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レコード件数：994

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2025-05-01	11:15	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		188	0.302	39.399	133816900	1.811	7.571	-6.799	0.07	-0.613	0.915	0.3	23.697	1.296	0.243	44.191	0.992	0.748	52.985	0.912
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2025-04-28	10:35	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		188	0.128	86.133	162493300	2.225	16.251	-9.167	0.196	-0.53	0.845	1.144	98.538	1.497	1.047	67.459	1.204	0.981	65.825	0.885
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2025-04-24	14:29	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		188	0.851	5.151	117664102	1.789	10.457	-3.668	0.618	-0.101	1.52	1.233	43.116	1.388	0.872	43.078	0.958	0.647	39.306	0.642
2025-04-23	13:54	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		188	1.616	81.87	118191602	1.716	9.574	-7.653	1.552	0.645	2.451	0.883	61.586	1.026	0.384	51.204	0.907	0.728	49.568	0.692
2025-04-22	10:57	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		188	0.151	43.46	96949702	1.907	11.944	-5.778	0.077	-0.682	0.882	-0.231	36.271	1.492	0.256	36.815	1.204	0.079	34.512	0.868
2025-04-21	09:22	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		188	-0.614	31.306	80610601	1.922	17.582	-5.843	-0.688	-1.541	0	0.309	33.13	1.41	0.624	41.11	1.051	0.137	26.959	0.763
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2025-04-17	06:58	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		188	1.254	57.212	107711501	1.727	9.298	-1.578	0.825	0.285	1.902	-0.188	31.728	1.015	0.022	22.546	0.791	0.228	20.108	0.774
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2025-04-14	16:12	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		188	1.646	23.565	132780101	2.494	19.106	-5.973	1.251	0.372	2.456	0.537	15.857	1.717	2.948	10.178	1.623	2.528	2.378	1.399
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2025-04-08	17:39	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		188	7.606	-34.532	171474500	4.191	21.037	-0.885	6.805	4.822	9.534	-1.05	-7.807	1.518	-2.527	14.868	1.387	-2.224	36.263	0.93
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2025-03-21	19:59	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		188	0.167	64.941	143266200	2.089	12.392	-5.681	-0.078	-0.966	0.914	0.049	46.613	1.296	0.229	39.951	0.915	0.534	41.767	0.718
2025-03-19	20:16	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		188	-0.069	29.162	100700300	1.839	12.249	-5.332	0	-0.823	0.712	0.26	29.03	1.09	0.422	32.604	1.107	0.509	35.298	0.794
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2025-02-20	17:16	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		177	-1.044	15.093	118577500	1.536	4.454	-7.186	-0.921	-1.733	-0.162	-0.395	17.08	1.291	-0.03	19.379	1.118	-0.185	21.538	1.143
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2025-02-18	17:12	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		177	0.701	23.977	129833000	2.637	20.144	-5.158	0.301	-0.489	1.06	0.428	20.119	2.396	-0.045	24.51	1.789	0.082	25.927	1.222
2025-02-17	20:50	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		188	0.175	10.375	142249500	3.347	17.949	-10.507	-0.237	-1.187	0.709	-0.402	20.378	2.07	-0.141	20.107	1.603	0.013	28.402	1.139
2025-02-14	17:27	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		177	-0.99	33.293	139850400	2.766	15.524	-10.437	-0.986	-1.986	0	-0.34	25.344	1.856	-0.149	29.872	1.394	-0.029	49.767	1.094
2025-02-13	22:55	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		177	0.31	17.395	131650900	2.037	6.425	-9.498	0.402	-0.456	1.37	0.272	26.95	1.484	0.3	31.928	1.358	0.326	47.642	1.177
2025-02-12	19:21	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		177	0.234	37.038	136623300	2.847	20.08	-6.25	0	-0.888	0.853	0.295	39.133	2.073	0.179	65.216	1.663	0.356	46.31	1.332
2025-02-10	19:33	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		177	0.356	42.003	111810800	2.746	12.184	-12.766	0.16	-0.637	1.156	0.151	78.289	2.042	0.362	60.871	1.727	0.421	35.195	1.345
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2025-02-06	17:15	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		177	0.785	25.493	136595900	2.915	15.353	-25.253	0.627	0	1.858	0.621	17.71	1.888	0.601	5.942	1.646	-0.027	25.871	0.949
2025-02-05	11:13	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		177	0.493	-67.2	38954500	2.074	20.779	-6.095	0.346	-0.135	0.895	0.527	-42.444	1.544	-0.428	10.097	1.195	-0.177	30.917	1.278
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2025-01-30	17:13	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		177	0.001	128.133	211226200	2.55	18.966	-7.42	0	-0.869	0.696	0.193	73.632	2.465	-0.173	57.386	1.576	-0.199	50.396	1.252
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2024-12-05	16:53	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		177	0.109	-0.343	104240700	2.204	16.327	-11.738	0.074	-0.587	0.853	-0.508	2.96	1.37	0.125	15.776	1.075	0.035	18.811	0.918
2024-12-04	19:29	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		177	-1.125	7.841	108567500	1.911	8.793	-6.151	-1.075	-1.958	-0.291	0.149	24.628	1.296	0.248	29.202	1.162	0.179	20.979	0.853
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2024-12-02	20:37	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		176	0.45	37.169	101512600	1.481	5.842	-5.16	0.508	-0.342	1.118	-0.066	23.258	1.032	0.2	18.283	0.952	-0.33	13.645	0.728
2024-11-29	20:38	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		176	-0.581	10.756	97273300	1.278	5.022	-4.751	-0.542	-1.204	0.144	0.075	9.663	1.133	-0.334	11.209	0.931	-0.405	16.816	0.704
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2024-11-14	17:25	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		177	-1.078	17.247	127761800	2.802	11.104	-14.784	-0.759	-2.439	0.187	-1.051	18.739	2.491	-0.859	40.646	2.194	-0.573	31.501	1.925
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2024-09-24	17:09	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		179	0.209	1.426	104166800	2.504	14.149	-6.627	-0.088	-1.049	1.01	0.935	39.98	1.395	1.172	37.647	1.182	0.641	31.814	0.858
2024-09-20	17:13	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		179	1.662	79.825	151075000	2.111	13.631	-3.056	1.19	0.39	2.668	1.654	57.273	1.44	1.293	38.801	1.002	0.504	33.603	0.698
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2024-09-18	17:08	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		179	0.571	5.166	84320600	1.263	6.137	-4.236	0.425	-0.047	1.192	-0.156	23.92	1.266	-0.262	19.726	0.974	0.08	34.937	0.774
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2024-09-12	11:01	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		179	2.939	-61.848	29163900	1.601	9.209	-0.181	2.893	2.018	3.821	0.658	-0.709	1.363	0.461	-3.725	1.009	-0.123	16.66	0.643
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2024-02-13	16:59	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		175	2.198	93.4	133064500	3.976	21.288	-12.376	1.655	0.258	3.343	0.838	63.837	2.228	0.712	51.7	1.628	0.356	40.791	1.067
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2024-02-08	16:57	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		175	0.462	27.427	120909300	1.917	9.594	-8.113	0.366	-0.328	1.157	0.118	31.807	1.289	0.035	25.427	1.038	0.19	20.812	0.764
2024-02-07	16:57	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		175	-0.225	36.188	93997700	1.784	7.859	-9.505	0	-1.204	0.593	-0.178	24.427	1.183	-0.059	23.137	0.956	-0.141	24.552	0.812
2024-02-06	16:58	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		175	-0.132	12.666	99166800	1.753	6.186	-5.902	-0.338	-1.12	0.504	0.024	16.611	1.149	0.239	13.482	0.983	0.007	23.036	1.011
2024-02-05	16:53	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		175	0.179	20.556	97497700	1.654	5.625	-6.761	0.254	-0.507	1.084	0.424	13.89	1.11	-0.116	24.636	1.137	0.082	29.497	1
2024-02-02	17:00	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		175	0.669	7.225	109942400	1.876	12.982	-3.734	0.351	-0.325	1.57	-0.264	26.676	1.56	-0.005	27.319	1.482	0.161	24.383	1.016
2024-02-01	16:51	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		175	-1.196	46.127	112403100	3.051	17.5	-18.914	-1.029	-1.996	-0.236	-0.342	37.367	2.314	-0.146	39.902	1.631	-0.321	28.005	1.172
2024-01-31	16:58	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		175	0.513	28.607	109559200	2.49	23.077	-5.2	0.323	-0.448	1.06	0.379	36.789	1.515	0.444	22.855	1.116	0.2	23.829	0.857
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2023-11-30	23:33	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		172	0.9	104.862	142545700	1.694	7.458	-4.685	0.704	0	1.681	0.395	54.729	1.248	0.112	45.579	0.992	0.303	37.204	0.808
2023-11-29	17:00	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		172	-0.111	-6.781	87426400	1.737	11.161	-5.706	-0.221	-0.849	0.442	-0.282	12.958	1.276	-0.145	9.142	1.047	0.236	17.017	0.843
2023-11-28	16:59	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		172	-0.453	33.239	85028500	2.382	6.701	-19.47	-0.138	-1.204	0.615	-0.161	17.229	1.488	0.241	28.439	1.304	0.412	21.126	0.881
2023-11-27	17:00	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		172	0.13	1.219	77078100	2.242	14.894	-5.648	-0.115	-0.808	0.804	0.588	26.038	1.692	0.582	19.585	1.332	0.46	18.691	1.107
2023-11-24	16:53	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		172	1.046	50.858	91035900	2.11	13.344	-4.719	0.754	0.055	1.761	0.808	28.768	1.445	0.795	23.724	1.162	0.692	24.558	1.136
2023-11-22	16:54	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		172	0.57	6.678	81711000	1.817	14.359	-4.333	0.486	-0.28	1.102	0.669	10.158	1.371	0.375	13.793	1.266	0.436	14.102	1.254
2023-11-21	16:50	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		172	0.769	13.637	92689700	2.439	19.771	-3.963	0.426	-0.305	1.242	0.278	17.351	1.682	0.614	21.797	1.441	0.647	23.531	1.226
2023-11-20	16:57	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		172	-0.212	21.065	92518100	2.112	10.707	-4.48	-0.628	-1.421	0.521	0.537	25.935	1.803	0.281	16.746	1.642	0.693	25.44	1.463
2023-11-17	16:55	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		172	1.286	30.856	97821700	2.592	16.129	-8.052	0.956	0.164	1.632	0.528	14.409	2.025	0.893	27.566	1.622	0.763	27.588	1.502
2023-11-16	16:54	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		172	-0.23	-1.277	95787500	2.402	16.166	-6.184	-0.494	-1.389	0.382	0.697	26.258	1.828	0.798	25.179	1.792	0.595	32.806	1.36
2023-11-15	16:51	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		172	1.624	53.792	122192500	2.655	9.903	-5.67	1.168	0	2.775	1.312	38.45	2.29	0.92	36.364	1.879	0.849	40.234	1.391
2023-11-14	23:30	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		172	1	23.653	86960200	3.238	19.285	-4.161	0.244	-0.444	1.299	0.569	27.606	2.395	0.528	37.166	1.764	0.298	42.462	1.301
2023-11-13	17:03	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		172	0.137	32.278	94554600	2.857	19.43	-7.485	0	-0.949	0.922	0.292	44.253	1.841	0.541	40.246	1.435	-0.023	34.699	1.067
2023-11-10	11:53	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		172	0.446	56.228	104037100	2.523	13.765	-11.025	0.382	-0.612	1.329	0.742	44.23	1.638	0.117	52.041	1.297	0.439	45.573	1.03
2023-11-09	17:01	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		172	1.039	32.233	93637200	2.588	17.383	-6.061	0.857	-0.079	1.631	-0.047	47.04	1.669	-0.232	27.29	1.38	0.609	37.65	1.123
2023-11-08	17:01	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		172	-1.132	62.209	102748000	2.308	9.444	-10.912	-1.118	-2.255	-0.138	-0.868	24.673	1.756	0.237	44.333	1.338	0.599	32.068	1.104
2023-11-07	20:53	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		172	-0.604	-11.921	91927800	2.227	15.259	-5.388	-0.732	-1.754	0.144	0.922	35.519	1.431	1.046	30.2	1.338	0.847	22.64	0.953
2023-11-06	16:53	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		172	2.448	83.809	117003000	2.415	14.583	-2.918	2.22	1.034	3.605	1.871	51.206	1.966	1.577	36.815	1.476	0.704	39.946	0.908
2023-11-02	16:54	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		172	1.294	19.671	116010200	2.521	11.912	-6.133	0.7	-0.079	2.245	1.141	13.798	1.678	0.797	14.013	1.189	0.535	23.526	0.89
2023-11-01	16:52	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		172	0.989	7.926	124350400	2.777	14.703	-12.618	0.938	0	2.088	0.549	11.184	1.815	-0.073	32.117	1.246	-0.113	24.177	1.155
2023-10-31	19:22	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		172	0.108	14.443	110975100	2.084	7.2	-8.882	0.304	-0.784	1.36	-0.605	44.391	1.268	0.131	29.425	1.145	-0.231	20.133	1.06
2023-10-30	16:41	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		172	-1.317	74.861	149366600	2.035	4.393	-15.756	-1.395	-2.127	-0.356	0.143	36.898	1.378	-0.557	32.776	1.366	-0.14	27.767	1.038
2023-10-27	16:52	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		172	1.603	-0.043	111325100	2.058	10.174	-7.674	1.942	0.756	2.71	-0.168	13.052	1.865	0.039	4.631	1.511	-0.154	17.197	1.225
2023-10-26	16:52	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		172	-2.018	27.282	113667900	2.37	14.197	-10.965	-1.783	-3.108	-0.827	-0.805	7.436	1.65	-0.358	22.646	1.341	-0.605	20.459	0.943
2023-10-25	17:36	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		172	0.382	-11.615	80752900	2.207	16.892	-8.639	0.208	-0.512	0.987	0.452	20.786	1.522	-0.222	20.477	1.117	-0.576	24.372	0.788
2023-10-24	16:51	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		172	0.522	53.7	103997300	1.747	8.355	-10.522	0.29	-0.34	1.005	-0.523	36.646	1.06	-0.492	29.484	0.828	-0.523	37.73	0.688
2023-10-23	16:55	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		172	-1.568	20.145	71323400	1.553	3.836	-6.033	-1.324	-2.502	-0.577	-0.999	17.34	1.028	-1.262	26.654	1.026	-0.423	25.169	0.67
2023-10-20	16:55	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		172	-0.429	15.234	89000500	1.43	3.606	-7.573	-0.413	-1.065	0.26	-1.108	30.084	1.14	-0.524	38.396	0.901	-0.452	24.724	0.717
2023-10-19	16:50	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		172	-1.787	44.933	85915200	1.992	2.65	-7.003	-1.362	-2.824	-0.478	-0.571	49.977	1.226	-0.039	29.956	1.021	-0.618	23.883	0.873
2023-10-18	18:29	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		172	0.646	55.02	80616700	1.873	8.896	-5.222	0.174	-0.217	0.984	0.836	22.467	1.454	-0.015	22.806	1.084	0.175	24.29	0.883
2023-10-17	16:52	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		172	1.026	-10.086	73824100	1.777	14.383	-3.84	0.872	0.064	1.555	-0.345	1.878	1.243	-0.65	4.406	1.092	0.055	11.384	0.916
2023-10-16	16:53	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		172	-1.716	13.629	81306300	2.077	5.629	-13.473	-1.555	-2.577	-0.68	-1.487	11.65	1.565	-0.265	23.572	1.213	0.205	23.684	0.918
2023-10-13	16:53	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		172	-1.258	10.072	86874900	1.974	14.113	-5.873	-1.368	-2.113	-0.406	0.461	28.076	1.604	0.322	17.659	1.203	0.555	20.749	0.807
2023-10-12	16:53	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		172	2.18	47.152	102917000	2.738	15.89	-10.382	1.703	0.588	3.728	1.112	21.57	1.444	1.333	32.301	1.181	1.196	13.718	0.778
2023-10-11	16:55	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		172	0.045	-3.157	80535100	2.084	16.87	-6.121	-0.286	-0.884	0.327	0.91	22.469	1.301	0.617	14.805	0.928	0.21	10.932	0.788
2023-10-10	16:52	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		172	1.776	48.096	70385500	1.896	9.779	-10.84	1.773	0.887	2.523	0.903	23.786	1.234	1.252	7.452	0.949	-0.227	16.521	0.764
2023-10-06	16:59	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		172	0.031	-0.523	67232000	1.309	3.785	-3.988	0.112	-0.738	0.901	0.99	-12.87	0.934	-0.236	3.476	0.814	-0.566	16.196	0.732
2023-10-05	16:53	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		172	1.949	-25.216	77172000	1.534	7.358	-4.713	1.854	1.091	2.592	-0.347	5.473	1.041	-0.945	11.774	0.969	-0.594	21.027	0.9
2023-10-04	16:57	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		170	-2.647	38.275	91264300	1.676	3.457	-7.985	-2.588	-3.541	-1.733	-2.395	31.418	1.374	-1.583	35.819	1.195	-1.178	28.825	0.931
2023-10-03	16:57	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		170	-2.143	24.561	84989200	1.774	11.078	-5.556	-2.216	-2.998	-1.294	-1.052	34.346	1.387	-0.758	31.745	1.196	-0.564	31.181	0.856
2023-10-02	16:56	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		170	0.04	44.195	86145000	1.833	10.44	-4.406	0	-0.876	0.883	-0.066	35.141	1.362	-0.367	26.9	1.069	-0.336	29.423	0.722
2023-09-29	16:54	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		170	-0.171	26.936	103738700	1.828	11.017	-4.694	-0.406	-1.174	0.566	-0.57	18.628	1.267	-0.239	29.03	0.953	-0.116	20.575	0.736
2023-09-28	16:50	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		170	-0.969	10.32	83869300	1.489	4.938	-3.92	-1.048	-1.886	-0.132	-0.273	30.078	0.933	-0.51	25.646	0.708	0.002	20.124	0.713
2023-09-27	16:54	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		170	0.424	49.836	68604800	1.152	4.247	-3.42	0.433	-0.354	0.908	-0.275	33.47	0.789	0.193	22.069	0.765	0.006	18.968	0.623
2023-09-26	16:53	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		170	-0.956	18.167	59313700	1.336	2.065	-6.065	-0.668	-1.677	-0.238	0.092	8.896	0.912	0.204	14.207	0.869	-0.256	10.683	0.522
2023-09-25	16:52	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		169	1.161	-0.067	54305900	1.632	7.135	-1.904	0.803	0	1.695	0.802	12.609	1.233	0.216	10.083	0.84	-0.112	8.032	0.535
2023-09-22	17:00	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		169	0.442	25.285	69515300	1.522	7.192	-2.289	0.145	-0.51	0.976	-0.257	15.158	0.877	-0.477	12.255	0.685	-0.227	21.666	0.649
2023-09-21	16:53	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		169	-0.956	5.031	61279700	1.296	2.55	-7.316	-0.882	-1.538	-0.127	-0.937	5.74	0.996	-0.72	4.853	0.994	-0.105	23.579	0.709
2023-09-20	16:56	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		169	-0.919	6.45	67332600	1.614	4.128	-12.749	-0.793	-1.52	-0.2	-0.603	3.814	1.297	-0.207	25.68	1.009	-0.087	28.678	0.754
2023-09-19	08:42	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		169	-0.286	1.735	71956600	2.037	4.627	-6.865	0	-1.174	0.961	0.149	35.284	1.332	0.45	35.263	0.866	0.175	29.794	0.789
2023-09-15	16:49	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		169	0.584	69.435	97656500	1.449	8.295	-3.545	0.481	-0.184	1.212	0.819	51.982	0.989	0.256	45.142	0.806	0.096	29.397	0.696
2023-09-14	16:52	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		169	1.053	34.53	65500200	1.534	7.36	-3.257	0.856	0.131	1.634	0.092	32.995	1.031	0.191	26.872	0.888	-0.18	20.539	0.597
2023-09-13	16:53	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		169	-0.868	31.46	58083400	1.532	3.571	-5.601	-0.603	-1.501	0	-0.239	25.98	1.249	-0.386	15.254	1.033	-0.564	17.898	0.716
2023-09-12	16:54	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		169	0.39	9.312	56308200	1.696	9.664	-5.21	0.4	-0.287	1.143	-0.145	4.192	1.221	-0.362	11.27	0.843	-0.306	13.461	0.643
2023-09-11	16:58	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		169	-0.68	-0.281	54554600	1.85	6.1	-11.594	-0.438	-1.277	0.237	-0.738	12.488	1.194	-0.781	15.095	0.978	-0.267	14.903	0.634
2023-09-08	16:56	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		169	-0.795	25.258	77338300	1.481	5.916	-4.512	-0.932	-1.62	-0.288	-0.832	22.784	1.039	-0.412	19.217	0.795	0.02	20.824	0.576
2023-09-07	16:58	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		169	-0.869	20.309	63899300	1.479	4.641	-6.625	-0.733	-1.753	0.124	-0.221	16.197	0.967	0.046	16.524	0.656	0.25	17.362	0.573
2023-09-06	16:57	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		169	0.427	12.084	60001100	1.296	5.235	-3.934	0.289	-0.321	0.962	0.504	14.475	0.835	0.587	19.078	0.76	0.57	18.613	0.554
2023-09-05	16:51	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		169	0.58	17.297	61169800	1.258	6.132	-2.347	0.384	-0.109	0.977	0.668	22.372	0.985	0.564	17.669	0.8	0.605	25.255	0.597
2023-09-04	16:50	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		169	0.755	28.864	50997500	1.598	9.75	-5.277	0.712	0	1.382	0.556	18.139	1.112	0.614	21.398	0.808	0.502	23.233	0.59
2023-09-01	16:57	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		169	0.357	8.177	55552100	1.293	6.777	-3.073	0.33	-0.328	0.934	0.543	17.914	0.936	0.563	27.136	0.869	0.681	20.715	0.623
2023-08-31	16:56	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		169	0.729	28.197	71244800	1.395	6.879	-3.996	0.643	0.093	1.311	0.666	37.216	1.212	0.466	26.397	0.878	0.417	20.356	0.594
2023-08-30	16:53	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		169	0.602	46.235	67148500	1.867	13.522	-2.558	0.295	-0.187	1.011	0.334	25.876	1.044	0.772	22.584	0.836	0.375	21.714	0.54
2023-08-29	16:51	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		169	0.067	6.383	53312900	1.065	4.358	-5.351	0	-0.462	0.504	0.857	11.093	0.818	0.252	9.557	0.7	0.437	20.599	0.532
2023-08-28	16:56	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		169	1.648	15.803	61761500	1.466	7.424	-3.329	1.42	0.701	2.368	0.344	11.144	0.874	0.402	18.353	0.684	0.66	27.712	0.63
2023-08-25	16:52	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		169	-0.959	6.484	66161900	1.766	5.417	-9.995	-0.672	-1.527	-0.087	-0.221	19.628	0.904	0.157	26.936	0.865	0.422	26.389	0.801
2023-08-24	16:58	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		169	0.517	32.772	65340000	1.548	6.769	-5.367	0.385	-0.193	1.018	0.715	37.162	1.156	0.87	38.758	1.087	0.549	23.082	0.851
2023-08-23	16:56	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		169	0.912	41.553	52081200	2.285	19.617	-9.837	0.656	-0.08	1.448	1.047	41.751	1.526	0.851	30.896	1.299	0.368	21.185	0.861
2023-08-22	16:50	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		169	1.182	41.948	57051400	1.803	14.738	-1.9	0.868	0.267	1.618	0.82	25.567	1.355	0.438	13.299	1.003	-0.096	14.686	0.668
2023-08-21	16:56	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		169	0.458	9.187	56253300	1.876	12.462	-2.585	0.119	-0.464	1.048	0.067	-0.892	1.112	-0.085	7.469	0.886	-0.279	3.711	0.798
2023-08-18	16:58	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		169	-0.324	-11.929	58385600	1.251	5.87	-3.103	-0.395	-1.094	0.199	-0.357	6.241	1.02	-0.707	7.361	0.786	-0.546	15.002	0.807
2023-08-17	16:57	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		169	-0.389	24.932	69584300	1.458	5.964	-6.992	-0.371	-1.003	0.276	-0.898	16.625	1.003	-0.51	6.878	1.038	-0.36	27.415	1.004
2023-08-16	16:51	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		169	-1.408	8.864	62306400	1.562	3.903	-6.633	-1.22	-2.168	-0.386	-0.571	-2.174	1.421	-0.672	20.185	1.255	-0.288	31.809	1.178
2023-08-15	16:56	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		169	0.266	-12.568	67557700	2.132	12.311	-6.637	0.129	-0.476	0.972	-0.304	26.037	1.594	-0.002	33.769	1.525	-0.13	32.675	1.171
2023-08-14	16:54	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		169	-0.875	64.642	84345300	2.796	12.195	-7.877	-1.141	-2.273	0	-0.136	57.253	2.188	-0.099	53.561	1.755	-0.174	43.518	1.255
2023-08-10	16:54	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		169	0.603	49.209	83209200	3.045	17.66	-11.419	0.516	-0.637	1.643	0.289	47.635	1.987	-0.013	36.967	1.455	0.004	29.641	1.107
2023-08-09	20:47	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		169	-0.025	46.944	92154400	3.222	24.201	-15.092	-0.128	-0.949	0.694	-0.321	31.232	1.786	-0.199	33.937	1.464	-0.478	25.852	1.041
2023-08-08	16:49	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		169	-0.618	15.521	84837600	1.893	5.354	-6.766	-0.313	-1.763	0.485	-0.286	27.311	1.531	-0.186	17.26	1.255	-0.681	20.209	1.029
2023-08-07	16:57	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		169	0.046	39.532	68927400	1.946	9.797	-9.091	0.139	-0.595	0.902	0.029	19.57	1.414	-0.583	22.726	1.122	-0.358	22.244	1.145
2023-08-04	16:51	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		169	0.013	-4.585	67753900	2.378	18.16	-11.45	-0.066	-0.742	0.855	-0.897	13.133	1.506	-0.944	14.999	1.344	-0.14	13.32	1.38
2023-08-03	16:50	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		169	-1.806	31.42	84294900	1.757	6.424	-9.813	-1.85	-2.669	-1.053	-1.423	25.347	1.358	-0.616	25.391	1.407	-0.196	38.246	1.162
2023-08-02	16:51	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		169	-1.04	20.053	82145200	1.802	14.407	-6.271	-0.977	-1.693	-0.326	-0.02	22.716	1.858	0.364	13.567	1.678	0.198	39.874	1.106
2023-08-01	16:58	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		169	0.999	25.379	84477700	2.963	16.447	-12.411	0.437	-0.172	1.571	1.066	10.373	2.091	0.622	46.834	1.535	0.419	38.904	1.043
2023-07-31	16:56	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		169	1.132	-4.263	89227700	2.018	19.685	-3.034	0.98	0.138	2.013	0.434	57.513	1.214	0.343	51.271	0.954	0.277	37.453	0.635
2023-07-28	16:54	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		169	-0.264	119.854	125469000	1.392	5.185	-3.804	-0.227	-0.89	0.3	-0.051	78.834	1.101	-0.011	57.579	0.974	0.254	41.533	0.625
2023-07-27	16:48	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		169	0.162	38.411	71476100	1.543	11.218	-3.966	-0.026	-0.505	0.531	0.115	26.386	1.264	0.172	23.94	0.863	0.138	21.982	0.588
2023-07-26	16:52	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		169	0.068	15.18	59171200	1.821	17.626	-4.002	-0.122	-0.694	0.586	0.177	16.65	1.045	0.457	16.271	0.797	-0.077	16.514	0.614
2023-07-25	16:52	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		169	0.286	18.705	67499500	1.082	4.956	-3.251	0.282	-0.323	0.871	0.652	16.787	0.731	0.154	18.601	0.699	0.095	16.284	0.567
2023-07-24	21:00	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		169	1.017	15.571	66660300	0.99	4.722	-1.538	0.923	0.441	1.491	0.088	18.752	0.874	-0.246	16.403	0.778	0.271	20.686	0.596
2023-07-21	16:51	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		169	-0.842	21.933	89264900	1.681	10.38	-5.788	-0.556	-1.576	0.112	-0.877	16.967	1.219	-0.275	15.917	0.848	0.125	23.424	0.573
2023-07-20	16:50	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		169	-0.912	12.074	64727600	1.506	7.569	-6.319	-0.905	-1.691	-0.108	0.008	12.761	0.896	0.394	24.443	0.818	0.472	18.207	0.54
2023-07-19	16:54	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		169	0.928	14.111	63423400	1.09	6.806	-2.557	0.934	0.211	1.552	1.046	23.205	0.955	0.793	26.04	0.786	0.276	20.175	0.483
2023-07-18	16:52	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		169	1.165	32.293	67410100	1.498	8.426	-2.804	1.109	0.201	1.979	0.725	39.648	1.038	0.781	20.027	0.828	0.069	16.631	0.535
2023-07-14	16:54	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		169	0.286	17.118	82980300	1.812	12.224	-4.707	0.084	-0.62	0.791	0.589	6.342	1.148	-0.237	11.293	0.666	-0.259	10.862	0.536
2023-07-13	16:52	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		169	0.892	-3.741	71520800	1.257	4.634	-1.873	0.664	0	1.691	-0.499	8.728	0.897	-0.369	4.571	0.72	-0.448	7.511	0.611
2023-07-12	16:52	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		169	-1.89	21.918	75515900	1.853	1.518	-11.159	-1.469	-2.706	-0.761	-0.999	8.727	0.967	-0.824	13.875	0.857	-0.948	12.992	0.723
2023-07-11	16:53	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		169	-0.109	-3.741	81443200	1.609	7.771	-8.908	-0.118	-0.845	0.486	-0.291	10.215	1.02	-0.414	6.699	0.896	-0.656	12.509	0.633
2023-07-10	16:56	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		169	-0.473	24.91	82985500	1.48	7.891	-5.245	-0.171	-1.323	0.385	-0.567	11.919	1.06	-0.915	15.835	0.89	-0.733	11.674	0.611
2023-07-07	16:52	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		168	-0.661	-0.639	75715100	1.495	6.511	-3.325	-0.742	-1.488	0	-1.137	11.658	1.004	-0.902	14.128	0.755	-0.279	19.865	0.645
2023-07-06	16:53	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		168	-1.614	24.698	77836300	1.431	2.535	-5.766	-1.522	-2.52	-0.691	-1.023	21.512	1.006	-0.844	11.646	0.785	-0.095	28.838	0.616
2023-07-05	16:54	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		168	-0.432	19.069	68039800	1.412	3.065	-5.907	-0.326	-0.976	0.255	-0.459	5.431	0.991	0.294	25.167	0.955	0.29	25.883	0.771
2023-07-04	16:56	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		168	-0.487	-8.206	69553600	1.429	4.918	-5.778	-0.598	-1.253	0	0.657	28.216	1.326	0.524	33.528	1.039	0.771	29.265	0.885
2023-07-03	16:52	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		168	1.8	64.638	81272800	2.183	11.15	-8.556	1.677	0.7	2.553	1.029	54.395	1.351	0.789	39.517	1.178	0.744	32.319	0.843
2023-06-30	16:54	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		168	0.257	44.151	79053800	1.57	8.333	-2.923	0	-0.576	0.702	0.283	26.957	1.195	0.847	29.965	0.97	0.372	16.447	0.674
2023-06-29	16:51	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		168	0.31	9.763	76082200	1.636	7.532	-8.106	0.146	-0.45	1.124	1.141	22.871	1.148	0.554	17.602	0.825	0.123	13.879	0.654
2023-06-28	16:49	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		168	1.973	35.98	76868900	1.359	6.359	-1.627	1.88	1.117	2.697	0.676	21.522	0.917	0.43	9.441	0.865	-0.135	17.805	0.704
2023-06-27	16:54	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		168	-0.622	7.064	67459900	1.352	6.15	-5.867	-0.544	-1.284	0.03	-0.341	-3.829	1.145	-0.555	7.885	0.907	-0.42	14.071	0.727
2023-06-26	16:54	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		168	-0.061	-14.721	74564200	1.715	9.063	-5	-0.097	-0.934	0.56	-0.522	8.295	1.113	-0.675	15.327	0.983	-0.195	15.028	0.642
2023-06-23	16:50	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		168	-0.983	31.312	96663000	1.366	5.471	-5.333	-0.972	-1.84	-0.333	-0.983	30.352	1.123	-0.472	26.005	0.882	-0.182	15.582	0.712
2023-06-22	16:50	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		168	-0.983	29.391	89007200	1.887	8.444	-6.861	-0.742	-2.002	0.098	-0.216	23.351	1.159	0.023	19.095	0.868	0.129	21.092	0.807
2023-06-21	16:54	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		168	0.55	17.311	89223500	1.59	7.76	-5.721	0.497	-0.347	1.256	0.526	14.257	1.239	0.352	5.442	0.977	0.414	16.266	0.862
2023-06-20	16:55	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		168	0.502	10.572	81667800	1.576	6.726	-5.295	0.218	-0.372	1.16	0.253	-0.815	1.179	0.359	19.644	1.161	0.325	14.269	0.82
2023-06-19	16:51	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		168	0.003	-11.543	83634600	2.327	20.08	-4.083	-0.224	-1.096	0.723	0.288	24.003	1.626	0.339	17.718	1.235	0.482	19.728	0.882
2023-06-16	16:53	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		168	0.572	59.548	125252800	1.952	8.148	-6.164	0.233	-0.406	1.291	0.507	32.349	1.322	0.374	24.085	0.988	0.801	27.082	0.883
2023-06-15	16:50	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		168	0.442	5.149	87890700	1.865	13.672	-3.261	0.027	-0.466	0.982	0.275	6.353	1.154	0.612	16.879	1.118	0.939	36.523	0.944
2023-06-14	16:57	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		168	0.108	7.557	95325700	1.653	5.128	-4.739	0.148	-0.853	1.088	0.697	22.743	1.198	0.998	23.42	1.056	0.675	27.249	0.815
2023-06-13	16:50	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		168	1.287	37.93	94495900	2.024	13.829	-2.837	0.786	0.085	2.267	1.442	31.349	1.565	1.383	44.44	1.357	0.505	36.417	0.803
2023-06-12	16:49	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		168	1.598	25.164	66293600	2.296	11.532	-10.177	1.286	0.473	2.374	1.435	38.657	1.524	0.665	23.648	1.056	0.321	27.705	0.821
2023-06-09	16:50	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		169	1.282	34.824	92829500	1.763	10.662	-5.907	1.091	0.338	2.013	0.208	17.887	1.091	-0.109	35.787	0.875	0.304	30.016	0.713
2023-06-08	16:48	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		170	-0.858	0.706	85317900	2.154	20.268	-5.908	-0.866	-1.714	-0.126	-0.8	36.5	1.397	-0.416	25.236	1.081	0.208	25.46	0.782
2023-06-07	16:48	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		170	-0.742	72.293	103579500	1.777	7.105	-5.702	-0.664	-1.324	0	-0.195	35.148	1.128	0.369	37.478	0.907	0.411	21.036	0.726
2023-06-06	16:53	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		170	0.351	-2.009	75724900	1.666	10.067	-3.342	0.09	-0.46	0.884	0.924	19.924	1.129	0.881	17.384	0.922	0.162	21.536	0.687
2023-06-05	16:50	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		170	1.497	42.433	85999200	1.396	6.473	-2.083	1.384	0.513	2.214	1.146	26.869	1.093	0.816	11.59	0.944	0.133	19.806	0.711
2023-06-02	16:53	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		170	0.794	11.304	77887900	1.634	5.693	-3.14	0.817	-0.079	1.784	0.475	-3.832	1.237	-0.346	22.488	0.979	-0.043	15.438	0.683
2023-06-01	16:50	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		170	0.156	-18.968	84672000	1.774	11.245	-5.758	0.039	-0.635	0.748	-0.916	27.636	1.16	-0.543	14.949	1.011	-0.091	21.757	0.815
2023-05-31	16:54	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		170	-1.988	75.043	133807500	1.654	3.774	-6.392	-2.104	-2.973	-0.931	-0.892	31.851	1.184	-0.388	28.125	0.903	0.187	37.268	1.081
2023-05-30	16:51	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		170	0.204	-10.311	75707600	1.854	10.607	-3.357	-0.095	-0.812	0.589	0.412	5.101	1.215	0.46	17.832	1.282	0.605	16.8	1.155
2023-05-29	16:46	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		170	0.62	20.513	99890600	1.981	9.813	-5.092	0.348	-0.386	1.339	0.587	31.903	1.72	0.907	40.67	1.735	0.411	30.221	1.053
2023-05-26	16:50	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		170	0.554	43.293	101212400	2.709	14.493	-8.566	0	-0.956	1.228	1.05	50.748	2.341	0.733	24.599	1.571	0.448	25.661	1.047
2023-05-25	16:46	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		170	1.546	58.203	99431600	2.856	16.216	-3.371	0.728	-0.091	2.548	0.823	15.251	1.543	0.293	29.1	1.154	0.481	17.038	0.946
2023-05-24	16:53	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		170	0.1	-27.7	75946800	1.206	5.263	-4.523	0	-0.51	0.816	-0.333	14.549	1.009	0.046	8.937	1.045	0.511	11.608	0.839
2023-05-23	16:51	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		170	-0.765	56.798	96882500	1.855	9.036	-4.588	-0.837	-1.712	-0.112	0.019	27.255	1.515	0.254	18.024	1.224	0.484	18.665	0.876
2023-05-22	16:54	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		170	0.804	-2.287	75869100	2.131	16.568	-5.676	0.494	-0.337	1.434	0.763	-1.319	1.457	1.074	9.541	1.225	0.74	13.192	1.132
2023-05-19	16:51	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		170	0.723	-0.234	103004000	1.969	9.907	-2.893	0.246	-0.355	1.422	1.209	15.337	1.513	0.794	13.012	1.187	0.602	25.561	1.314
2023-05-18	16:53	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		170	1.694	31.494	105701500	2.334	9.915	-2.924	1.24	0	2.976	0.829	19.517	1.51	0.724	22.848	1.633	0.309	48.136	1.41
2023-05-17	16:53	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		170	-0.036	7.54	85172700	1.827	6.283	-5.684	-0.084	-0.996	0.727	0.239	18.305	1.923	0.198	31.978	1.893	-0.063	47.959	1.413
2023-05-16	16:50	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		170	0.514	29.538	86045800	3.1	22.082	-6.809	0.271	-0.8	1.356	0.315	44.838	2.746	-0.04	66.979	2.128	-0.161	49.838	1.385
2023-05-15	17:00	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		170	0.115	59.455	90422300	4.406	22.762	-19.225	0.169	-1.076	1.404	-0.319	85.745	2.713	-0.269	67.036	1.934	-0.118	48.056	1.239
2023-05-12	19:18	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		169	-0.772	116.015	92633200	3.058	9.937	-18.568	-0.35	-1.531	0.463	-0.472	72.667	1.844	-0.486	52.358	1.331	-0.044	40.183	0.896
2023-05-11	19:33	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		169	-0.171	30.088	61319000	1.907	5.621	-14.258	-0.196	-0.941	0.575	-0.343	21.247	1.111	0.02	22.567	0.916	0.174	20.935	0.646
2023-05-10	22:47	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		169	-0.514	12.406	54068400	1.266	5.184	-5.349	-0.454	-1.228	0.159	0.115	19.192	0.953	0.242	18.535	0.729	0.337	17.876	0.583
2023-05-09	16:23	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		169	0.745	26.642	67179300	1.481	8.571	-5.472	0.581	0.034	1.37	0.62	21.739	0.951	0.519	20.683	0.815	0.676	23.555	0.677
2023-05-08	16:26	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		169	0.495	16.638	69388100	1.226	7.937	-2.057	0.306	-0.255	1.068	0.405	17.888	0.951	0.485	16.342	0.796	0.583	29.584	0.73
2023-05-02	16:25	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		169	0.315	17.855	70204100	1.597	5.76	-9.538	0.218	-0.362	1.008	0.48	16.046	1.033	0.713	24.454	0.956	0.231	34.595	0.665
2023-05-01	16:23	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		169	0.644	15.632	81326800	1.756	5.725	-10.624	0.772	0	1.474	0.911	27.468	1.316	0.702	37.083	1.058	0.122	36.559	0.747
2023-04-28	16:23	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		169	1.179	39.304	100530600	1.736	10.807	-4.548	1.127	0.205	1.929	0.73	48.121	1.318	0.068	44.767	0.95	-0.018	34.25	0.697
2023-04-27	16:18	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		169	0.282	57.415	93027500	1.872	8.237	-9.208	0.191	-0.497	0.936	-0.484	45.619	1.096	-0.4	41.572	0.861	-0.214	31.838	0.693
2023-04-26	16:21	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		170	-1.247	32.005	78269600	1.508	4.438	-6.009	-1.263	-2.053	-0.469	-0.74	34.017	0.934	-0.514	24.564	0.805	-0.191	24.504	0.627
2023-04-25	16:20	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		170	-0.234	36.804	65849700	1.077	3.455	-5.393	-0.111	-0.758	0.33	-0.147	20.937	0.97	-0.034	23.377	0.938	0.007	18.931	0.636
2023-04-24	16:25	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		170	-0.061	5.069	59539400	1.407	5.179	-10.069	0.088	-0.619	0.597	0.066	16.957	1.247	0.175	18.097	0.859	0.092	16.491	0.632
2023-04-21	16:22	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		170	0.194	28.424	96433400	2.159	14.051	-16.476	0.08	-0.496	0.692	0.293	24.317	1.135	0.109	17.635	0.894	0.13	25.6	0.97
2023-04-20	16:20	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		170	0.393	20.966	75532000	2.019	20.718	-7.237	0.188	-0.289	0.801	0.067	12.663	1.161	0.108	16.353	1.205	0.144	29.389	1.122
2023-04-19	16:18	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		170	-0.259	3.675	76978000	1.169	3.834	-3.533	-0.258	-0.783	0.159	-0.034	13.723	1.357	0.021	26.346	1.487	-0.02	25.341	1.007
2023-04-18	16:18	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		170	0.191	24.38	81544900	2.495	20.313	-9.34	0.101	-0.64	0.706	0.161	37.747	2.127	0.195	40.734	1.565	0.037	27.34	1.007
2023-04-17	16:19	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		170	0.13	50.824	63696700	2.364	18.315	-10.35	0	-0.48	0.555	0.197	48.618	1.637	-0.011	32.51	1.101	0.238	38.207	0.688
2023-04-14	15:23	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		170	0.265	47.298	60005200	2.303	21.038	-3.101	0.122	-0.434	0.528	-0.082	23.797	1.161	-0.045	20.533	0.926	0.329	32.102	0.619
2023-04-13	16:23	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		170	-0.429	0.889	49534400	1.064	2.081	-4.552	-0.246	-0.955	0.164	-0.2	7.151	1.149	0.264	31.227	0.825	0.382	18.121	0.609
2023-04-12	16:20	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		170	0.029	14.006	52238400	1.779	5.524	-14.756	0.211	-0.443	0.862	0.611	46.517	1.065	0.602	37.498	0.829	0.088	18.89	0.584
2023-04-11	16:24	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		170	1.193	79.028	56277700	1.536	6.535	-4.723	0.989	0.172	1.761	0.889	49.244	1.027	0.77	25.283	0.852	-0.332	26.471	0.538
2023-04-10	16:28	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		170	0.585	19.459	45112500	1.364	10.28	-1.726	0.346	-0.076	1.03	0.558	-1.848	1.028	-0.26	0.338	0.715	-0.621	15.3	0.872
2023-04-07	16:18	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		169	0.532	-22.795	51040700	1.762	10.754	-11.613	0.524	-0.143	1.252	-0.681	-9.392	0.918	-1.143	11.096	0.784	-0.674	14.695	0.916
2023-04-06	16:22	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		169	-1.894	4.466	72760900	1.553	1.907	-6.134	-1.947	-2.773	-0.827	-1.981	28.64	1.254	-1.408	26.941	1.547	-0.629	35.186	1.009
2023-04-05	16:27	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		169	-2.068	52.847	68767200	1.679	11.429	-5.619	-2.308	-2.9	-1.21	-1.165	37.734	2.069	-0.67	30.293	1.497	-0.178	38.125	1.07
2023-04-04	16:19	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		169	-0.263	24.43	69496500	2.96	28.169	-7.459	-0.216	-1.365	0.3	0.028	19.92	1.795	0.272	39.2	1.278	0.49	36.778	1.002
2023-04-03	20:43	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		169	0.32	16.793	70798600	2.194	14.4	-4.276	0.11	-0.78	1.133	0.54	46.572	1.391	0.48	36.722	1.296	0.431	33.369	0.821
2023-03-31	11:03	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		169	0.759	78.474	86968600	1.686	4.991	-8.599	0.764	0	1.463	0.559	47.406	1.415	0.797	47.192	1.074	0.388	40.34	0.71
2023-03-30	17:38	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		169	0.36	16.337	63603000	2.62	18.156	-6.308	0	-0.89	1.071	0.816	32.173	1.58	0.359	24.248	1.036	0.281	31.331	0.709
2023-03-29	17:00	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		169	1.272	49.699	59229200	1.517	10.419	-1.961	1.222	0.395	1.878	0.358	28.335	1.1	0.273	35.863	0.94	0.335	27.927	0.589
2023-03-28	18:08	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		169	-0.555	8.743	46083700	1.512	5.7	-8.365	-0.328	-1.193	0.191	-0.226	29.51	1.119	-0.076	30.486	0.794	0.415	15.301	0.625
2023-03-27	17:57	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		169	0.102	52.541	49045500	1.331	4.056	-4.436	0.256	-0.396	0.775	0.163	41.246	0.887	0.32	27.797	0.718	0.196	26.654	0.686
2023-03-24	16:18	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		169	0.224	32.659	55943200	1.541	7.893	-3.372	0	-0.644	0.82	0.429	15.645	1.003	0.842	5.457	0.892	0.408	20.255	0.783
2023-03-23	16:23	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		169	0.634	-1.37	54868100	1.219	5.926	-3.828	0.457	-0.079	1.333	1.151	-8.144	1.103	0.218	16.068	0.925	0.045	19.131	0.718
2023-03-22	16:23	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		169	1.668	-14.919	60362000	1.785	7.816	-6.084	1.57	0.822	2.503	0.01	24.787	1.256	0.394	23.484	1.047	0.243	14.652	0.807
2023-03-20	16:18	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		169	-1.647	64.493	63424800	1.921	7.143	-7.263	-1.689	-2.546	-0.971	-0.242	43.056	1.258	-0.693	37.608	1	-0.63	23.844	0.736
2023-03-17	16:24	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		169	1.163	20.556	74288300	1.985	8.59	-6.825	0.919	0	1.866	-0.216	23.721	1.237	0.398	8.09	1.049	-0.589	21.358	0.781
2023-03-16	16:16	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		169	-1.594	26.574	66024900	1.368	1.769	-7.326	-1.529	-2.575	-0.768	0.016	1.031	1.034	-0.888	10.049	0.935	-1.021	26.65	0.855
2023-03-15	16:17	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		169	1.626	-24.512	57396300	2.288	15.259	-10.861	1.463	0.606	2.374	-0.535	2.16	1.346	-0.838	19.293	0.894	-0.577	26.247	1.016
2023-03-14	16:19	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		169	-2.696	29.279	73306000	2.612	19.374	-18.497	-2.667	-3.8	-1.852	-2.069	41.369	1.392	-1.711	43.394	1.415	-0.736	38.073	1.263
2023-03-13	16:23	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		169	-1.443	53.459	62327700	2.227	20.325	-5.109	-1.565	-2.545	-0.735	-1.219	50.451	2.163	-0.606	41.546	2.056	-0.159	45.727	1.306
2023-03-10	16:21	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		169	-0.995	47.443	81040800	2.719	25.51	-6.351	-1.292	-1.958	-0.414	-0.187	35.935	2.256	0.152	35.35	1.716	0.34	36.261	1.138
2023-03-09	16:17	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		169	0.621	23.381	54273100	2.468	23.659	-12.032	0.5	-0.13	1.225	0.726	28.859	1.563	0.548	42.446	1.125	0.675	37.867	0.809
2023-03-08	16:22	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		169	0.831	35.068	56759200	2.496	23.026	-3.783	0.466	-0.196	1.238	0.512	52.195	1.683	0.691	36.872	1.394	0.418	36.546	1.051
2023-03-07	16:20	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		169	0.193	69.322	63946600	2.208	22.019	-5.455	0	-0.61	0.759	0.621	37.774	1.741	0.64	41.848	1.106	0.492	31.674	1.182
2023-03-06	16:23	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		169	1.049	6.225	54584700	1.987	16.854	-2.309	0.698	0.086	1.627	0.864	28.111	0.979	0.356	28.038	1.058	0.494	30.258	0.939
2023-03-03	16:20	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		169	0.678	49.996	61142800	1.352	6.94	-4.915	0.572	0	1.297	0.009	44.856	1.183	0.407	29.62	1.061	0.425	27.864	0.799
2023-03-02	16:17	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		169	-0.66	16.738	55672600	2.159	19.084	-7.726	-0.71	-1.38	0	0.271	13.713	1.643	0.248	29.755	1.244	0.587	26.323	0.914
2023-03-01	16:17	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		169	1.202	10.255	60506600	2.002	14.577	-3.164	0.883	0.041	1.927	0.702	36.128	1.366	0.703	22.204	1.066	0.535	27.104	0.838
2023-02-28	16:25	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		169	0.203	62.652	62807200	1.788	9.987	-3.662	0	-0.702	0.906	0.453	28.461	1.201	0.798	34.635	1.061	0.422	47.792	0.751
2023-02-27	18:55	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		169	0.704	-5.731	55751700	1.793	8.488	-8.904	0.634	-0.312	1.656	1.096	20.626	1.367	0.424	20.976	1.123	0.531	37.226	0.689
2023-02-24	16:18	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		169	1.489	46.983	68178700	2.157	10.622	-5.863	1.216	0.301	2.463	0.284	34.329	1.361	0.401	59.592	1.039	0.223	39.882	0.702
2023-02-22	16:23	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		169	-0.921	21.675	68966300	1.316	3.744	-7.741	-0.885	-1.554	-0.219	-0.143	65.378	1.173	0.154	48.102	0.904	0.17	44.128	0.728
2023-02-21	16:25	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		169	0.636	109.731	79305200	2.582	20	-5.455	0.29	-0.5	1.226	0.691	61.168	1.5	0.183	42.86	1.236	0.303	51.445	1.07
2023-02-20	16:24	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		169	0.746	13.846	49494600	1.775	12.705	-4.655	0.542	0	1.147	-0.044	10.045	1.301	0.379	30.079	1.046	0.271	34.141	1.116
2023-02-17	16:23	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		169	-0.834	6.877	55853300	1.587	7.112	-6.154	-0.767	-1.702	0.054	0.195	38.348	1.125	0.044	44.971	1.272	-0.041	35.991	1.137
2023-02-16	16:16	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		169	1.224	70.492	57138000	1.543	8.995	-2.985	1.091	0.244	1.929	0.483	63.944	1.535	0.48	50.052	1.424	0.188	65.102	1.143
2023-02-15	16:17	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		169	-0.258	58.406	59910900	2.29	16.76	-7.359	-0.332	-1.091	0.442	0.108	40.277	1.817	-0.198	34.461	1.492	0.077	65.01	1.351
2023-02-14	16:24	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		169	0.475	22.148	54414300	2.997	9.324	-19.355	0.606	0	1.537	-0.168	22.489	1.938	-0.009	65.789	1.559	0.188	62.296	1.388
2023-02-13	16:19	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		169	-0.81	22.83	59929400	2.346	8.862	-16.639	-0.741	-1.667	0.237	-0.25	87.868	1.716	0.056	82.01	1.772	0.201	61.785	1.504
2023-02-10	17:36	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		169	0.309	153.135	83104300	2.664	13.815	-16.755	0.146	-0.626	1.122	0.488	111.585	2.411	0.424	89.201	1.958	0.349	63.259	1.426
2023-02-09	20:09	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		169	0.668	70.034	56481700	4.032	30.882	-7.572	0.157	-0.64	0.814	0.482	57.234	2.578	0.502	44.185	2.177	0.296	37.29	1.379
2023-02-08	16:20	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		169	0.296	44.435	56231500	2.433	17.403	-9.234	0	-0.563	0.526	0.419	31.764	1.91	0.256	31.811	1.323	0.183	28.431	0.929
2023-02-07	16:25	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		169	0.542	19.947	51558400	2.088	20.868	-6.652	0.287	-0.281	1.328	0.236	25.877	1.241	0.173	24.549	1.08	0.164	23.982	0.912
2023-02-06	16:18	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		169	-0.071	31.807	66505900	1.786	10.092	-9.579	0	-0.976	0.676	-0.012	26.849	1.41	0.026	25.741	0.952	0.072	26.881	0.879
2023-02-03	16:19	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		169	0.047	21.891	64248200	2.205	21.645	-3.607	-0.194	-0.871	0.48	0.074	22.708	1.365	0.116	22.718	1.331	0.12	32.592	0.82
2023-02-02	16:23	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		169	0.102	23.525	68388200	1.756	5.521	-4.731	-0.05	-1.012	1.057	0.15	23.131	1.594	0.128	26.902	1.19	0.127	36.705	0.713
2023-02-01	16:22	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		169	0.199	22.737	72667200	2.795	22.616	-13.749	0.132	-0.741	0.941	0.141	28.591	1.718	0.15	39.182	1.118	0.027	33.024	0.801
2023-01-31	21:12	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		169	0.082	34.444	70358400	2.12	15.301	-10.438	0.166	-0.853	1.095	0.126	47.404	1.092	0.111	45.754	1.005	0.094	28.44	0.725
2023-01-30	16:19	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		169	0.169	60.365	73751400	1.812	13.576	-5.319	0	-0.579	0.572	0.126	51.41	1.571	-0.048	35.979	1.13	0.362	31.707	0.775
2023-01-27	16:26	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		169	0.082	42.454	59566600	1.89	18.059	-3.102	-0.101	-0.764	0.534	-0.157	23.786	1.151	0.072	15.796	0.891	0.581	26.568	0.628
2023-01-26	16:22	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		169	-0.397	5.118	57410000	1.142	4.333	-4.718	-0.43	-1.103	0.221	0.067	2.468	1.068	0.519	18.126	0.836	0.681	22.248	0.644
2023-01-25	16:20	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		169	0.531	-0.183	66437700	1.769	14.811	-5.377	0.35	-0.227	1.056	0.976	24.363	1.151	1.073	28.371	0.864	0.661	19.307	0.67
2023-01-24	16:19	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		170	1.424	48.852	60113400	1.448	6.509	-2.174	1.326	0.56	2.078	1.346	42.542	0.931	1.09	35.475	0.738	0.805	27.233	0.58
2023-01-23	16:20	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		170	1.267	37.108	44942600	1.122	4.545	-3.132	1.255	0.682	1.866	0.924	29.297	0.839	0.451	15.985	0.754	0.751	26.887	0.466
2023-01-20	16:19	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		170	0.58	19.362	43465000	1.459	11.379	-3.807	0.41	-0.125	0.968	0.043	4.542	1.058	0.444	16.532	0.739	0.205	19.297	0.517
2023-01-19	16:19	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		170	-0.494	-8.874	47648300	1.292	6.444	-3.083	-0.581	-1.21	0.044	0.377	14.878	0.8	0.635	25.591	0.62	0.086	19.039	0.613
2023-01-18	18:11	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		170	1.247	38.63	59598600	1.3	7.811	-2.246	1.146	0.412	1.979	1.2	42.823	0.957	0.313	28.407	0.991	0.164	24.245	0.725
2023-01-17	16:25	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		170	1.152	47.017	49736100	1.466	6.19	-7.5	1.21	0.459	1.856	-0.154	23.296	1.308	-0.108	21.813	1.024	0.219	19.461	0.753
2023-01-16	17:13	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		170	-1.46	-0.425	53345600	2.008	3.09	-16.484	-1.239	-2.023	-0.55	-0.739	9.211	1.261	-0.527	11.86	1.007	0.293	24.51	0.728
2023-01-13	16:20	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		170	-0.017	18.848	59893400	1.837	10	-5.739	-0.266	-1.031	0.55	-0.061	18.002	1.242	0.467	16.904	1.026	0.752	27.082	0.948
2023-01-12	16:27	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		170	-0.105	17.156	56581300	1.589	7.786	-8.108	-0.07	-0.928	0.563	0.709	15.932	1.168	0.98	34.937	1.143	0.802	30.867	0.901
2023-01-11	16:24	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		170	1.523	14.707	58516300	1.741	8.614	-2.991	1.222	0.349	2.423	1.523	44.706	1.642	1.294	33.421	1.376	0.487	33.853	0.846
2023-01-10	16:26	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		170	1.523	72.069	59581100	2.628	22.59	-2.479	0.892	0.12	2.371	1.179	41.973	1.732	0.865	40.46	1.214	0.237	31.997	0.787
2023-01-06	16:21	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		170	0.836	12.266	51841700	1.681	14.017	-7.66	0.748	0	1.533	0.536	24.72	1.211	-0.203	28.416	0.904	-0.005	17.926	0.713
2023-01-05	16:26	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		170	0.235	38.573	54927500	1.632	5.133	-5.256	0.192	-0.718	1.08	-0.722	42.386	1.156	-0.391	26.137	0.861	-0.28	26.149	0.623
2023-01-04	16:25	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		170	-1.68	24.837	52753300	1.816	10.87	-6.069	-1.715	-2.534	-0.797	-0.705	14.546	1.011	-0.365	11.175	0.935	-0.315	18.776	0.539
2022-12-30	16:18	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		170	0.27	6.349	51755500	1.501	6.456	-6.767	0.171	-0.293	0.92	0.292	4.742	1.158	0.015	20.632	0.688	0.1	12.383	0.553
2022-12-29	16:17	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		170	0.315	3.761	51287800	1.806	8.52	-7.297	0.204	-0.524	1.112	-0.113	26.223	0.986	-0.055	20.582	0.686	-0.21	19.328	0.643
2022-12-28	16:56	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		170	-0.541	48.686	54335700	1.361	4.651	-6.14	-0.327	-1.252	0.178	-0.239	28.992	0.825	-0.029	16.786	0.884	-0.265	17.074	0.805
2022-12-27	16:25	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		170	0.062	9.298	45147500	1.181	5.174	-4.335	0	-0.616	0.722	0.228	0.836	1.084	-0.274	14.73	0.908	-0.443	4.773	0.735
2022-12-26	16:26	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		170	0.393	-7.626	46817700	2.08	6.259	-8.791	0.474	-0.318	1.376	-0.442	17.446	1.289	-0.281	9.129	1.115	-0.932	25.856	0.804
2022-12-23	16:22	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		170	-1.276	42.519	63776500	1.919	9.716	-7.312	-0.982	-2.107	-0.178	-0.619	17.507	1.446	-0.89	7.398	1.109	-1.059	29.092	0.93
2022-12-22	16:19	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		170	0.039	-7.505	56851100	1.697	7.353	-11.489	0.176	-0.562	0.801	-0.697	-10.162	1.038	-1.259	32.366	0.99	-1.063	38.386	0.998
2022-12-21	16:19	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		170	-1.432	-12.82	75955900	1.416	5.287	-6.396	-1.514	-2.352	-0.665	-1.909	49.376	1.386	-1.353	33.754	1.146	-1.037	46.545	1.169
2022-12-20	16:24	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		170	-2.385	112.758	91948900	2.217	15.167	-10.811	-2.348	-3.516	-1.318	-1.314	58.127	1.459	-1.307	68.147	1.557	-0.602	51.869	1.086
2022-12-19	16:19	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		170	-0.242	2.92	55814100	1.861	7.786	-8.024	-0.216	-1.194	0.566	-0.768	46.173	1.669	-0.455	44.494	1.326	-0.098	42.696	0.888
2022-12-16	16:20	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		170	-1.293	90.636	75244800	2.453	19.96	-9.274	-1.278	-2.292	-0.536	-0.562	65.624	1.608	-0.128	48.305	1.16	-0.09	42.939	0.925
2022-12-15	16:16	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		170	0.17	40.612	53123700	2.021	8.734	-14.078	0	-0.768	0.947	0.455	27.14	1.262	0.348	38.914	0.922	0.463	31.251	0.843
2022-12-14	16:17	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		170	0.741	13.667	55678300	1.37	6.498	-3.88	0.655	0	1.225	0.436	38.601	0.913	0.225	28.622	0.882	0.369	27.028	0.763
2022-12-13	16:26	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		170	0.132	62.255	53732700	1.316	6.469	-4.915	0.233	-0.523	0.736	-0.033	38.608	1.199	0.468	35.068	1.045	0.145	26.596	0.792
2022-12-12	16:15	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		170	-0.198	4.176	54082700	1.962	9.121	-6.565	-0.2	-1.012	0.485	0.636	18.546	1.411	0.323	18.715	1.041	0.136	18.415	0.765
2022-12-09	16:18	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		169	1.46	32.708	63290400	2.059	9.122	-14.229	1.156	0.458	1.885	0.573	25.759	1.15	0.25	20.842	0.968	0.03	15.699	0.693
2022-12-08	16:19	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		169	-0.314	19.596	58298600	1.329	6.145	-4.604	-0.3	-0.779	0	-0.355	15.212	1.075	-0.199	18.308	0.801	-0.518	14.702	0.68
2022-12-07	16:21	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		169	-0.395	10.828	58293100	1.71	7.241	-4.972	-0.463	-1.423	0.221	-0.142	17.664	1.112	-0.332	9.113	0.923	-0.331	13.456	0.735
2022-12-06	16:19	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		169	0.112	24.499	54634000	1.446	6.259	-4.421	0.117	-0.699	0.855	-0.3	8.98	1.123	-0.627	14.511	0.997	-0.437	20.722	0.785
2022-12-05	16:17	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		169	-0.712	-9.158	56125700	1.552	5.425	-6.485	-0.68	-1.434	0	-0.997	8.728	1.283	-0.457	10.61	1.054	-0.614	16.722	0.734
2022-12-02	16:25	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		169	-1.282	27.152	65723400	1.709	7.515	-4.893	-1.576	-2.326	-0.587	-0.33	21.112	1.209	-0.528	29.366	0.888	-0.574	23.032	0.652
2022-12-01	16:19	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		169	0.622	13.227	67578400	1.618	5.232	-4.244	0.321	-0.445	1.594	-0.151	29.844	1.081	-0.359	21.718	0.794	-0.161	19.579	0.631
2022-11-30	16:22	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		169	-0.925	47.13	75027900	1.748	3.116	-9.091	-0.649	-1.579	0.201	-0.849	26.143	1.154	-0.736	24.858	0.996	0.039	23.931	0.829
2022-11-29	16:17	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		169	-0.773	5.157	59273300	1.906	10.908	-7.831	-0.821	-1.607	0	-0.642	13.722	1.293	-0.168	12.588	1.264	0.277	18.939	0.947
2022-11-28	16:16	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		169	-0.511	22.287	64205400	1.796	8.497	-5.623	-0.523	-1.546	0.071	0.135	16.303	1.686	0.632	22.403	1.509	0.602	18.932	1.03
2022-11-25	16:46	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		169	0.78	10.32	71368800	2.891	20.604	-3.611	0.085	-0.519	1.101	1.203	22.904	2.121	0.89	22.724	1.428	0.797	21.486	1.156
2022-11-24	16:50	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		169	1.625	34.196	68419700	1.942	15.924	-3.717	1.345	0.517	2.221	0.944	28.694	1.165	0.913	20.934	1.168	0.611	18.361	0.928
2022-11-22	16:47	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		169	0.263	22.784	66829600	1.699	3.908	-14.11	0.436	-0.167	1.083	0.557	12.993	1.43	0.527	20.029	1.063	0.46	17.836	1.006
2022-11-21	16:50	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		169	0.852	3.82	70864600	2.321	11.624	-9.444	0.648	-0.19	1.415	0.659	19.014	1.931	0.39	11.603	1.673	0.72	15.226	1.374
2022-11-18	16:50	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		169	0.466	35.437	83642300	3.617	38.462	-5.568	0	-0.715	0.802	0.159	16.043	2.432	0.395	21.373	1.783	0.378	15.341	1.377
2022-11-17	16:54	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		169	-0.149	-3.352	69767500	2.036	10.167	-8.445	-0.039	-1.221	0.799	0.36	14.349	1.609	0.761	12.451	1.604	0.791	31.709	1.773
2022-11-16	16:54	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		169	0.869	32.805	90057300	2.464	12.116	-9.884	0.453	-0.439	1.34	1.216	20.345	2.257	0.524	14.892	1.832	0.763	41.842	2.017
2022-11-15	16:48	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		169	1.564	8.67	77203400	3.063	15.804	-8.857	1.027	0.04	2.587	0.351	6.265	2.124	1.078	43.212	2.701	0.71	40.275	2.259
2022-11-14	17:00	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		169	-0.861	3.86	95517000	3.021	15.419	-12.969	-0.802	-2.039	0.183	0.835	60.483	3.731	0.46	56.128	2.971	0.632	48.558	2.197
2022-11-11	22:26	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		169	2.53	117.106	123216300	6.895	75.428	-8.845	1.551	0.125	3.332	1.121	82.267	4.233	0.949	62.936	3.432	0.982	51.997	2.217
2022-11-10	16:50	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		169	-0.288	47.819	65130800	2.913	20.216	-9.649	-0.467	-1.438	0.224	0.159	35.73	2.463	0.496	40.579	1.832	0.332	40.485	1.213
2022-11-09	16:51	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		169	0.605	24.514	71795000	3.435	22.573	-15.688	0.463	-0.384	1.623	0.889	37.248	2.121	0.89	31.837	1.617	0.324	41.81	0.938
2022-11-08	16:49	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		169	1.172	49.982	65563200	2.216	13.038	-8.646	1.031	0	2.108	1.033	35.647	1.737	0.448	43.623	1.166	0.33	44.928	0.818
2022-11-07	16:49	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		169	0.893	21.438	54229100	2.527	9.825	-16.772	1.051	0.049	2.103	0.086	40.296	1.343	-0.052	44.719	0.938	0.495	35.406	0.881
2022-11-04	16:52	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		167	-0.736	59.553	67021700	1.929	11.564	-8.147	-0.835	-1.814	0.04	-0.526	56.585	1.301	-0.132	51.451	1.268	0.17	63.15	1.058
2022-11-02	16:45	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		167	-0.315	54.542	67353100	1.888	7.757	-8.182	-0.222	-1.315	0.638	0.17	47.4	1.624	0.782	31.424	1.366	0.315	55.549	1.032
2022-11-01	16:55	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		167	0.655	41.184	60948100	2.775	15.015	-7.823	0.163	-0.52	1.105	1.331	19.349	2.072	0.634	67.282	1.595	0.41	50.643	1.164
2022-10-31	16:52	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		167	2.006	-2.025	73973400	2.565	19.048	-6.713	1.798	0.6	2.968	0.624	79.662	1.71	0.411	60.335	1.37	0.539	50.044	1.051
2022-10-28	16:46	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		167	-0.758	163.267	114149000	1.771	8.567	-7.298	-0.831	-1.699	-0.054	-0.387	91.741	1.3	-0.204	70.506	1.166	0.371	55.618	0.937
2022-10-27	16:51	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		167	-0.015	21.792	64648900	1.596	6.614	-6.22	-0.102	-1.024	0.78	0.072	24.797	1.332	0.483	29.366	1.07	0.487	30.198	0.916
2022-10-26	16:53	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		167	0.16	27.802	60502900	2.094	20.592	-4.836	0	-0.672	0.704	0.732	33.154	1.365	0.877	31.621	1.164	0.368	41.761	0.804
2022-10-25	16:58	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		167	1.304	38.505	66767800	1.557	8.47	-1.523	1.059	0.42	1.794	1.235	34.623	1.289	0.764	33.879	1.105	0.37	35.93	0.634
2022-10-24	16:53	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		167	1.166	27.034	58770800	1.704	7.587	-6.542	0.941	0.282	1.996	0.493	30.736	1.423	0.125	47.151	0.912	0.344	39.128	0.614
2022-10-21	16:38	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		167	-0.18	35.208	60298300	1.935	10.619	-6.957	-0.463	-1.125	0.233	-0.396	56.372	1.182	-0.207	37.381	0.838	0.019	30.675	0.622
2022-10-20	16:36	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		167	-0.611	79.154	58238300	1.973	18.557	-4.276	-0.786	-1.447	-0.042	-0.22	38.941	1.156	0.244	44.775	0.83	0.467	36.164	0.611
2022-10-19	16:37	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		167	0.171	-1.273	47025300	1.048	3.68	-3.035	0.193	-0.303	0.736	0.671	28.477	0.761	0.296	13.543	0.655	0.41	24.054	0.518
2022-10-18	16:40	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		167	1.171	56.358	54531200	1.314	5.862	-3.547	1.005	0.361	1.846	0.359	20.015	0.949	0.924	34.682	0.79	0.167	22.757	0.547
2022-10-17	16:39	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		167	-0.454	-14.456	54874100	1.643	6.323	-6.572	-0.487	-1.146	0.196	0.801	25.195	1.125	0.236	20.792	0.816	-0.61	26.44	0.714
2022-10-14	16:34	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		167	2.056	60.418	67991200	1.859	19.305	-2.263	1.934	1.179	2.546	0.581	37.043	1.021	0.039	22.618	0.837	-0.636	27.985	0.732
2022-10-13	16:38	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		167	-0.894	15.118	52334900	1.415	1.909	-6.871	-0.691	-1.686	0.131	-0.97	3.474	1.039	-1.55	27.605	1.068	-0.823	19.322	0.687
2022-10-12	16:42	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		167	-1.046	-7.431	66308000	1.611	4.486	-8.485	-0.855	-1.861	-0.139	-1.878	34.272	1.421	-1.447	21.598	1.111	-0.602	14.863	0.643
2022-10-11	16:37	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		167	-2.71	76.513	80009000	2.154	3.789	-12.641	-2.618	-3.989	-1.322	-1.648	36.346	1.342	-0.725	30.614	0.839	0.054	20.198	0.574
2022-10-07	16:36	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		164	-0.581	-4.285	55509000	1.439	6.29	-7.123	-0.658	-1.416	0.022	0.266	5.884	0.878	0.258	1.475	0.725	0.875	5.812	0.688
2022-10-06	16:36	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		164	1.112	16.718	51244400	1.152	5.479	-1.743	0.956	0.367	1.728	0.677	4.633	0.862	1.199	9.229	0.77	0.602	14.114	0.592
2022-10-05	16:34	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		164	0.242	-6.028	53414800	1.27	4.706	-4	0.228	-0.468	0.912	1.243	5.638	0.992	1.281	5.494	0.928	0.399	6.977	0.547
2022-10-04	16:44	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		164	2.243	17.304	60839600	1.468	7.874	-4.954	2.365	1.399	3.083	1.801	11.582	1.211	0.552	20.027	0.744	0.227	25.59	0.607
2022-10-03	16:32	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		164	1.358	5.227	62803500	1.923	12.539	-3.577	1.11	0.147	2.448	-0.294	21.714	0.95	-0.163	7.694	0.8	-0.136	15.639	0.713
2022-09-30	16:34	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		164	-1.945	38.777	84454500	1.547	2.832	-6.496	-1.994	-2.86	-0.858	-0.924	9.073	1.169	-0.822	35.057	1.026	-1.044	30.788	0.821
2022-09-29	16:43	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		164	0.098	-18.939	61742200	1.575	5.769	-3.203	0.133	-0.735	0.958	-0.26	33.929	1.215	-0.031	12.221	1.048	-0.647	25.889	0.715
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2022-09-27	16:39	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		164	0.426	-31.845	53257500	2.298	25.884	-3.816	0.266	-0.36	0.877	-1.376	24.027	1.29	-0.905	20.644	0.926	-0.65	12.521	0.621
2022-09-26	16:35	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		164	-3.179	80.315	67352800	1.72	2.063	-7.967	-3.208	-4.215	-2.137	-1.571	47.08	0.966	-1.444	33.662	0.82	-1.048	33.991	0.7
2022-09-22	16:38	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		164	0.038	13.845	48332300	1.041	3.645	-2.366	-0.052	-0.515	0.482	-0.576	10.336	0.747	-0.165	4.821	0.652	-0.488	16.239	0.619
2022-09-21	16:37	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		164	-1.191	6.827	47017400	1.251	3.202	-6.566	-1.112	-1.918	-0.291	-0.267	0.406	0.981	-0.699	25.453	0.896	-0.807	25.019	0.663
2022-09-20	16:35	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		164	0.657	-5.898	51761000	1.752	9.332	-8.504	0.651	-0.166	1.493	-0.453	35.133	1.148	-0.429	19.926	0.923	-0.522	26.11	0.608
2022-09-16	16:39	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		164	-1.564	76.164	62222300	1.692	1.923	-10.097	-1.288	-2.243	-0.558	-0.972	33.217	1.122	-1.167	41.204	0.848	-0.527	23.692	0.55
2022-09-15	16:39	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		164	-0.38	-8.709	41320200	1.192	4.423	-3.772	-0.336	-1.067	0.19	-0.968	23.194	0.816	-0.567	19.499	0.601	-0.085	17.364	0.584
2022-09-14	16:35	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		164	-1.557	55.654	52334000	1.272	5.381	-4.613	-1.63	-2.323	-0.87	-0.661	33.851	0.74	-0.231	17.477	0.727	0.306	22.507	0.646
2022-09-13	16:35	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		164	0.235	12.048	36629500	1.172	4.712	-3.471	0.192	-0.336	0.842	0.432	0.264	0.994	0.503	16.388	0.861	0.457	14.886	0.679
2022-09-12	16:41	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		164	0.629	-18.047	38935900	1.794	14.591	-6.127	0.646	-0.045	1.208	0.637	11.512	1.174	0.95	12.051	0.988	0.522	17.689	0.717
2022-09-09	16:39	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		164	0.646	42.391	57676300	1.699	9.582	-4.706	0.442	-0.216	1.088	1.111	27.763	1.139	0.473	25.332	0.932	0.427	21.603	0.665
2022-09-08	16:39	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		164	1.575	14.36	52995500	1.431	6.379	-3.419	1.762	0.708	2.322	0.387	16.845	1.08	0.444	22.297	0.849	0.101	15.024	0.618
2022-09-07	16:42	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		164	-0.801	20.031	49296200	1.385	4.121	-5.645	-0.752	-1.551	0	-0.121	26.275	0.974	-0.028	17.222	0.866	-0.535	18.331	0.559
2022-09-06	16:40	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		164	0.559	32.519	44459400	1.29	9.277	-2.575	0.423	-0.184	1.098	0.359	15.817	1.054	-0.09	14.123	0.7	-0.385	23.585	0.518
2022-09-05	18:16	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		164	0.158	-0.885	40074900	1.286	8.466	-2.811	0.132	-0.615	0.788	-0.415	5.329	0.767	-0.811	13.548	0.655	-0.296	17.86	0.508
2022-09-02	16:51	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		164	-0.988	12.147	47115500	1.107	1.828	-3.692	-0.908	-1.702	-0.178	-1.296	21.067	0.91	-0.881	29.234	0.655	-0.679	29.901	0.602
2022-09-01	16:46	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		164	-1.604	30.785	53614400	1.373	4.688	-5.471	-1.663	-2.574	-0.872	-0.827	38.624	0.843	-0.216	26.988	0.711	-0.395	35.98	0.671
2022-08-31	16:51	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		164	-0.051	46.463	60168600	1.209	6.387	-2.614	-0.152	-0.881	0.631	0.477	25.09	0.896	-0.268	35.79	0.771	-0.007	32.269	0.72
2022-08-30	16:32	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		164	1.005	3.718	46578400	1.279	5.601	-2.447	0.95	0.226	1.684	-0.376	30.9	0.966	-0.107	34.784	0.867	0.097	28.941	0.769
2022-08-29	16:50	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		164	-1.758	58.714	54041300	1.824	9.149	-5.641	-1.8	-3	-0.911	-0.663	51.399	1.276	-0.33	37.788	1.063	-0.237	31.767	0.8
2022-08-26	16:40	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		164	0.431	42.57	44345700	1.585	12.029	-3.571	0.239	-0.335	0.834	0.384	27.288	1.111	0.413	27.386	0.935	0.007	25.107	0.614
2022-08-25	16:37	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		164	0.336	12.881	41866000	1.251	8.667	-2.446	0.25	-0.282	0.929	0.404	20.548	1.062	0.047	19.434	0.813	0.042	19.398	0.586
2022-08-24	16:35	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		164	0.473	28.904	42079300	1.559	7.817	-2.99	0.211	-0.422	1.114	-0.098	22.978	0.96	-0.244	23.825	0.806	-0.012	16.799	0.57
2022-08-23	16:36	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		164	-0.669	17.053	40492000	1.358	4.272	-8.206	-0.698	-1.394	0	-0.603	21.286	1.004	-0.2	18.607	0.754	0.047	18.452	0.544
2022-08-22	18:48	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		164	-0.536	25.519	42830400	1.886	12.426	-5.536	-0.488	-1.522	0.235	0.035	19.672	1.125	0.046	12.738	0.779	0.108	14.38	0.603
2022-08-19	16:55	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		164	0.606	13.318	55340600	1.218	3.812	-3.474	0.514	0	1.177	0.337	6.049	0.952	0.48	16.486	0.778	0.339	9.413	0.838
2022-08-18	19:17	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		164	0.069	-0.53	46308500	1.62	6.673	-3.98	-0.22	-0.915	0.622	0.417	18.433	1.045	0.156	10.893	0.92	0.57	17.897	0.944
2022-08-17	17:51	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		164	0.765	37.172	53361500	1.42	7.905	-2.831	0.617	0	1.297	0.2	16.13	1.047	0.341	11.636	1.082	0.425	24.896	0.897
2022-08-16	16:38	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		164	-0.365	-3.238	47913500	1.434	7.018	-8.71	-0.46	-1.018	0.275	0.129	-1.317	1.417	0.672	17.697	1.299	0.043	23.64	0.916
2022-08-15	16:33	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		164	0.623	0.607	54614900	2.587	11.041	-15.981	0.512	-0.151	1.472	1.191	28.337	1.862	0.575	29.735	1.395	0.25	33.741	0.936
2022-08-12	16:33	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		164	1.76	56.066	71050600	2.342	9.606	-11.628	1.81	0.665	2.896	0.551	44.605	1.457	-0.014	40.33	1.147	0.324	44.129	0.832
2022-08-10	19:03	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		164	-0.657	34.095	57732100	2.763	18.349	-13.672	-0.457	-1.875	0.402	-0.902	32.871	1.788	-0.377	37.602	1.391	0.131	44.806	0.916
2022-08-09	16:37	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		164	-1.146	31.646	59161000	2.138	9.583	-9.747	-0.979	-2.094	-0.026	-0.237	39.355	1.697	0.173	43.637	1.234	0.251	41.235	0.866
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2022-08-03	16:25	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		163	-0.076	14.026	46479000	1.491	3.782	-8.051	-0.049	-0.788	0.831	-0.554	20.361	0.88	0.122	25.162	1.101	-0.049	30.791	0.717
2022-08-02	16:36	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		163	-1.031	28.094	50407600	1.575	8.477	-5.235	-1.171	-1.89	-0.396	0.222	31.327	1.628	-0.073	19.272	1.088	0.117	31.821	0.799
2022-08-01	16:36	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		163	1.475	35.39	59500100	2.64	19.196	-5.305	1.282	0.321	2.082	0.406	15.73	1.352	0.288	37.862	0.949	0.448	33.367	0.666
2022-07-29	16:36	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		163	-0.663	-6.205	60753700	1.157	4.111	-3.427	-0.651	-1.473	0	-0.305	38.567	0.776	0.047	32.107	0.803	-0.003	28.829	0.408
2022-07-28	16:34	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		163	0.052	84.124	76767800	1.148	4.193	-4.328	0.109	-0.563	0.545	0.402	51.458	1.081	0.476	46.084	0.697	0.218	36.009	0.444
2022-07-27	16:27	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		163	0.752	18.791	56118500	1.873	5.677	-11.392	0.524	-0.172	1.783	0.688	27.064	1.024	0.199	21.209	0.593	0.379	15.641	0.528
2022-07-26	16:34	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		163	0.625	35.337	48615200	1.388	8.138	-2.738	0.525	-0.116	1.172	-0.077	22.913	0.924	0.096	24.821	0.704	0.634	25.245	0.571
2022-07-25	19:17	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		163	-0.779	9.002	42573200	1.337	2.685	-4.542	-0.793	-1.664	0	-0.169	19.023	0.844	0.173	8.556	0.713	0.688	23.641	0.566
2022-07-22	16:30	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		163	0.441	29.717	49342600	1.116	6.346	-4.643	0.343	-0.13	0.997	0.65	8.389	0.924	1.107	27.414	0.831	0.81	28.069	0.629
2022-07-21	16:30	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		163	0.859	-12.143	53813000	1.241	6.002	-1.993	0.77	0.102	1.426	1.44	26.507	0.919	1.259	26.705	0.813	0.939	30.009	0.68
2022-07-20	18:43	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		163	2.022	65.156	62027700	1.444	5.397	-1.372	2.124	1.144	2.919	1.46	46.128	1.095	0.916	41.01	0.854	0.813	28.603	0.635
2022-07-19	22:26	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		163	0.897	27.1	48496200	1.443	4.332	-4.959	1.042	0.27	1.628	0.363	28.936	0.969	0.605	32.398	0.813	-0.056	16.507	0.523
2022-07-15	15:00	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		162	-0.168	31.003	52046500	2.081	13.485	-4.097	-0.34	-1.044	0.172	0.462	34.553	1.237	0.382	16.593	0.804	-0.077	9.906	0.67
2022-07-14	15:00	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		162	1.091	38.783	50000600	1.513	10	-2.885	0.833	0.179	1.838	0.658	10.433	0.84	-0.335	7.806	0.699	0.135	15.125	0.51
2022-07-13	22:35	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		162	0.224	-19.904	41721000	1.124	3.53	-4.122	0.374	-0.44	0.904	-1.048	-7.872	1.004	-0.436	-6.71	0.872	0.104	9.099	0.491
2022-07-12	21:57	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		162	-2.321	5.149	56459400	1.781	5.779	-9.038	-2.343	-3.225	-1.361	-0.766	-0.074	1.25	-0.213	18.62	0.752	-0.155	18.61	0.53
2022-07-11	20:48	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		162	0.789	-5.297	55210800	1.509	6.595	-5.611	0.816	-0.09	1.543	0.841	25.355	0.911	0.873	20.198	0.745	0.399	19.804	0.52
2022-07-08	16:35	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		162	0.894	56.008	73299900	1.426	8.269	-3.42	0.826	0	1.607	0.914	32.501	1.041	0.252	30.873	0.714	0.353	18.523	0.637
2022-07-07	16:35	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		162	0.935	8.533	61014500	1.244	6.873	-3.602	0.99	0.026	1.766	-0.069	17.856	0.895	0.103	15.739	0.74	-0.144	13.357	0.746
2022-07-06	16:31	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		162	-1.073	28.518	63508100	1.552	3.101	-5.622	-1.115	-2.049	0	-0.312	19.76	1.001	-0.022	9.814	0.939	-0.701	17.811	0.891
2022-07-05	16:38	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		162	0.448	11.001	51566400	1.124	3.801	-2.536	0.406	-0.204	1.026	0.503	0.204	1.156	-0.193	10.631	1.098	-0.662	22.97	0.888
2022-07-04	16:33	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		162	0.558	-11.954	57402000	1.979	13.173	-5.25	0.492	-0.229	1.25	-0.514	8.543	1.555	-0.961	16.095	1.283	-0.606	22.706	0.939
2022-07-01	16:37	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		162	-1.587	30.147	76127700	2.334	12.15	-8.788	-1.386	-2.894	-0.254	-1.72	27.217	1.64	-1.439	35.611	1.282	-0.431	26.941	0.827
2022-06-30	16:28	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		162	-1.854	25.773	69632700	1.922	5.448	-11.438	-1.766	-2.694	-0.834	-1.364	38.41	1.394	-0.666	30.88	1.072	0.14	24.209	0.756
2022-06-29	16:34	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		162	-0.875	51.829	68378000	1.79	5.077	-6.927	-1.043	-1.914	0.124	-0.073	33.739	1.299	0.429	27.106	1.017	0.465	27.933	0.732
2022-06-28	16:35	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		162	0.73	15.649	51332600	1.571	7.078	-5.631	0.563	-0.207	1.389	1.08	15.214	1.157	1.143	14.959	1.055	0.392	23.512	0.63
2022-06-27	16:35	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		162	1.431	15.492	55172600	1.444	7.692	-2.83	1.312	0.541	2.223	1.35	14.826	1.385	0.824	22.415	1.027	0.788	16.576	0.736
2022-06-24	16:34	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		162	1.269	14.16	58898500	1.935	10.594	-2.775	0.956	0.197	2.129	0.52	26.185	1.351	-0.066	28.297	0.944	0.033	12.567	0.778
2022-06-23	16:35	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		162	-0.228	37.75	54130600	1.69	11.403	-5.228	-0.393	-0.943	0.324	-0.734	35.038	1.174	0.413	17.782	1.005	-0.708	31.007	0.872
2022-06-22	16:35	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		162	-1.239	33.176	52918800	1.576	6.444	-6.078	-1.205	-2.168	-0.273	0.734	7.76	1.041	-0.292	2.362	0.937	-0.589	20.83	0.812
2022-06-21	16:37	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		162	2.707	-17.657	56462800	1.986	13.988	-2.502	2.61	1.328	3.72	0.182	-12.902	1.147	-0.69	25.668	0.972	-0.599	21.975	0.756
2022-06-20	16:33	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		162	-2.343	-7.938	62891200	2.005	3.628	-8.837	-2.332	-3.475	-1.066	-2.389	47.119	1.591	-1.471	29.538	1.244	-1.217	25.443	0.876
2022-06-17	16:30	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		162	-2.434	104.11	87770100	2.017	4.945	-8.195	-2.38	-3.38	-1.171	-1.035	48.66	1.311	-1.119	43.809	1.074	-1.209	28.845	0.881
2022-06-16	16:37	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		162	0.363	-5.521	52757200	1.732	5.878	-6.982	0.272	-0.419	1.121	-0.461	13.96	1.225	-0.435	10.122	0.898	-1.088	15.017	0.828
2022-06-15	16:30	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		162	-1.286	33.441	50802700	1.834	5.544	-11.474	-1.184	-1.933	-0.436	-0.834	18.235	1.18	-1.325	15.996	1.128	-1.257	18.485	0.917
2022-06-14	16:35	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		162	-0.383	3.853	62479900	1.625	4.869	-7.416	-0.328	-1.156	0.322	-1.345	7.677	1.453	-1.507	15.791	1.143	-0.768	16.342	0.905
2022-06-13	16:37	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		162	-2.307	11.502	58881300	2.391	9.214	-11.364	-1.97	-3.388	-1.054	-2.068	21.76	1.528	-1.539	18.553	1.332	-0.551	21.726	0.956
2022-06-10	16:34	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		162	-1.83	32.019	63104600	1.471	1.702	-7.318	-1.817	-2.796	-0.903	-1.155	22.511	1.334	-0.384	22.584	1.048	0.02	20.772	0.877
2022-06-09	16:36	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		162	-0.479	11.931	58147500	2.017	10.026	-6.595	-0.504	-1.418	0.31	0.339	17.98	1.337	0.46	21.778	1.079	0.489	22.661	0.858
2022-06-08	16:32	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		162	1.158	22.079	59566200	1.666	10.552	-3.306	0.908	0.207	1.864	0.93	26	1.12	0.802	18.748	1.049	0.609	31.752	0.908
2022-06-07	19:57	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		162	0.702	30.674	54738400	1.721	8.999	-4.394	0.793	-0.312	1.498	0.625	17.657	1.338	0.588	26.055	1.049	0.633	31.042	1.136
2022-06-06	21:01	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		162	0.547	5.145	48767600	1.725	10.412	-3.264	0.328	-0.428	1.057	0.531	23.745	1.235	0.395	35.671	1.239	0.508	24.879	1.11
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2022-06-02	17:14	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		162	0.121	58.522	50194700	2.148	16.176	-5.8	-0.117	-0.829	0.728	0.699	37.064	1.862	0.492	24.615	1.545	0.979	43.087	1.114
2022-06-01	17:03	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		162	1.277	15.605	60305900	2.228	20.013	-4.69	1.2	0.234	2.132	0.677	7.661	1.597	1.099	38.764	1.267	0.959	32.257	0.904
2022-05-31	22:22	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		162	0.078	-0.284	92347700	2.096	15.171	-5.687	-0.066	-1.017	0.752	1.01	49.294	1.548	1.166	46.605	1.278	0.614	32.284	0.842
2022-05-30	16:36	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		162	1.942	99.982	96739000	2.231	9.577	-9.297	2.141	0.838	3.037	1.71	70.108	1.507	1.147	48.251	1.109	0.319	38.173	0.764
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2022-05-24	16:24	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		162	-1.398	27.801	51148300	1.655	7.385	-5.93	-1.373	-2.286	-0.452	-0.404	21.405	1.063	0.022	15.813	0.939	0.098	16.919	0.805
2022-05-23	16:25	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		162	0.591	16.517	48153100	1.707	7.925	-4.589	0.383	-0.482	1.624	0.732	10.493	1.252	0.304	6.827	1.077	0.573	8.218	0.807
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2022-05-17	16:22	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		162	0.977	-16.156	62985000	2.605	20.433	-6.852	0.663	-0.218	1.781	0.537	24.554	2.772	1.177	33.629	2.348	0.448	28.849	1.464
2022-05-16	16:29	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		162	0.097	65.264	67203500	4.537	20.202	-17.9	-0.162	-1.595	1.373	1.277	61.936	3.047	0.395	55.645	2.103	0.123	42.413	1.287
2022-05-13	19:44	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		162	2.458	43.631	75654400	3.481	17.462	-10.707	2.472	0.904	4.056	0.544	46.427	2.071	0.389	30.049	1.379	-0.215	36.207	0.867
2022-05-12	16:25	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		162	-1.37	51.882	65668900	2.618	7.159	-14.774	-1.146	-2.593	0	-0.646	24.176	1.337	-0.646	33.064	1.018	-0.519	29.435	0.856
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2022-05-10	16:32	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		162	-0.645	50.841	63793200	1.494	6.816	-4.555	-0.668	-1.605	0.187	-1.12	45.118	1.029	-0.449	35.788	1.03	0.11	20.836	1.105
2022-05-09	21:21	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		162	-1.594	33.74	49680700	1.614	3.343	-6.581	-1.73	-2.48	-0.607	-0.362	22.612	1.311	-0.311	22.678	1.474	0.145	32.288	1.126
2022-05-06	18:58	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		159	0.847	11.695	59532100	2.039	9.494	-6.844	0.87	-0.12	1.918	0.317	16.557	1.941	0.92	2.72	1.552	0.535	27.623	1.024
2022-05-02	19:37	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		159	-0.213	19.526	60909300	2.792	15.582	-9.845	-0.218	-1.247	0.685	0.956	-2.443	1.8	0.503	37.281	1.324	-0.008	31.57	0.834
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2022-04-27	20:07	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		159	-0.403	118.387	72384600	2.31	15.453	-5.663	-0.653	-1.644	0.37	-0.043	64.48	1.34	-0.65	53.412	0.966	-0.348	34.64	0.658
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2022-04-20	22:28	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		159	-0.403	42.839	53068600	1.671	4.363	-6.81	0	-1.266	0.722	0.621	27.785	0.827	0.235	30.486	0.676	-0.051	21.297	0.656
2022-04-19	22:39	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		159	1.644	13.63	44623000	1.612	7.508	-1.932	1.479	0.569	2.487	0.554	24.763	1.197	-0.098	25.152	0.8	0.474	16.002	0.654
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2022-04-15	16:26	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		159	-1.403	26.991		1.668	6.486	-8.258	-1.308	-2.36	-0.462	-0.48	6.904	1.408	0.421	10.107	0.867	-0.223	19.406	0.636
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2022-04-13	16:21	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		159	2.223	16.402		2.061	9.139	-5.559	1.863	1.07	3.09	0.436	21.134	1.501	-0.051	27.41	1.021	-0.522	18.756	0.682
2022-04-12	16:23	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		159	-1.351	26.598		2.156	12.306	-6.316	-1.469	-2.449	-0.471	-1.189	29.455	1.285	-0.739	18.635	0.927	-1.391	46.097	0.831
2022-04-11	16:26	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		159	-1.026	33.083		1.715	4.209	-5.69	-0.82	-2.098	0.154	-0.433	15.604	0.973	-1.16	15.674	0.955	-1.049	45.012	0.713
2022-04-08	16:29	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		159	0.16	-6.306		1.365	7.547	-2.649	0	-0.608	0.859	-1.227	6.011	1.123	-1.526	56.128	1.032	-0.825	43.521	0.769
2022-04-07	16:29	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		159	-2.615	18.922		1.757	2.684	-7.912	-2.543	-3.497	-1.651	-2.369	87.627	1.344	-1.46	66.717	0.91	-1.035	51.595	0.933
2022-04-06	16:31	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		159	-2.123	156.333		1.739	7.786	-6.825	-2.14	-3.112	-1.175	-0.883	90.615	1.05	-0.556	68.374	1.001	-0.612	48.854	0.879
2022-04-05	16:28	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		159	0.357	24.897		1.636	12.156	-3.956	0.225	-0.546	1.062	0.227	24.471	1.302	-0.146	28.228	1.106	-0.166	21.538	0.943
2022-04-04	16:30	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		159	0.096	23.974		2.239	16.556	-8.692	0	-0.694	0.847	-0.398	30.592	1.623	-0.432	21.871	1.217	-0.065	26.59	0.992
2022-04-01	16:23	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		159	-0.893	37.328		2.389	20.542	-7.427	-0.799	-2.024	0.048	-0.695	20.82	1.415	-0.427	19.981	1.279	-0.287	22.073	0.805
2022-03-31	16:26	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		159	-0.498	5.842		1.939	11.111	-12.183	-0.669	-1.343	0.312	-0.195	11.728	1.725	0.17	23.388	1.356	-0.038	17.166	0.772
2022-03-30	16:29	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		159	0.108	18.279		2.709	12.75	-5.213	-0.285	-1.403	0.734	0.512	31.835	1.752	-0.012	20.905	0.98	0.192	17.915	0.729
2022-03-29	16:25	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		160	0.937	44.47		1.492	6.882	-4.381	0.876	0.139	1.7	-0.065	21.158	0.89	0.069	20.029	0.701	0.593	16.182	0.654
2022-03-28	16:25	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		161	-1.061	-4.187		1.666	5.569	-6.958	-0.953	-1.706	0	-0.362	7.469	0.964	-0.025	8.358	0.755	0.433	7.874	0.666
2022-03-25	16:22	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		161	0.337	19.126		1.193	3.578	-3.797	0.239	-0.402	1.09	0.492	14.928	0.974	1.032	13.354	0.984	0.88	15.571	0.777
2022-03-24	16:28	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		161	0.647	11.471		1.524	6.758	-3.741	0.583	-0.217	1.331	1.379	10.838	1.274	0.962	8.588	0.977	1.403	18.421	0.948
2022-03-23	16:31	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		161	2.11	10.893		1.912	10.168	-2.664	1.966	0.819	3.178	1.12	7.147	1.177	1.139	15.55	0.985	1.525	23.264	1.06
2022-03-22	16:32	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		161	0.129	4.09		1.846	5.537	-12.556	0.124	-0.642	1.117	0.653	16.205	1.155	1.419	22.793	1.066	1.262	22.756	0.836
2022-03-18	16:27	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		161	1.176	28.32		1.925	10.151	-2.818	0.951	0.05	1.781	2.064	32.145	1.67	1.794	33.196	1.489	1.468	23.693	0.974
2022-03-17	16:29	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		161	2.951	35.971		2.494	11.559	-2.917	2.457	1.271	4.48	2.103	35.634	1.807	1.667	27.124	1.24	0.883	19.997	0.718
2022-03-16	16:28	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		161	1.256	35.298		2.271	9.859	-3.073	0.917	-0.233	2.121	1.026	22.7	1.25	1.071	18.058	1.021	1.179	14.491	0.845
2022-03-15	16:28	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		161	0.795	10.102		1.742	7.765	-5.223	0.824	-0.083	1.676	0.979	9.437	1.478	0.07	9.573	1.247	1.005	5.749	0.908
2022-03-14	16:33	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		161	1.162	8.773		2.397	17.636	-8.221	0.933	0.084	2.025	-0.293	9.308	1.714	1.282	8.903	1.325	0.418	3.642	0.839
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2022-03-10	16:24	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		161	4.432	8.064		2.047	12.03	-2.139	4.449	3.419	5.654	2.407	0.785	1.314	0.892	-0.248	1.015	-0.734	22.209	0.655
2022-03-09	16:23	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		161	0.382	-10.163		1.776	7.602	-4.09	0.327	-0.593	1.415	-0.878	-5.258	1.414	-1.877	8.897	1.128	-1.517	21.392	0.849
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2022-03-07	16:24	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		161	-3.877	37.463		2.278	2.41	-14.804	-3.935	-5.303	-2.232	-3.174	55.52	1.77	-1.944	38.696	1.272	-1.294	23.379	0.861
2022-03-04	16:26	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		161	-2.472	73.577		1.823	1.962	-7.541	-2.37	-3.816	-1.2	-0.977	39.313	1.152	-1.234	28.381	0.997	-0.238	18.148	0.761
2022-03-03	16:28	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		161	0.517	5.049		1.578	7.626	-6.513	0.323	-0.357	1.269	-0.615	6.322	1.209	-0.04	2.596	0.992	0.857	1.779	1.144
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2022-03-01	16:23	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		161	1.109	-4.261		2.124	10.973	-2.728	0.61	-0.202	2.013	1.255	3.44	1.374	1.838	-1.25	1.781	0.342	16.196	0.714
2022-02-28	16:26	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		161	1.402	11.142		1.774	10.976	-3.081	1.35	0.392	2.264	2.202	0.553	2.007	0.904	16.04	0.921	-0.136	18.758	0.689
2022-02-25	16:26	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		161	3.002	-9.346		3.553	12.532	-18.424	2.523	0.679	5.14	0.655	18.834	1.198	-0.266	25.128	0.845	-0.506	20.723	0.679
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2022-02-22	16:25	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		161	-2.109	38.577		1.777	6.588	-9.387	-2.146	-3.147	-0.905	-1.696	23.603	1.473	-1.281	22.744	1.036	-0.522	12.424	0.725
2022-02-21	16:25	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		161	-1.283	8.628		1.979	4.354	-14.517	-0.882	-2.003	-0.157	-0.867	14.828	1.212	-0.867	10.842	1.046	-0.28	6.681	0.944
2022-02-18	16:27	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		161	-0.45	21.028		2.516	23.933	-6.69	-0.692	-1.538	0.049	-0.659	12.177	1.48	0.261	4.989	1.068	-0.509	16.492	1.124
2022-02-17	16:24	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		161	-0.867	4.416		1.564	3.821	-6.239	-0.826	-1.565	0.036	0.617	-3.043	1.236	0.11	1.241	1.325	-0.233	18.896	1.246
2022-02-16	16:24	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		161	2.101	-9.853		1.98	8.794	-5.101	2.112	0.733	3.291	0.599	0.236	1.643	-0.409	19.587	1.524	0.376	25.009	1.177
2022-02-15	16:29	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		161	-0.903	9.764		2.732	10.57	-15.428	-0.498	-1.795	0.249	-1.664	33.897	2.316	-0.8	33.248	1.905	-0.175	28.562	1.192
2022-02-14	16:28	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		161	-2.425	58.03		3.576	18.762	-19.685	-2.482	-3.7	-1.186	-0.748	44.99	2.524	0.227	41.608	1.756	-0.169	33.385	1.179
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2022-02-08	16:21	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		161	-0.655	9.569		1.858	5.419	-10.714	-0.447	-1.351	0.274	-0.764	23.061	1.459	-0.358	25.574	1.086	-0.061	14.55	0.887
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2022-02-03	16:20	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		160	-1.573	5.724		1.977	5.122	-6.41	-1.789	-2.912	-0.22	0.379	-1.332	1.192	0.224	10.898	1.19	0.971	2.4	0.77
2022-02-02	16:29	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		160	2.332	-7.728		1.568	6.627	-3.02	2.352	1.419	3.274	1.123	13.805	1.551	1.583	9.306	1.384	0.524	23.959	0.746
2022-02-01	16:24	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		160	-0.086	35.338		2.859	11.343	-12.079	0.152	-0.891	1.12	1.209	17.823	1.961	1.365	4.607	1.263	0.128	22.26	0.856
2022-01-31	16:21	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		160	2.504	0.308		2.338	13.079	-1.961	2.078	0.886	4.14	2.09	-10.759	1.315	0.124	30.728	0.852	-0.386	28.102	0.642
2022-01-28	16:30	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		160	1.676	-21.826		1.972	8.952	-3.421	1.692	0.511	2.973	-1.066	45.938	1.483	-0.593	25.218	1.047	-0.688	25.296	0.854
2022-01-27	16:28	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		160	-3.807	113.702		2.188	2.345	-9.726	-3.61	-5.234	-2.266	-1.727	48.74	1.246	-2.037	53.913	1.125	-1.329	33.111	0.97
2022-01-26	16:30	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		160	0.352	-16.221		1.79	6.649	-5.249	0.194	-0.666	1.04	-1.152	24.097	1.039	-0.436	11.352	0.867	-0.456	7.647	0.783
2022-01-25	16:25	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		160	-2.655	64.191		1.908	4.231	-8.923	-2.322	-3.894	-1.494	-0.83	24.827	1.24	-1.063	22.717	1.217	-1.303	23.409	1.044
2022-01-24	16:25	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		160	0.995	-13.511		1.571	7.801	-4.168	0.872	0.184	1.806	-0.266	1.868	1.208	0.008	-3.32	1	-0.935	19.885	0.82
2022-01-21	16:26	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		160	-1.528	17.247		1.967	5.255	-8.492	-1.2	-2.804	-0.23	-0.486	2.401	1.246	-1.618	22.326	1.215	-1.295	19.989	0.86
2022-01-20	16:23	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		160	0.556	-14.411		1.516	7.157	-5.775	0.499	-0.198	1.36	-1.663	24.24	1.193	-1.38	31.34	0.895	-1.218	24.989	0.739
2022-01-19	16:28	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		160	-3.881	63.425		2.033	0.403	-8.529	-3.829	-5.197	-2.483	-2.348	54.483	1.236	-1.834	31.993	1.066	-1.376	30.204	0.748
2022-01-18	16:22	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		160	-0.815	46.456		1.608	10.452	-5.22	-0.963	-1.778	-0.026	-0.81	16.277	1.146	-0.921	25.483	0.928	-0.175	22.554	0.663
2022-01-17	16:26	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		160	-0.805	-12.988		1.941	3.231	-12.744	-0.485	-1.629	0.347	-0.974	15.428	1.355	-0.727	13.971	1.06	-0.241	12.116	0.767
2022-01-14	16:32	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		160	-1.143	43.844		2.232	12.987	-14.925	-1.3	-2.056	-0.162	-0.689	27.45	1.507	0.248	26.275	1.206	-0.233	16.403	0.863
2022-01-13	16:28	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		160	-0.235	11.057		2.078	9.5	-6.295	-0.35	-1.209	0.684	0.943	17.49	1.493	0.248	9.908	1.112	-0.483	12.283	0.871
2022-01-12	16:23	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		160	2.121	23.923		1.856	9.286	-4.54	1.993	0.879	3.034	0.49	9.334	1.073	0.071	9.412	0.931	-0.522	11.036	0.845
2022-01-11	16:28	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		160	-1.142	-5.255		1.918	4.128	-8.305	-1.008	-2.156	0.018	-0.954	0.921	1.498	-1.433	8.361	1.268	-0.655	17.764	0.95
2022-01-07	16:26	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		160	-0.766	7.714		1.865	4.222	-10.056	-0.576	-1.714	0.193	-1.579	15.154	1.365	-1.196	11.76	1.262	-0.281	23.531	0.918
2022-01-06	16:30	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		160	-2.392	23.268		2.071	7.186	-8.688	-2.171	-3.415	-1.267	-1.411	14.09	1.646	-0.457	28.921	1.202	-0.066	19.365	1.041
2022-01-05	16:30	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		160	-0.429	4.912		2.305	10.227	-7.342	-0.304	-1.806	0.553	0.511	31.747	1.416	0.584	28.916	1.229	0.692	20.699	0.867
2022-01-04	16:31	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		160	1.452	58.582		2.169	15.446	-2.749	1.162	0.202	2.178	1.09	40.918	1.732	0.83	22.881	1.424	0.728	42.844	0.896
2021-12-30	17:17	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		160	0.729	23.254		2.38	20.601	-2.99	0.385	-0.46	1.406	0.519	5.031	1.731	0.812	13.334	1.2	0.688	36.711	0.995
2021-12-29	22:07	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		160	0.309	-13.192		2.199	9.455	-6.959	0.148	-0.92	1.128	0.853	8.374	1.234	0.486	44.128	1.021	0.838	34.332	0.932
2021-12-28	22:58	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		160	1.398	29.94		1.68	7.671	-4.199	1.432	0.349	2.173	0.574	72.789	1.406	0.801	57.831	1.398	0.902	35.446	1.027
2021-12-27	22:32	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		160	-0.249	115.637		2.075	15.222	-5.602	-0.472	-1.217	0.33	0.503	71.776	1.87	0.827	51.674	1.468	0.887	28.123	1.055
2021-12-24	15:55	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		160	1.255	27.915		2.304	16.892	-2.687	0.787	0	2.005	1.365	19.646	1.621	1.121	10.616	1.264	0.309	8.347	0.852
2021-12-23	16:02	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		160	1.475	11.322		1.704	9.091	-2.018	1.26	0.353	2.274	1.054	2.442	1.199	1.143	-0.866	1.037	-0.273	10.301	0.627
2021-12-22	20:12	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		160	0.633	-8.294		1.479	6.109	-2.353	0.354	-0.294	1.168	0.977	-7.59	1.096	-0.395	0.702	0.906	-0.215	23.866	0.725
2021-12-21	22:05	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		160	1.321	-6.312		1.6	10.296	-2.14	1.176	0.186	2.229	-0.909	5.239	1.119	-1.158	16.079	0.861	-0.26	27.021	0.698
2021-12-20	17:42	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		160	-3.139	16.739		1.722	0.909	-10.734	-3.164	-4.371	-1.959	-2.397	27.079	1.251	-1.01	44.612	0.977	-0.733	33.684	0.718
2021-12-17	16:22	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		160	-1.656	38.148		1.821	7.602	-6.226	-1.599	-2.837	-0.488	0.055	58.757	1.317	0.173	41.594	0.98	-0.031	29.747	0.84
2021-12-16	17:21	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		160	1.765	79.365		2.214	11.248	-12.876	1.53	0.605	2.592	1.088	43.473	1.285	0.377	38.053	0.853	0.123	36.537	0.827
2021-12-15	22:12	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		160	0.41	7.628		1.93	11.182	-4.762	0.294	-0.5	1.354	-0.317	17.241	1.156	-0.088	10.368	1.065	-0.352	19.103	0.842
2021-12-14	16:52	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		160	-1.044	27.527		1.58	3.467	-5.929	-0.718	-2.156	0.074	-0.337	12.036	1.423	-0.519	31.848	1.278	-0.219	19.839	0.865
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2021-12-03	16:04	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		157	1.514	-6.934		1.868	5.6	-7.875	1.634	0.532	2.551	0.112	1.011	1.326	0.316	-3.968	1.089	-0.295	9.769	0.863
2021-12-02	16:22	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		157	-1.29	8.957		2.029	4.672	-7.473	-1.305	-2.577	0	-0.283	-2.485	1.432	-0.187	9.685	1.153	-0.983	25.438	0.859
2021-12-01	20:08	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		157	0.725	-13.926		2.066	16.114	-5.716	0.702	-0.285	1.624	0.364	9.975	1.491	-0.566	15.53	1.306	-0.777	24.486	0.859
2021-11-30	16:26	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		157	0.004	34.551		2.02	6.809	-11.551	0.067	-1.127	1.056	-1.211	30.212	1.742	-1.449	43.907	1.146	-1.306	32.429	0.817
2021-11-29	16:30	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		157	-2.426	26.729		2.383	4.701	-14.209	-2.384	-3.625	-1.054	-2.176	49.014	1.311	-1.538	34.18	1.112	-1.186	26.507	0.752
2021-11-26	16:28	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		157	-1.925	72.396		1.899	13.367	-7.899	-1.969	-2.871	-1.073	-1.094	37.906	1.345	-1.369	33.896	1.195	-0.525	26.093	0.876
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2021-11-19	16:21	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		157	0.877	25.195		2.256	9.718	-7.544	0.719	-0.327	1.94	0.327	16.699	1.599	0.251	18.231	1.412	0.432	17.431	1.397
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2021-11-16	16:27	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		157	0.589	10.473		2.648	10.725	-6.579	0	-0.912	1.526	0.703	17.171	2.337	1.035	30.455	2.09	0.698	31.343	1.555
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2021-11-12	16:27	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		157	1.699	57.023		3.53	20.604	-17.606	1.632	0.286	2.563	0.871	44.212	2.306	0.694	40.791	1.874	0.171	33.547	1.271
2021-11-11	16:22	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		157	0.042	31.401		3.003	8.114	-15.07	0.145	-0.878	1.274	0.191	32.676	2.269	-0.21	27.177	1.596	-0.408	21.1	1.159
2021-11-10	20:44	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		157	0.341	33.95		3.51	29.24	-7.432	-0.173	-1.068	0.842	-0.336	25.064	1.903	-0.295	26.438	1.502	-0.048	26.734	1.063
2021-11-09	16:19	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		157	-1.013	16.178		1.737	3.647	-9.001	-1.073	-2.062	-0.094	-0.613	22.681	1.476	-0.806	13.624	1.194	-0.237	22.974	0.908
2021-11-08	16:22	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		152	-0.192	30.037		2.68	16.164	-7.713	-0.511	-1.443	0.722	-0.704	12.396	1.619	0.142	29.065	1.264	0.351	27.537	1.028
2021-11-05	16:24	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		152	-1.209	-6.011		1.919	2.764	-10.198	-1.046	-1.884	0	0.323	27.818	1.315	-0.001	23.67	1.069	0.372	20.996	0.846
2021-11-04	16:22	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		152	1.855	61.647		2.334	11.94	-7.443	1.666	0.367	2.923	0.604	38.154	1.425	1.073	36.473	1.306	0.694	42.11	0.943
2021-11-02	16:22	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		152	-0.647	14.426		1.61	5.332	-5.57	-0.524	-1.546	0.199	0.682	23.713	1.535	0.405	15.693	1.05	0.245	32.605	0.955
2021-11-01	16:23	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		152	2.01	32.999		2.603	19.062	-10.714	1.96	0.898	2.911	0.931	16.703	1.386	0.755	44.711	1.227	0.629	49.843	0.941
2021-10-29	23:59	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		152	-0.149	1.282		1.177	2.631	-4.545	0	-0.807	0.652	0.127	50.347	1.201	-0.046	38.488	1.115	0.242	43.21	0.836
2021-10-28	16:27	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		152	0.403	99.411		2.087	8.221	-10.075	0.202	-0.587	1.44	0.005	57.091	1.586	0.428	71.425	1.246	0.474	47.871	1
2021-10-27	16:23	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		152	-0.393	14.771		2.391	14.858	-10	-0.592	-1.237	0.287	0.44	57.432	1.525	0.318	38.452	1.233	0.007	35.4	0.86
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2021-10-25	16:23	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		152	0.073	0.492		2.01	10.511	-6.653	-0.124	-0.772	0.737	0.543	12.539	1.366	-0.282	20.463	0.905	-0.075	21.502	0.755
2021-10-22	16:25	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		152	1.012	24.587		1.982	14.746	-3.484	0.544	-0.161	1.966	-0.46	30.265	1.077	-0.554	32.217	1.055	0.092	22.504	0.813
2021-10-21	16:23	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		152	-1.931	36.613		1.759	6.369	-8.318	-1.836	-2.85	-0.858	-1.337	35.751	1.364	-0.487	27.066	0.909	0.646	35.047	0.823
2021-10-20	16:25	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		152	-0.743	36.686		1.886	12.332	-5.991	-0.573	-1.816	0	0.235	23.012	1.22	0.459	17.394	1.083	1.258	32.191	1.178
2021-10-19	16:25	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		152	1.213	10.061		1.962	11.673	-2.51	0.904	-0.008	2.067	1.06	7.748	1.413	1.967	33.958	1.481	1.154	29.876	0.993
2021-10-18	16:27	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		152	0.908	6.159		2.104	11.368	-5.928	0.772	-0.274	1.833	2.344	46.269	1.762	1.939	38.31	1.601	0.783	29.195	1.029
2021-10-15	16:08	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		152	3.781	87.612		2.843	19.369	-1.816	3.131	1.993	4.844	2.455	54.386	2.126	1.217	45.037	1.277	0.826	30.027	0.945
2021-10-14	16:07	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		152	1.129	22.393		2.52	20.134	-2.379	0.827	-0.314	1.843	-0.066	22.502	1.312	-0.257	16.979	1.208	0.337	16.775	0.892
2021-10-13	16:04	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		152	-1.26	23.246		1.633	3.26	-7.314	-1.266	-2.083	-0.25	-0.95	14.025	1.149	-0.26	13.028	1.005	0.164	8.526	0.715
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2021-09-14	16:01	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		152	1.132	28.807		2.217	15.152	-5.428	0.95	0.174	1.797	1.072	16.231	1.993	1.374	47.124	1.465	1.014	41.921	1.012
2021-09-13	16:36	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		152	1.012	3.655		2.676	17.857	-12.429	0.935	0	1.667	1.495	56.283	1.593	0.881	54.463	1.268	0.77	38.127	0.845
2021-09-10	15:58	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		152	1.979	108.911		2.225	15.875	-3.048	1.618	0.723	2.642	0.816	79.868	1.528	0.976	59.048	1.17	0.899	45.836	0.843
2021-09-09	16:00	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		152	-0.347	50.825		1.721	7.645	-5.571	-0.466	-1.176	0.304	0.474	34.117	1.208	0.286	26.022	1.02	0.818	57.775	0.798
2021-09-08	15:55	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		152	1.296	17.408		1.81	8.939	-4.093	1.204	0.236	2.037	0.603	13.621	1.315	0.955	23.147	1.052	0.873	48.23	0.927
2021-09-07	15:53	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		152	-0.09	9.834		1.85	5.076	-9.158	0	-1.117	0.959	0.785	26.017	1.181	1.047	73.547	1.061	0.756	49.462	0.812
2021-09-06	23:08	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		152	1.659	42.199		1.969	9.258	-3.552	1.28	0.535	2.436	1.615	105.403	1.408	1.053	71.303	1.153	0.972	52.051	0.88
2021-09-03	15:53	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		152	1.572	168.607		1.756	10.537	-3.385	1.547	0.514	2.33	0.75	85.855	1.252	0.737	65.093	0.959	0.997	54.59	0.819
2021-09-02	16:01	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		152	-0.073	3.103		1.726	6.195	-5.398	-0.186	-0.975	0.978	0.32	13.335	1.19	0.543	16.482	0.972	0.657	23.097	0.753
2021-09-01	15:54	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		152	0.713	23.568		1.776	10.363	-6.15	0.534	-0.301	1.355	0.851	23.171	1.172	1.162	33.205	1.091	0.832	26.33	0.917
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2021-08-30	15:58	r2_半導体製造装置	半導体製造装置		152	1.785	52.558		1.717	8.819	-2.7	1.598	0.759	2.617	0.829	33.631	1.051	0.819	28.908	1.08	0.876	18.561	0.841
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2021-08-20		r2_半導体製造装置	半導体製造装置		152	-2.037	37.602		2.097	3.072	-12.069	-1.753	-3.065	-0.675	-2.113	23.989	1.477	-1.166	19.468	1.094	-1.279	26.005	0.915
2021-08-19		r2_半導体製造装置	半導体製造装置		152	-2.189	11.282		1.846	6.614	-7.867	-2.19	-3.189	-1.141	-0.731	10.854	1.387	-0.91	16.995	1.034	-1.01	21.199	1.006
2021-08-18		r2_半導体製造装置	半導体製造装置		152	0.728	11.157		2.058	11.014	-5.36	0.471	-0.48	1.655	-0.27	19.7	1.097	-0.723	27.15	1.325	-0.591	23.041	1.123
2021-08-17		r2_半導体製造装置	半導体製造装置		152	-1.268	29.332		1.901	3.294	-8.998	-0.93	-2.128	-0.068	-1.448	35.115	1.874	-1.197	27.487	1.572	-0.786	27.88	1.27
2021-08-16		r2_半導体製造装置	半導体製造装置		152	-1.628	41.748		3.295	21.246	-10.667	-1.869	-3.042	-0.847	-1.161	26.989	2.092	-0.805	25.065	1.78	-0.268	41.411	1.319
2021-08-13		r2_半導体製造装置	半導体製造装置		152	-0.694	12.974		2.289	5.417	-13.569	-0.538	-1.576	0.308	-0.393	16.724	1.988	-0.345	22.655	1.606	0.047	46.297	1.415
2021-08-12		r2_半導体製造装置	半導体製造装置		152	-0.092	21.217		2.998	16.529	-16.054	0	-1.203	0.824	-0.17	26.057	1.988	0.327	50.571	1.672	0.136	50.573	1.225
2021-08-11		r2_半導体製造装置	半導体製造装置		152	-0.248	30.898		2.296	6.952	-10.21	0	-1.588	1.18	0.537	64.328	1.789	0.32	64.393	1.67	-0.035	49.355	1.064
2021-08-10		r2_半導体製造装置	半導体製造装置		152	1.322	99.395		3.273	19.763	-4.496	0.69	-0.418	2.257	0.572	81.198	2.283	0.317	68.122	1.598	0.045	43.607	1.045
2021-08-06		r2_半導体製造装置	半導体製造装置		152	-0.181	62.814		3.25	19.962	-18.138	-0.052	-1.286	0.596	-0.167	50.662	1.882	-0.423	38.268	1.328	0.174	27.772	1.034
2021-08-05		r2_半導体製造装置	半導体製造装置		152	-0.152	38.517		2.053	5.133	-9.961	-0.202	-0.919	1.087	-0.544	25.769	1.267	-0.275	15.484	0.993	-0.034	35.467	0.996
2021-08-04		r2_半導体製造装置	半導体製造装置		152	-0.935	13.931		1.516	5.491	-6.065	-0.778	-1.795	-0.133	-0.336	4.368	1.094	0.401	13.006	1.218	0.248	30.406	1.027
2021-08-03		r2_半導体製造装置	半導体製造装置		152	0.264	-5.196		1.957	11.928	-4.943	0	-0.69	0.834	1.07	11.886	1.654	0.31	40.286	1.463	0.098	33.837	1.027
2021-08-02		r2_半導体製造装置	半導体製造装置		152	1.876	29.16		2.809	17.301	-6.6	2.036	0.554	3.012	0.346	62.897	2.008	0.663	50.092	1.544	0.186	35.607	1.093
2021-07-30		r2_半導体製造装置	半導体製造装置		151	-1.235	98.47		2.414	16.944	-12.726	-1.177	-1.994	-0.444	0.013	69.383	1.537	-0.572	53.259	1.223	0.124	33.956	0.883
2021-07-29		r2_半導体製造装置	半導体製造装置		151	1.261	9.63		1.776	7.33	-3.604	0.998	0.212	2.29	-0.24	19.275	1.291	0.036	11.561	1.002	0.531	21.175	0.85
2021-07-28		r2_半導体製造装置	半導体製造装置		151	-1.741	28.371		2.057	1.923	-20	-1.435	-2.562	-0.661	-0.576	12.848	1.377	0.198	13.837	1.169	0.07	21.114	0.759
2021-07-27		r2_半導体製造装置	半導体製造装置		151	0.589	-1.819		1.712	9.574	-3.337	0.313	-0.296	1.244	1.167	6.962	1.394	1.045	21.907	1.04	0.018	27.444	0.699
2021-07-26		r2_半導体製造装置	半導体製造装置		151	1.745	17.013		1.789	7.262	-6.771	1.857	0.921	2.638	1.273	33.958	1.144	0.501	26.694	0.75	-0.102	32.4	0.644
2021-07-21		r2_半導体製造装置	半導体製造装置		151	0.801	51.69		1.23	3.614	-3.643	0.813	0.145	1.454	-0.121	31.301	0.792	-0.748	39.749	0.796	-0.682	33.619	0.744
2021-07-20		r2_半導体製造装置	半導体製造装置		151	-1.044	11.917		1.676	9.238	-5.231	-1.202	-1.913	-0.399	-1.522	33.895	1.203	-1.019	31.218	1.041	-0.82	24.758	0.757
2021-07-19		r2_半導体製造装置	半導体製造装置		151	-2	55.874		1.617	6.3	-8.35	-2.037	-2.882	-1.092	-1.006	41.159	1.274	-1.056	35.064	1.077	-0.448	23.152	0.737
2021-07-16		r2_半導体製造装置	半導体製造装置		151	-0.012	24.62		1.764	10.697	-7.159	-0.107	-0.79	0.487	-0.584	23.997	1.339	-0.352	19.094	0.902	0.319	10.251	0.634
2021-07-15		r2_半導体製造装置	半導体製造装置		151	-1.156	24.198		1.772	11.512	-6.216	-1.265	-1.994	-0.673	-0.521	14.426	1.051	-0.076	10.979	0.859	0.376	20.543	0.592
2021-07-14		r2_半導体製造装置	半導体製造装置		151	0.288	-48.961		1.269	5.228	-2.662	0.123	-0.577	1.096	0.552	-22.541	1.003	0.98	-17.674	0.841	0.361	13.733	0.592
2021-07-13		r2_半導体製造装置	半導体製造装置		151	0.751	-48.629		1.498	4.298	-5.417	0.795	0	1.493	1.294	-28.344	1.118	0.952	6.681	0.81	0.187	6.799	0.53
2021-07-12		r2_半導体製造装置	半導体製造装置		151	1.907	-53.039		1.531	6.155	-4.521	1.864	0.944	2.728	1.087	10.479	0.872	0.256	23.165	0.652	0.079	16.157	0.497
2021-07-09		r2_半導体製造装置	半導体製造装置		151	0.268	74.991		1.727	6.497	-3.62	0	-0.848	0.986	-0.569	64.446	0.894	-0.551	35.478	0.752	-0.328	25.453	0.599
2021-07-08		r2_半導体製造装置	半導体製造装置		151	-1.406	42.76		1.413	3.448	-6.46	-1.459	-2.278	-0.454	-0.961	3.719	0.966	-0.593	16.913	0.793	-0.314	12.132	0.649
2021-07-07		r2_半導体製造装置	半導体製造装置		151	-0.516	-35.323		1.203	3.112	-4.201	-0.548	-1.236	0.125	-0.187	4.462	1.029	-0.167	0.816	0.783	-0.25	6.859	0.691
2021-07-06		r2_半導体製造装置	半導体製造装置		151	0.143	44.675		1.896	17.728	-4.817	0	-0.616	0.654	0.008	19.044	1.073	0.117	18.003	0.886	-0.174	19.102	0.826
2021-07-05		r2_半導体製造装置	半導体製造装置		151	-0.127	-6.588		1.443	6.678	-4.136	-0.129	-1.02	0.502	0.103	4.667	1.023	-0.293	9.489	1.041	-0.41	16.305	0.756
2021-07-02		r2_半導体製造装置	半導体製造装置		151	0.334	15.922		1.848	5.324	-6.233	0.451	-0.113	1.356	-0.376	21.326	1.614	-0.295	25.414	1.285	-0.271	34.697	0.754
2021-07-01		r2_半導体製造装置	半導体製造装置		151	-1.085	12.659		2.375	10.13	-12.692	-0.743	-2.015	0	-0.609	15.862	1.576	-0.752	17.559	1.067	-0.067	31.219	0.73
2021-06-30		r2_半導体製造装置	半導体製造装置		151	-0.133	19.816		1.877	13.408	-5.911	-0.149	-0.851	0.651	-0.585	19.995	1.202	-0.201	40.994	1.013	0.102	33.231	0.778
2021-06-29		r2_半導体製造装置	半導体製造装置		151	-1.037	18.968		1.594	5.15	-5.942	-1.173	-2.013	-0.156	-0.235	51.484	1.363	0.294	41.204	1.117	0.196	30.29	0.89
2021-06-28		r2_半導体製造装置	半導体製造装置		151	0.567	85.575		1.973	9.354	-3.974	0.352	-0.632	1.184	0.959	52.471	1.4	0.561	42.622	1.132	0.91	33.053	0.877
2021-06-25		r2_半導体製造装置	半導体製造装置		151	1.352	18.664		1.966	12.684	-3.911	1.046	0.257	1.884	0.557	20.773	1.572	0.484	15.503	1.112	0.377	15.503	0.827
2021-06-24		r2_半導体製造装置	半導体製造装置		151	-0.237	23.668		2.123	7.721	-15.436	-0.171	-0.989	0.389	0.05	14.095	1.246	0.877	14.095	0.996	-0.124	14.095	0.847
2021-06-23		r2_半導体製造装置	半導体製造装置		151	0.337	4.552		2.503	18.253	-5.625	-0.073	-0.907	0.911	1.433	4.552	1.615	0.257	4.552	1.422	-0.085	4.552	1.188