 -1.736 1.58 0.474 2.781 1.102 16.503 1.414 1.466 33.672 1.189 1.167 32.26 0.93
2021-09-07 15:53 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 0.328 14.775 1.572 4.606 -2.222 0.357 -0.733 1.378 1.262 41.392 1.063 1.379 47.57 0.91 0.917 28.667 0.814
2021-09-06 23:08 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 2.195 68.009 1.903 6.783 -0.838 1.526 0.73 3.492 1.904 63.968 1.326 1.21 42.765 1.15 0.993 30.484 0.842
2021-09-03 15:53 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 1.614 59.928 1.309 5.414 -1.526 1.668 0.913 2.214 0.717 30.143 1.099 0.688 20.183 0.897 0.886 26.125 0.735
2021-09-02 16:01 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -0.179 0.359 1.343 3.378 -2.497 -0.273 -1.078 0.579 0.225 0.311 0.902 0.385 8.161 0.752 0.513 13.158 0.687
2021-09-01 15:54 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 0.629 0.262 1.242 3.025 -2.302 0.763 -0.35 1.716 0.667 12.063 0.829 0.999 23.446 0.93 0.634 15.682 0.795
2021-08-31 15:54 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 0.704 23.863 1.516 5.71 -1.734 0.709 -0.55 1.476 1.184 35.038 1.302 0.706 21.723 0.967 0.582 16.419 0.809
2021-08-30 15:58 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 1.664 46.212 1.758 7.28 -1.125 1.386 0.763 2.192 0.707 20.653 1.146 0.613 18.095 1.129 0.827 12.295 0.827
2021-08-27 15:35 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -0.251 -4.906 1.281 1.967 -3.704 -0.324 -0.835 0.525 0.088 4.037 1.126 0.181 4.007 0.983 0.871 -1.142 0.794
2021-08-26 23:16 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 0.426 12.979 1.721 7.282 -2.824 0.068 -0.461 1.172 0.397 8.463 1.274 0.907 6.722 0.932 0.496 4.182 0.662
2021-08-25 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 0.368 3.947 1.892 7.933 -2.829 0.056 -0.394 0.634 1.148 3.594 1.165 1.393 -4.595 1.096 -0.086 7.094 0.724
2021-08-24 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 1.928 3.242 2.039 7.795 -0.99 1.704 0.849 2.272 1.906 -8.866 1.348 0.561 1.327 0.922 -0.019 4.875 0.659
2021-08-23 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 1.884 -20.974 2.045 10.745 -1.026 1.366 0.637 2.764 -0.122 0.37 1.262 -0.909 9.426 1.061 -0.698 8.222 0.713
2021-08-20 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -2.128 21.714 1.767 0.597 -6.526 -2.04 -3.116 -0.936 -2.306 24.626 1.437 -1.303 14.036 0.99 -1.338 13.422 0.731
2021-08-19 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -2.484 27.539 1.866 1.773 -7.767 -2.13 -3.44 -1.4 -0.89 10.197 1.067 -1.081 13.456 0.853 -1.057 17.129 0.818
2021-08-18 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 0.704 -7.145 1.896 6.067 -5.36 0.471 -0.28 1.604 -0.38 6.414 0.839 -0.693 5.952 1.268 -0.641 16.079 1.141
2021-08-17 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -1.464 19.973 2.064 2.835 -8.998 -1.32 -2.167 -0.528 -1.392 12.5 1.805 -1.169 21.751 1.39 -0.872 19.108 1.286
2021-08-16 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -1.32 5.027 3.78 18.764 -8.392 -2.096 -3.038 -0.66 -1.021 22.64 2.099 -0.814 22.522 2.043 -0.413 65.23 1.448
2021-08-13 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -0.722 40.253 1.996 4.551 -4.291 -1.19 -1.899 0.31 -0.561 31.27 2.59 -0.526 23.514 1.857 -0.039 71.608 1.644
2021-08-12 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -0.401 22.287 3.996 16.529 -14.451 -0.694 -1.666 0.25 -0.428 15.145 2.194 -0.008 93.623 1.872 0.045 64.944 1.304
2021-08-11 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -0.455 8.003 2.557 6.952 -5.151 -0.104 -2.63 1.003 0.188 129.291 1.831 0.23 96.954 1.605 -0.139 67.479 0.936
2021-08-10 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 0.831 250.58 3.774 19.763 -5.079 0.512 -0.52 2.292 0.454 142.282 2.218 0.268 102.618 1.609 -0.052 72.953 1.098
2021-08-06 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 0.056 26.359 1.926 5.15 -4.392 0 -0.818 0.743 0.055 21.526 1.506 -0.388 24.608 1.091 0.203 23.821 0.911
2021-08-05 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 0.054 16.693 2.331 6.81 -9.961 -0.124 -0.81 1.083 -0.611 23.732 1.541 -0.271 18.708 1.28 -0.002 21.617 0.877
2021-08-04 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 -1.275 30.772 1.905 3.147 -8.269 -0.963 -2.029 -0.377 -0.433 19.715 1.503 0.301 25.351 1.16 0.263 18.994 0.801
2021-08-03 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 0.409 8.659 2.242 11.928 -3.763 0.242 -0.328 0.863 1.089 22.641 1.446 0.424 20.219 0.982 0.215 14.136 0.669
2021-08-02 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 40 1.769 36.624 2.419 8.037 -4.503 1.935 0.438 2.573 0.478 26.134 1.472 0.824 18.711 1.239 0.331 12.956 1.163
2021-07-30 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 39 -1.001 17.36 1.085 2.476 -3.195 -1.226 -1.548 -0.476 0.192 11.319 1.138 -0.447 10.274 0.684 0.207 12.606 0.679
2021-07-29 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 39 1.386 5.278 1.834 5.806 -3.604 0.955 0.376 2.118 -0.17 6.731 0.774 0.071 5.591 0.72 0.569 7.305 0.702
2021-07-28 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 39 -1.727 8.183 1.215 0.744 -5.484 -1.49 -2.59 -0.99 -0.587 5.747 1.07 0.216 13.464 0.977 0.072 9.315 0.6
2021-07-27 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 39 0.553 3.312 1.593 3.597 -4.916 0.715 -0.309 1.136 1.187 16.105 1.21 1.062 7.689 0.907 0.006 14.156 0.567
2021-07-26 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 39 1.822 28.898 1.829 6.46 -3.231 1.921 0.872 2.682 1.316 9.877 1.133 0.512 11.693 0.669 -0.116 15.22 0.57
2021-07-21 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 39 0.811 -9.143 1.05 2.661 -2.936 0.943 0.263 1.376 -0.144 3.091 0.737 -0.781 12.857 0.718 -0.718 9.827 0.638
2021-07-20 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 39 -1.098 15.325 1.89 9.238 -3.216 -1.193 -1.938 -0.637 -1.577 23.858 1.217 -1.07 18.781 0.957 -0.824 15.65 0.879
2021-07-19 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 39 -2.057 32.391 1.422 1.303 -4.895 -2.064 -2.776 -1.696 -1.056 20.51 1.063 -1.1 14.318 0.843 -0.408 15.848 0.798
2021-07-16 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 39 -0.056 8.628 1.463 4.746 -4.831 -0.15 -0.72 0.472 -0.622 5.281 1.04 -0.321 10.178 1.136 0.335 4.961 0.75
2021-07-15 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 39 -1.188 1.934 1.257 1.724 -5.521 -1.099 -1.911 -0.498 -0.454 10.953 1.348 0.025 12.739 1.015 0.41 8.904 0.762
2021-07-14 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 39 0.493 -36.441 2.138 10.101 -2.467 0.054 -0.615 1.192 0.737 -10.065 1.374 1.045 -14.057 0.96 0.417 5.583 0.696
2021-07-13 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 39 1.081 -39.139 1.449 4.188 -4.074 1.025 0.368 1.71 1.37 -30.59 0.939 1.02 -10.946 0.827 0.194 -6.25 0.554
2021-07-12 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 39 1.893 -56.43 1.138 5.823 0 1.823 1.162 2.124 1.106 -14.045 0.75 0.282 4.552 0.604 -0.011 -3.136 0.561
2021-07-09 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 39 0.319 28.341 1.531 5.58 -2.295 0.329 -0.63 1.09 -0.524 35.044 0.921 -0.59 9.976 0.7 -0.391 5.045 0.556
2021-07-08 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 39 -1.366 41.746 1.551 3.248 -3.924 -1.446 -2.355 -0.497 -1.045 0.793 1.001 -0.755 4.137 0.889 -0.406 3.051 0.71
2021-07-07 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 39 -0.724 -40.16 1.31 1.869 -5.527 -0.847 -1.342 0.046 -0.45 -14.667 0.881 -0.303 -14.955 0.597 -0.446 -3.723 0.831
2021-07-06 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 39 -0.175 10.825 1.632 4.241 -4.817 -0.214 -0.856 0.528 -0.092 -2.352 1.04 0.021 4.557 1.013 -0.294 8.18 1.195
2021-07-05 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 39 -0.009 -15.529 1.467 5.566 -1.823 -0.137 -0.968 0.494 0.119 1.422 1.159 -0.444 3.573 1.351 -0.517 10.057 1.051
2021-07-02 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 39 0.246 18.374 1.775 5.068 -4.679 0.344 -0.224 0.879 -0.662 13.123 1.971 -0.429 15.201 1.738 -0.387 15.48 1.047
2021-07-01 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 39 -1.57 7.873 2.987 3.922 -12.692 -0.893 -2.722 0.05 -0.766 13.615 2.114 -0.94 15.813 1.426 -0.159 14.703 0.696
2021-06-30 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 39 0.039 19.357 2.746 13.408 -4.297 -0.192 -0.848 0.438 -0.625 19.783 1.614 -0.204 17.051 1.184 0.166 23.297 0.64
2021-06-29 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 39 -1.288 20.209 1.407 3.721 -3.729 -1.656 -2.298 -0.432 -0.326 15.898 1.371 0.246 15.429 0.963 0.255 19.161 0.798
2021-06-28 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 39 0.637 11.587 2.268 7.359 -3.974 0.31 -0.89 1.286 1.014 13.039 1.418 0.694 25.64 1.162 1.05 18.899 0.973
2021-06-25 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 39 1.391 14.491 2.103 8.95 -2.666 1.119 0.342 1.85 0.722 32.666 1.454 0.641 21.336 1.019 0.482 21.336 0.792
2021-06-24 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 39 0.054 50.841 1.526 5.436 -2.629 -0.175 -0.71 0.292 0.267 24.759 1.072 1.075 24.759 1.083 -0.083 24.759 0.564
2021-06-23 r2_有機EL製造装置 有機EL製造装置 39 0.479 -1.322 1.793 5.263 -3.005 -0.073 -0.634 1.083 1.585 -1.322 1.463 0.322 -1.322 0.925 -0.109 -1.322 0.646