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| 2025-05-27 09:55 | OptOut | view 芝浦メカトロニクス－6日ぶり反落 キヤノンに「次世代リソグラフィ用マスク洗浄装置ARTS」納入決定 | N | 6590 etc rela | 芝浦メカトロニクス |
| 2025-05-27 09:00 | 開示情報 | view 当社の「次世代リソグラフィ用マスク洗浄装置 ARTS」、キヤノンが開発した世界初の量産用ナノインプリント半導体製造装置の開発製造拠点へ納入決定 | P | 6590 etc rela | 芝浦メカトロニクス |